光纤预制棒的制造装置及其制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明属于光通信技术，尤其涉及一种光纤预制棒的制造装置及其制造方法。
【背景技术】
[0002]在光纤预制棒的制造工艺过程中，经常使用有机原料(硅氧烷类)或者含碳气体(CH4、CF4、氟利昂等)反应制得光纤预制棒坯体，含碳原料或含碳的气体分子量越大越不容易充分燃烧，因此燃烧不尽的碳容易残留在光纤预制棒坯体中。
[0003]光纤预制棒坯体中残留的碳在高温烧结时，与S12(二氧化硅)反应，使得玻璃体内的硅氧键(S1-O)发生断裂;反应生成的⑶/C02容易在玻璃体内形成气泡。硅氧键(S1-O)断裂键及玻璃体内的气泡将直接影响光纤的强度和光信号的衰减。
[0004]为了避免上述存在的问题，光纤预制棒制造的沉积工艺应当在过量氧存在下进行。
[0005]大尺寸光纤预制棒的烧结一般采用真空烧结的方法，烧结过程中如果向烧结炉内通入氧化性气体(比如Cl2和O2)，烧结设备内部将会因此而氧化腐蚀。这样不仅降低了设备的使用寿命而且烧结过程中也会造成光纤预制棒的污染。
[0006]中国专利CN1076430A和CN1213650A均揭示在真空烧结装置，其加热和保温件均使用石墨材料，无法使用O2对S12坯体进行除碳处理；同时，Cl2以及Cl2与OH反应生成的HCl也会加速石墨和金属材料的腐蚀降低设备的使用寿命。
[0007]中国专利CN103771697A揭示一种化学计量的氧相比在沉积工艺过程中过量的氧会导致较低的沉积速率，本专利采用的一种常压烧结的方式中使用Cl2进行脱水不失，为一种较好的脱水方式。但是随着光纤预制棒松散体的密度的提高，松散体外部的气体分子难以进入松散体内部，脱水的效果也将下降；同时，松散体内部的气体分子难以排出，容易留在光纤预制棒内部形成气泡，影响光纤预制棒的质量。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种解决除碳和脱水问题、以获得低C和低OH光纤预制棒的光纤预制棒的制造装置及其制造方法。
[0009]本发明提供一种光纤预制棒的制造装置，其包括:氧化脱水烧结炉、位于该烧结炉内的中心管、位于该烧结炉内且位于该中心管外的至少一发热体、位于该中心管内的S12还体、用于密封该中心管的密封罩、位于该中心管内称为内腔体、位于该中心管外且位于烧结炉内称为外腔体、连接至该外腔体的第一真空排气管和第一气管、连接至该烧结炉的第二真空排气管和第二气管，其中，所述发热体、S12坯体、以及密封罩均位于所述烧结炉内。
[0010]本发明又提供一种光纤预制棒的制造方法，其包括如下步骤:
[0011 ] 第一步:对位于中心管内的S12坯体进行真空处理；
[0012]第二步:在真空状态下，外腔体内通入He气体、内腔体内通入O2气体、Cl2气体、和He气体，使Si02坯体充分吸附；
[0013]第三步:加热加热器，使得S12坯体的温度加热至第一预设温度，S12坯体内的C与〇2充分反应；
[0014]第四步:继续加热加热器，使得S12坯体的温度加热至第二预设温度，S12坯体内的OH与Cl2充分反应；
[0015]第五步:停止加热器加热，对S12坯体进行真空处理；
[0016]第六步:继续加热加热器，使得S12坯体温度加热至第三预设温度，对S12坯体进行玻璃化处理，获得低C、低OH的光纤预制棒。
[0017]步骤F4:待内腔体内的压力增加至1 Ikpa时，将玻璃化之后的S12坯体去除，获得低C、低OH的光纤预制棒。
[0018]本发明方法，通过Si02坯体的脱OH和除C的方法和氧化脱水烧结炉，解决除碳和脱水问题，以获得低C和低OH光纤预制棒;本发明结构简单、可靠。
