技术特征：
1.一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，包括如下步骤：s1、制备bcht溶胶：按照ba、ca、ti、hf的摩尔比称取乙酸钡、乙酸钙、四氯化铪、钛酸四丁酯原料，利用溶胶-凝胶方法制得bcht溶胶；s2、活化处理：取bcht溶胶放至玻璃培养皿中，并将玻璃培养皿放置在磁力搅拌器上；将阳极电源线连接pt电极，阴极电源线连接不锈钢毛细管，通氦气，连通高压电源，激发等离子场并对溶胶进行活化处理；s3、干燥处理：将活化处理后的溶胶放入油浴锅中保温陈化得到凝胶，于真空干燥箱中干燥后得到凝胶干粉；s4、煅烧处理：将凝胶干粉放入玛瑙研钵中研磨，研磨后装入氧化锆坩埚，于马弗炉中进行粉体煅烧；s5、研磨处理：将煅烧完毕后的粉体取出，并放入研钵中进行研磨，得到bcht粉体。2.根据权利要求1所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s1中ba、ca、ti、hf的摩尔比为(1-x)：x：y：(1-y)，步骤s5中得到的bcht粉体的化学组成为：(ba
1-x
ca
x
)(hf
y
ti
1-y
)o3，其中，0<x<1，0<y<1。3.根据权利要求1所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s2中氦气的气体流量为30-70sccm。4.根据权利要求1所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s2中高压电源的高压电源电流参数为3-7ma。5.根据权利要求1所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s2中活化处理的处理时间为10-15min。6.根据权利要求1所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s4中的煅烧温度为700℃-1000℃。7.根据权利要求1至6任一项权利要求所述的一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，其特征在于，所述步骤s1具体包括：1)按照ba、ca的摩尔比分别称取乙酸钡、乙酸钙原料，将其溶于冰乙酸-去离子水混合溶液中，油浴加热并电磁搅拌，待溶液完全透明澄清后，静止冷却，制得ba源前驱液与ca源前驱液；2)按照hf、ti的摩尔比分别称取钛酸四丁酯、四氯化铪原料，将其分别溶于乙二醇乙醚中，滴加2ml已酰丙酮，油浴加热并电磁搅拌，待溶液完全透明澄清后，静止冷却，制得ti源前驱液与zr源前驱液；3)将1)和2)制得的前驱液混合并于油浴锅中加热搅拌，溶液转变成bcht溶胶。
技术总结
本发明公开了一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法，包括以下步骤：按照Ba、Ca、Ti、Hf的摩尔比称取乙酸钡、乙酸钙、四氯化铪、钛酸四丁酯原料，利用溶胶-凝胶方法制得BCHT溶胶；对溶胶进行活化处理；将活化处理后的溶胶放入油浴锅中保温陈化得到凝胶，于真空干燥箱中干燥后得到凝胶干粉；对凝胶干粉进行煅烧、研磨，得到BCHT粉体。本发明克服了现有铪钛酸钡钙粉体制备方法存在的粉体球磨混料不均匀，引入外部杂质，煅烧温度高等问题，具有大幅降低煅烧温度、成分均匀、组分准确、纯度高、产物粉体细小、单分散等优势，有利于提升粉体的烧结性能，为进一步制备高磁电耦合性能多铁半导体压电相奠定了坚实基础。奠定了坚实基础。奠定了坚实基础。
技术研发人员：吉祥 田野 彭倩文 陈正 李卫月 关春洋
受保护的技术使用者：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
技术研发日：2022.12.27
技术公布日：2023/3/30