一种坩埚及其制备方法

文档序号:9368381阅读:355来源:国知局
一种坩埚及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及多晶铸锭领域,具体涉及一种铸造多晶硅用的坩祸及其制备方法。
【背景技术】
[0002]目前,多晶铸锭普遍采用定向凝固技术,具体地是在喷涂完氮化硅涂层的坩祸中装满硅料,然后加热使硅料完全熔化,再从坩祸底部降温,使得硅液自下而上逐步结晶,而后退火冷却得到多晶硅锭。
[0003]目前铸锭用的坩祸普遍采用注浆工艺或者注凝工艺。在坩祸的制作过程中,由于工艺自身条件导致坩祸内外面的成型速率差异,进而导致坩祸的强度不够高。所以在上述多晶铸锭过程中,坩祸在硅料加热熔化和长晶的高温阶段,受到硅料的挤压会软化变形,在铸锭过程中存在漏硅风险,给生产厂家和操作员工带来极大安全危害和人身危害。

【发明内容】

[0004]基于此,有必要提供一种具有更高强度、能降低铸锭过程中漏硅风险的坩祸的制备方法。
[0005]—种坩祸的制备方法,包括以下步骤:
[0006]将石英浆料与纤维均匀混合在一起;
[0007]利用所述石英浆料成型坩祸。
[0008]上述坩祸的制备方法,在制备过程中由于石英浆料中均匀混合有纤维,提高了坩祸的强度,极大地降低了铸锭过程中坩祸的漏硅风险。
[0009]在其中一个实施例中,所述将石英浆料与纤维均匀混合在一起的步骤包括:
[0010]直接向石英浆料中添加纤维,并搅拌均匀。
[0011]在其中一个实施例中,所述将石英浆料与纤维均匀混合在一起的步骤包括:
[0012]将纤维编织成网状结构并放入模具中;
[0013]将石英浆料灌入所述网状结构中。
[0014]在其中一个实施例中,所述纤维与石英浆料的质量比为2%?10%。
[0015]在其中一个实施例中,所述纤维为短纤维、长纤维或二者的混合,其中所述短纤维的长度为I?100毫米,所述长纤维的长度大于短纤维的长度。
[0016]在其中一个实施例中,所述纤维为高纯纤维,纯度为98%以上。
[0017]纯度大于98%的高纯纤维,在高温铸锭过程中能吸收杂质富集在纤维表面,起到吸杂的作用,进一步有效地抑制坩祸中的杂质扩散到硅锭中。
[0018]在其中一个实施例中,所述纤维的直径为0.5?50微米。
[0019]在其中一个实施例中,所述纤维为氧化锆纤维、氧化铝纤维或碳纤维。
[0020]在其中一个实施例中,所述利用所述石英浆料成型坩祸的步骤包括:
[0021]通过注浆工艺或注凝工艺成型坩祸胚体;
[0022]烘烤所述坩祸胚体制得坩祸成品。
[0023]还提出一种坩祸,由石英浆料成型制得,包括底壁和侧壁,所述底壁和侧壁中均掺杂有均匀分布的纤维。
【附图说明】
[0024]图1为本发明的坩祸的制备方法的流程图;
[0025]图2为根据本发明的制备方法制得的第一种结构的坩祸的示意图;
[0026]图3为根据本发明的制备方法制得的第二种结构的坩祸的示意图;
[0027]图4为根据本发明的制备方法制得的第三种结构的坩祸的示意图;
[0028]图5为传统坩祸铸锭后的形变;
[0029]图6为本发明实施例1制得的坩祸在铸锭后的形变。
【具体实施方式】
[0030]请参考图1,本发明提供一种坩祸的制备方法,包括以下步骤。
[0031]步骤S110、将石英浆料与纤维均匀混合在一起。此处至少有两种方式可以在石英浆料中添加纤维,并使得纤维在浆料中分散均匀。
[0032]方式一、直接向石英浆料中添加纤维,并搅拌均匀。纤维与石英浆料的质量比为2%?10%,优选为5%?8%。纤维的直径为0.5?50微米,优选为I?10微米。制作坩祸时,首先按一定比例配制石英浆料,加入一定比例的纤维,然后在搅拌机里搅拌,使得纤维均匀分散在浆料中,然后通过注浆工艺或者注凝工艺进行成型,最后在隧道烘烤炉中烘烤成型制得坩祸成品。成型后装入硅料用于进行多晶铸锭。
[0033]这里的石英浆料指可以自行制备或从市场上正常购得的、用于成型坩祸的浆料。本领域技术人员熟知该种浆料的制备,不再赘述。例如,业界常用纯度较高的石英原料(如石英砂)加纯水经球磨制备得到石英浆料。
[0034]此处,纤维可以为短纤维、长纤维或二者的混合,其中短纤维的长度为I?100毫米,长纤维的长度则大于短纤维的长度,如长纤维的长度可以是能够贯穿整个坩祸的长度。
[0035]利用方式一制得的坩祸的结构可参考图2,纤维均匀分散在坩祸体中,可以有效地提高坩祸的强度,提高坩祸在高温中的可塑性,极大地降低了铸锭过程中坩祸的漏硅风险。
[0036]优选地,纯度大于98%的高纯纤维,在铸锭环节,能有效地吸附杂质在纤维表面的富集。在高温铸锭过程中,能起到吸杂的作用,有效地抑制坩祸中的杂质扩散到硅锭中。
[0037]方式二、将纤维编织成网状结构并放入模具中;将石英浆料灌入所述网状结构中。
[0038]网状结构可以用多种形式。例如,可以如图3所示,网状结构的网格较大,其编制方法可以是先形成一个外框,然后连接外框的相对侧边,形成长度与侧壁高度一致的网格。也可以是如图4所示,类似渔网,形成许多均匀分布的细小网格。可以理解,适宜使用长纤维来编织成网状结构。网格结构可以设置一层或者多层。
[0039]纤维均匀分散在坩祸体中,可以有效地提高坩祸的强度,提高坩祸在高温中的可塑性,极大地降低了铸锭过程中坩祸的漏硅风险。此外,纯度大于98%的高纯纤维,在铸锭环节,能有效地吸附杂质在纤维表面的富集。在高温铸锭过程中,能起到吸杂的作用,有效地抑制坩祸中的杂质扩散到硅锭中。
[0040]步骤S120、利用所述石英浆料成型坩祸。包括:通过注浆工艺或注凝工艺成型坩祸胚体;烘烤所述坩祸胚体制得坩祸。注浆工艺或注凝工艺本身为本领域技术人员所熟知,不再赘述。
[0041]如果采用方式一混合石英浆料和纤维,则先将混合后的浆料放入石膏模具,然后通过注浆工艺或注凝工艺成型坩祸胚体。如果是采用方式二混合石英浆料和纤维,由于是在模具中混合,接下来无需再进行浆料转移工序,直接进行后面的成型工艺。
[0042]本发明还提供了一种利用
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