一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构的制作方法

文档序号:22554361发布日期:2020-10-17 02:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于该结构整体为呈锥形的锥形籽晶,包括嵌入籽晶夹内部分呈倒梯形的倒梯形籽晶、位于中间长方形四面棱角倒角的长方形籽晶和底部呈半球锥状的半球锥状籽晶;倒梯形籽晶整体嵌入在籽晶夹内,表面设置有增强与籽晶夹之间摩擦力的直线型凹槽,并在其上部拐角处进行倒圆角设计;中间位置是四面倒角的长方形籽晶,该位置上端与倒梯形籽晶衔接,下端与半球锥状籽晶衔接;底部半球锥状籽晶的中心与长方形籽晶及倒锥形籽晶三者中心轴一致,底部与溶体液面接触。

2.根据权利要求1所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的锥形籽晶结构整体高度为70-150mm。

3.根据权利要求2所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的半球锥状籽晶设置在锥形籽晶在距离底部20-40mm处。

4.根据权利要求3所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的

半球锥状籽晶整体高度为20-40mm,直径范围为φ8-φ20mm。

5.根据权利要求4所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的锥形籽晶结构由上到下籽晶直径逐渐变小,在外观上整体呈锥形状;倒梯形籽晶上端宽度为35-50mm,上端长度为15-35mm,倒梯形籽晶下端宽度为20-35mm,底端长度为8-20mm;高度20-40mm,在籽晶夹夹口方向开有4-6个宽为1.5-3mm的凹槽,槽的深度为0.5-2mm,倒梯形籽晶与下端长方形籽晶衔接处呈145°-160°角度。

6.根据权利要求5所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的长方形籽晶高度为35-45mm,宽度为20-30mm,在上下两端衔接处设置有倒角;倒梯形籽晶上部拐角处设置有倒圆角,倒角量为r0.8-r2mm;长方形籽晶高度为40-70mm,长度为8-20mm;四面倒角量为r1-r4mm。

7.根据权利要求6所述的一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构,其特征在于所述的半球锥状籽晶高度为20-40mm,呈30°-45°锥形角度,籽晶底端直径为φ8-φ20mm。


技术总结
本发明涉及一种生长蓝宝石单晶的锥形籽晶结构。该结构整体为呈锥形的锥形籽晶,包括嵌入籽晶夹内部分呈倒梯形的倒梯形籽晶、位于中间长方形四面棱角倒角的长方形籽晶和底部呈半球锥状的半球锥状籽晶;倒梯形籽晶整体嵌入在籽晶夹内,表面设置有增强与籽晶夹之间摩擦力的直线型凹槽,并在其上部拐角处进行倒圆角设计;中间位置是四面倒角的长方形籽晶,该位置上端与倒梯形籽晶衔接,下端与半球锥状籽晶衔接;底部半球锥状籽晶的中心与长方形籽晶及倒锥形籽晶三者中心轴一致,底部与溶体液面接触。本发明锥形籽晶可以更好的继承籽晶的遗传特性,减少晶体缺陷提高产出比率,大幅度提高引晶过程中的自动化控制,提高工作效率降低生产制造成本。

技术研发人员:左洪波;杨鑫宏;李铁;李忠雪;杨立明
受保护的技术使用者:哈尔滨秋硕半导体科技有限公司
技术研发日:2020.07.21
技术公布日:2020.10.16
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