风冷机构4，开启另一套冷却系统，对应打开第二进风口 11和第一出风口 12、第二出风口 13，开启对应的第二风冷机构5的风机进行冷却，就这样，两套冷却系统交替实用。对于空心的玻璃管，沿着管材管径空穴风向前后方向吹，双向交替循环冷却，风从第一进风口 10或第二进风口 11吹入，从第一出风口 12、第二出风口 13吹出，进而实现从中心向四周冷却，其冷却温度均匀，使管材缺陷少，并且不易使辅材氧化，冷却时间短，同时节能显著、设备效率高，使生产工艺更灵活、更具可控性。同时本发明提供的设备更加环保、节能，循环水和冷却气体使用量大幅度下降。
[0019]本发明中真空脱羟炉所采用的加热方式与传统的真空脱羟炉也有所区别，所述现有技术中采用三区加热，即在前后炉门以及炉体的上下表面三个加热面设置加热器，进而使整个炉体横向的前、中、后形成三个区段，分别利用三个温控仪进行加热控温。然而现有的加热方式为三段控温，每段都存在温差，每个控温段也存在温差，温度极不均匀，相差10度以上。本发明中采用六个区进行加热，即在炉门、炉体底部以及炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置加热器(即第一加热器、第二加热器、第三加热器、第四加热器、第五加热器、第六加热器)形成六个加热面，并且，每个加热面的分别采用单独的温控仪(即第一温控仪、第二温控仪、第三温控仪、第四温控仪、第五温控仪、第六温控仪)进行控温。即实现上、下、左、右、前、后六个方位单独加热单独控温，温差较小，可以控制在10度以下。
[0020]本发明的真空脱羟炉比传统的真空脱羟炉冷却方式，由于风向导向的改变，使内部流通可以沿着设计的管材流向，现有技术中风力分散，压力和方向均难以控制，本发明中压力更容易控制，充气压力可以由0.4MPa提高到1.9MPa，使产品质量得到大幅度改善。
[0021]传统的冷却循环系统为2套并用循环冷却系统，传统的循环方式为上进下出，风向是从加热室的上部进风孔进入加热室，从加热室下部的出风孔返回风机，不断循环，两个风机同时工作，加热室的温度前后及上下管材温度下降较快，中间由于风向导向问题，降温很慢。对应本发明中冷却循环系统为2套独立的快速循环系统，传统的循环方式为两侧进入，本发明中由炉门段进入加热室，沿着管径方向穿过另一炉门方向循环，为前后进风，由风机开始，风沿着导流线路由风门气缸(第一进风口 10)进入加热室，在加热室内风向沿着管材轴径方向向前通过风机出来，再沿着导流线路进入第二换热器7，气流再通过导流线路返回风机，经过30-60分钟关闭一套冷却系统，开启另一套，直至达到出炉温度，停止风冷。加热室的温度前后及上下和中心管材温度下降较快，中间由于风向水平导向，降温更快。两套系统独立间息作业，即提高了快冷效率，有降低了快冷成本。
[0022]本发明与传统技术相比，整套真空脱羟炉更具人性化，操作安全，劳动强度减轻；设备性能显著提高，温度均匀性的改善，是产品质量更加稳定；冷却方式的改变，使设备效率大幅度提高，生产成本大幅度降低，工艺调整更加灵活。
[0023]以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
【主权项】
1.一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，包括炉门，所述炉门设置于炉体的一侧，所述炉体内部设置有台车，所述台车与炉门固定连接，所述台车的底部具有滚轮，所述台车外连有电机。
2.根据权利要求1所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉门还连接有气动装置。
3.根据权利要求2所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上设置有第一进风口，炉体底部上设置有第二进风口，所述炉体的中部的上方设置有第一出风口，所述炉体的中部的下方设置有第二出风口。
4.根据权利要求3所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一进风口连接第一风冷机构，所述第二进风口连接第二风冷机构，所述第一出风口和第二出风口均连接第一风冷机构，且所述第一出风口和第二出风口均连接第二风冷机构。
5.根据权利要求4所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一风冷机构通过第一换热器与第一进风口连接；所述第一风冷机构通过第二换热器分别与第一出风口、第二出风口连接；所述第二风冷机构通过第三换热器与第二进风口连接，所述第二风冷机构通过第四换热器分别与第一出风口、第二出风口连接。
6.根据权利要求5所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉门上设置有第一加热器，炉门底部上设置有第二加热器，所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有第三加热器、第四加热器、第五加热器、第六加热器。
7.根据权利要求6所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一加热器连接第一温控仪；所述第二加热器连接第二温控仪；所述第三加热器连接第三温控仪；所述第四加热器连接第四温控仪；所述第五加热器连接第五温控仪；所述第六加热器连接第六温控仪。
8.根据权利要求7所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一风冷机构和第二风冷机构交替循环使用。
9.根据权利要求1至8中任意一项所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述半导体石英玻璃制品为半导体石英玻璃管或半导体石英玻璃棒。
【专利摘要】本发明公开一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，包括设置于炉体的一侧的炉门，炉体内部设置有台车，台车与炉门固定连接，台车的底部具有滚轮，台车外部连接有电机。所述炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上和炉体底部上设置有进风口，所述炉体的中部的上方和下方分别设置有出风口。所述炉门、炉门底部、所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有加热器，每个方位的加热器单独连接温控仪。本发明解决了大口径石英管装料困难的问题，使装卸、进出炉的安全性和可操作性显著提高，并使劳动强度和风险大幅度下降，可一次性地完成进出炉过程，避免多次周转的问题，不需要频繁地周转料架，使其操作过程更加快捷、使用寿命更长。
【IPC分类】C03B20-00
【公开号】CN104743778
【申请号】CN201310734377
【发明人】陈士斌, 周明强, 宁井班, 刘明伟, 徐同根
【申请人】江苏太平洋石英股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月27日