【附图说明】
[0019]图1所示为本发明光纤预制棒的制造装置的结构示意图；
[0020]图2所示为本发明光纤预制棒的制造方法的流程示意图。
[0021]图号说明:
[0022]1-第一真空栗、2-第一真空排气管、3-第二压力传感器、4-第二气管、5-发热体、6-第二真空栗、7-第二真空排气管、8-第一压力传感器、9-第一气管、10-Si02坯体、11-氧化脱水烧结炉、12-中心管、13-内腔体、14-密封罩、15-外腔体。
【具体实施方式】
[0023]如图1所示为本发明光纤预制棒的制造装置的结构示意图，本光纤预制棒坯体的制造装置包括氧化脱水烧结炉11、位于该氧化脱水烧结炉11内的透明石英玻璃制成的中心管12、位于该中心管12两侧的发热体5、位于该中心管12内的S i02坯体(二氧化硅胚体)1、用于密封该中心管12的密封罩14、位于该中心管12内称为内腔体12、位于该中心管12外且位于烧结炉11内称为外腔体15、连接至该外腔体15的第一真空排气管2和第一气管9、连接在该第一真空排气管2上且位于外腔体15外的第一真空栗1、连接在该第一气管9上且位于外腔体15外的第一压力传感器8、连接至该烧结炉11的第二真空排气管7和第二气管4、连接在该第二真空排气管7上且位于外腔体15外的第二真空栗6、以及连接在该第二气管4上且位于外腔体15外的第二压力传感器3。其中，发热体5、Si02坯体(二氧化硅胚体)10、以及密封罩14均位于烧结炉11内。
[0024]其中，中心管12可以将腐蚀氧化性气体与氧化脱水烧结炉11内的石墨件、金属等易于氧化的部件隔离开;发热体5用于对氧化脱水烧结炉11的内腔体13进行加热;第一真空排气管2用于外腔体15真空排气，第一真空栗I用于外腔体15抽真空;第二真空排气管7用于内腔体13真空排气，第二真空栗6用于内腔体13抽真空;第一气管9用于向外腔体15内供气，第一压力传感器8用于外腔体15压力监视，第二气管4用于向内腔体13内供气，第二压力传感器3用于内腔体13压力监视。
[0025]在光纤预制棒坯体的氧化脱水过程中，使用监视外腔体15压力的第一压力传感器8和监视内腔体13压力的第二压力传感器3，达到监视中心管12内外的压差，以此来控制用于由于对外腔体15抽真空的第一真空栗I和用于内腔体13抽真空的第二真空栗6的抽真空速度;控制用于向外腔体15通气的第一气管9和用于向内腔体13通气的第二气管4内气体的流量，来控制中心管12内的压力始终低于该中心管12外的压力，且中心管12外的压力与中心管12内的压力差为0-350pa，优选50-100pa，以避免Cl2和O2从烧结炉11内溢出，从而避免Cl2、HC1以及O2等氧化腐蚀性气体对石墨件和金属的氧化腐蚀。
[0026]本发明光纤预制棒的制造方法，具有如下步骤:
[0027]在光纤预制棒坯体的氧化脱水过程中，监视第一压力传感器8和第二压力传感器3，监视中心管12内外的压力差，得到第一真空栗I和第二真空栗6的抽真空速度。
[0028]控制第一气管9向外腔体15通气体的流量、控制第二气管4向内腔体13通气体的流量，保持中心管12内的压力始终低于该中心管12外的压力。
[0029]如图2所示，本发明光纤预制棒的制造方法，其包括如下步骤:
[0030]第一步:对位于中心管12内的S12坯体10进行真空处理:具体的是，将S12坯体10内的气体排空。
[0031]第二步:在真空状态下，外腔体15内通入He气体、内腔体13内通入O2气体、Cl2气体、和He气体，使S12坯体10充分吸附。
[0032]第三步:加热加热器5，使得S12坯体10的温度加热至第一预设温度，S12坯体10内的C与O2充分反应。
[0033]第四步