一种单晶炉及其保温筒提升装置的制作方法

本申请涉及单晶炉热场技术领域，特别是涉及一种单晶炉及其保温筒提升装置。

背景技术：

单晶硅的生长一般采用直拉生长法，生产过程大致可分为：装料、抽真空、化料、引晶、放肩、转肩、等径生长、收尾、晶体冷却、停炉拆清。单晶硅生产过程中会产生氧化物，这些氧化物会堆积在加热器、保温筒及真空管道上影响单晶的成晶。因此，在生长过程结束后，需要对单晶炉进行拆清，将单晶炉内的保温筒取出，清除氧化物。

目前在对保温筒进行拆清时，采用人工搬抬的方式，但是由于单晶硅生产过程中温度需要维持在1400℃左右，在停炉取出硅棒后温度仍然较高，人工搬抬的困难较大，又极易对保温筒造成损害，并且高温容易使人烫伤，造成安全事故，若将保温筒冷却至低温再进行人工搬抬，冷却时间需2-3h左右，导致工时浪费严重，生产效率低下。

因此，如何提高生产效率并且避免对保温筒造成损害是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本申请的目的是提供一种单晶炉及其保温筒提升装置，以提高工作效率，同时避免对保温筒造成损伤。

为解决上述技术问题，本申请提供一种保温筒提升装置，包括：

下表面具有凹槽的支撑体，用于支撑保温筒；

通过所述凹槽与所述支撑体相连的l型连接体，且所述l型连接体具有贯穿厚度的槽孔，用于固定连接于主炉筒的内壁。

可选的，所述支撑体为环状支撑体。

可选的，所述凹槽的数量为3至6个，包括端点值。

可选的，所述凹槽的深度取值范围为3毫米至10毫米，包括端点值。

可选的，所述l型连接体为不锈钢连接体或者碳-碳复合材料连接体。

可选的，所述支撑体为碳-碳复合材料支撑体。

可选的，所述提升装置为一体式结构。

本申请还提供一种单晶炉，所述单晶炉包括上述任一种所述的保温筒提升装置。

本申请所提供的保温筒提升装置，包括：下表面具有凹槽的支撑体，用于支撑保温筒；通过所述凹槽与所述支撑体相连的l型连接体，且所述l型连接体具有贯穿厚度的槽孔，用于固定连接于主炉筒的内壁。

可见，本申请中的保温筒提升装置包括带有凹槽的支撑体和与支撑体相连的l型连接体，支撑体置于支撑保温筒的底部，用于支撑保温筒，l型连接体中水平部分通过凹槽与支撑体相连，垂直部分通过槽孔固定连接在主炉筒的内壁上，当主炉筒旋转、上升时，保温筒提升装置会带着保温筒一起旋转、上升，从而使得保温筒被取出，一方面，避免采用人工搬抬方式可以避免工人被烫伤，又可以避免人工对保温筒造成损伤，另一方面，保温筒随着主炉筒被提升取出，使得单晶炉内的热量因无保温筒的阻挡而快速散失，温度迅速降低至可拆清为温度，提高工作效率。此外，本申请还提供一种具有上述优点的单晶炉。

附图说明

为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例所提供的一种保温筒提升装置的结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的l型连接体的正视图；

图3为本申请实施例所提供的l型连接体的右视图；

图4为本申请实施例所提供的支撑体的俯视图；

图5为本申请实施例所提供的支撑体的正视图；

图6为本申请实施例所提供的支撑体的右视图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

正如背景技术部分所述，目前在对保温筒进行拆清时，采用人工搬抬的方式，一方面由于温度较高，容易使工人烫伤，并且人工搬抬又极易对保温筒造成损害，另一方面，若将保温筒冷却至低温再进行人工搬抬，冷却时间较长，生产效率低下。

有鉴于此，本申请提供了一种保温筒提升装置，请参考图1，图1为本申请实施例所提供的一种保温筒提升装置的结构示意图，该保温筒提升装置包括：

下表面具有凹槽11的支撑体1，用于支撑保温筒3；

通过所述凹槽11与所述支撑体1相连的l型连接体2，且所述l型连接体2具有贯穿厚度的槽孔21，用于固定连接于主炉筒的内壁。

具体的，在提升保温桶时，l型连接体2的水平部分卡在与支撑体1的凹槽11中，槽孔21位于l型连接体2的垂直部分，通过螺丝固定连接在主炉筒的内壁上，l型连接体2的结构示意图请参考图2和图3。

