技术特征：
技术总结
本发明公开了一种等离子体增强碳纳米管生长设备包括射频控制仪、进气口、线圈、预热炉、加热炉、石英管、触摸控制屏幕、抽气口、滑轨、设备框架和射频电源，所述设备框架的顶部台面上通过两支座固定有石英管，所述石英管的一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有进气口，且石英管依次贯穿射频电源、预热炉和加热炉，所述射频电源、预热炉和加热炉均设置在设备框架顶部，所述石英管的另一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有抽气口，所述设备框架顶部台面上水平设置有滑轨，预热炉放置在滑轨上滑动，所述设备框架的顶部台面上固定安装有触摸控制屏幕，该发明，使得Fe成分恒定，直径可控，能够较好地控制碳纳米管的生长质量。
技术研发人员：孔令杰;吴克松;李明;李晓丽;李冬霆
受保护的技术使用者：合肥百思新材料研究院有限公司
技术研发日：2019.01.17
技术公布日：2019.04.02