可选的，l型连接体2的厚度取值范围为6毫米至15毫米，包括端点值，在保证l型连接体2具有足够强度的同时，降低制作成本。需要说明的是，本实施例中对支撑体1的数量不做具体限定，可视情况而定。例如，支撑体1的数量可以为一个或者多个，当为多个时，每一个支撑体1均置于保温筒3的底部，相应的，l型连接体2的数量等于支撑体1的数量。

需要指出的是，本实施例中对l型连接体2的材料不做具体限定，可视情况而定。例如，所述l型连接体2为不锈钢连接体或者碳-碳复合材料连接体。

可选的，所述支撑体1为碳-碳复合材料支撑体1。

需要说明的是，本实施例中的保温筒3包括下保温筒、中保温筒、上保温筒，下保温筒直接与支撑体1相接触，中保温筒、上保温筒依次向上叠放。

本实施例中的保温筒提升装置包括带有凹槽11的支撑体1和与支撑体1相连的l型连接体2，支撑体1置于支撑保温筒3的底部，用于支撑保温筒3，l型连接体2中水平部分通过凹槽11与支撑体1相连，垂直部分通过槽孔21由螺丝5固定连接在主炉筒4的内壁上，当主炉筒4旋转、上升时，保温筒提升装置会带着保温筒3一起旋转、上升，从而使得保温筒3被取出，一方面，避免采用人工搬抬方式可以避免工人被烫伤，又可以避免人工对保温筒3造成损伤，另一方面，保温筒3随着主炉筒4被提升取出，使得单晶炉内的热量因无保温筒3的阻挡而快速散失，温度迅速降低至可拆清为温度，提高工作效率。

在本申请的一个实施例中，所述支撑体1为环状支撑体1，请参见图4至图6，即支撑体1的数量为一个，相应的，l型连接体2的数量等于环状支撑体1上凹槽11的数量。环状支撑体1可以有效避免保温筒3发生滑动现象，提高保温筒3提升过程的稳定性。可以理解的是，环状支撑体1的尺寸与保温筒3的口径尺寸相匹配。

可选的，环状支撑体1的厚度取值范围为15毫米至25毫米，包括端点值，避免环状支撑体1的厚度太小，导致环状支撑体1支撑强度不够，同时避免环状支撑体1的厚度太大，用料增加，导致成本增加。

可选的，当支撑体1为环状支撑体1时，所述凹槽11的数量为3至6个，包括端点值，在保证保温筒3提升过程的稳定性的同时，减小l型连接体2的拉力，提升l型连接体2的使用寿命。

进一步地，凹槽11均匀分布在环状支撑体1的下表面，将保温桶的重量均匀分布给每一个l型连接体2，提升l型连接体2的整体使用寿命，降低成本，同时进一步提高保温筒3提升过程的稳定性。

优选地，所述凹槽11的深度取值范围为3毫米至10毫米，包括端点值，避免凹槽11的深度太小，使得l型连接体2与支撑体1的连接不牢固，造成保温筒3提升过程中稳定性差，容易出现安全事故，同时避免凹槽11的深度太大，使得支撑体1的在凹槽11处的厚度变薄，支撑能力减弱。

优选地，在本申请的一个实施例中，所述提升装置为一体式结构，以简化提升装置的生产工艺。

本申请还提供一种单晶炉，所述单晶炉包括上述任一种所述的保温筒提升装置。

本实施例中的单晶炉包括保温筒提升装置，保温筒提升装置包括带有凹槽11的支撑体1和与支撑体1相连的l型连接体2，支撑体1置于支撑保温筒3的底部，用于支撑保温筒3，l型连接体2中水平部分通过凹槽11与支撑体1相连，垂直部分通过槽孔21固定连接在主炉筒4的内壁上，当主炉筒4旋转、上升时，保温筒提升装置会带着保温筒3一起旋转、上升，从而使得保温筒3被取出，一方面，避免采用人工搬抬方式可以避免工人被烫伤，又可以避免人工对保温筒3造成损伤，另一方面，保温筒3随着主炉筒4被提升取出，使得单晶炉内的热量因无保温筒3的阻挡而快速散失，温度迅速降低至可拆清为温度，提高工作效率。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

以上对本申请所提供的单晶炉及其保温筒提升装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。