盛放石英坩埚用的碳碳坩埚的制作方法

文档序号:10904021阅读:781来源:国知局
盛放石英坩埚用的碳碳坩埚的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种坩埚,特别是涉及一种盛放石英坩埚用的碳碳坩埚,包括石墨底座、碳碳坩埚和上盖,碳碳坩埚放在底座上,上盖与碳碳坩埚扣合,碳碳坩埚为左右两瓣式结构,碳碳坩埚的下端为底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。本实用新型采用了碳碳材料的坩埚壁,节省了石墨的用量,两瓣式结构可拆卸,方便石英坩埚的取出,且底座分成两部分,减少了石墨底座的破坏范围,底托破损几率低,石墨利用率高,极大的节省了单晶硅生产的成本。
【专利说明】
盛放石英坩埚用的碳碳坩埚
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种坩祸,特别是涉及一种盛放石英坩祸用法碳碳坩祸。
【背景技术】
[0002]单晶硅是半导体和太阳能电池的关键材料,石英坩祸的用途是拉硅单晶用的,目前盛放石英坩祸的一般用石墨坩祸,石墨坩祸具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热急冷具有一定的应变性,对酸碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。但是石英坩祸在高温状态下会软化,由于软化石英坩祸在拆卸时会与石墨坩祸粘连,不好拆卸,严重时得破坏石墨坩祸,造成不必要的浪费。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供方便拆卸的承托坩祸结构,减少石墨用量,降低成本,具体是一种两瓣式结构的碳碳坩祸,底座也分为两部分。
[0004]为了实现上述目的,本实用新型所采取的技术手段是:
[0005]盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,包括石墨底座和碳碳坩祸,碳碳坩祸放在底座上,还包括上盖,上盖与碳碳樹祸扣合,碳碳樹祸为左右两瓣式结构,碳碳i甘祸的下端为底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口与碳碳坩祸组合成一体式坩祸形状。
[0006]所述的底口下端与底座连接处是中空的,空隙高度为5_。
[0007]所述的底托上部两端与碳碳坩祸连接处留有l_3mm的间隙。
[0008]所述的上盖与碳碳坩祸的接合处为凹凸结构,上盖的外侧为凸台,凸台的高度为10-20mmo
[0009]本实用新型的有益效果是:坩祸壁采用碳碳材料,减少了石墨的用量,设计成两瓣式结构,方便拆卸,盖上上盖后避免了石英坩祸放入后,碳碳坩祸向两边倾斜。底座分成底口与底托两部分,可以更好的拆卸石英坩祸,底口与底托结合处留有间隙,即使石英坩祸与石墨底口粘连在一起需要破坏取出石英坩祸时,也只需破坏石墨底口,这样节省了石墨的用量,最大限度的降低了单晶硅的生产成本,而且如果没有留下这个间隙,那么底口与底座应该是一个圆面整体的接触,这样如果接触时间一长,底口或者底托出现氧化物突出或者形变,就会导致接触面不平整,底口放置不平,留有的间隙把面接触改为了线接触,防止了以上现象的发生。底托与坩祸壁结合处的两端留有1-3_的间隙,避免二者受热膨胀产生相互的挤压作用力。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
[0011]图中,1、上盖,2、碳碳坩祸,3、底口,4、底托。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步说明。
[0013]具体实施例,如图1所示,盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,包括石墨底座和碳碳坩祸2,碳碳i甘祸2放在底座上,还包括上盖I,上盖I与碳碳i甘祸2扣合,碳碳i甘祸2为左右两瓣式结构,碳碳坩祸2的下端为底口卡槽,底座包括底口 3和底托4,底托4上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托4的梯形凹槽中,底口 3上端嵌入底口卡槽,底口 3与碳碳i甘祸2组合成一体式坩祸形状。
[0014]所述的底口3下端与底托4连接处是中空的,空隙高度为5_,可以更好的拆卸石英坩祸,底口 3与底托4结合处留有间隙,即使石英坩祸与石墨底口 3粘连在一起需要破坏取出石英坩祸时,也只需破坏石墨底口 3,这样节省了石墨的用量,最大限度的降低了单晶硅的生产成本,而且如果没有留下这个间隙,那么底口3与底托4应该是一个圆面整体的接触,这样如果接触时间一长,底口 3或者底托4出现氧化物突出或者形变,就会导致接触面不平整,底口 3放置不平,留有的间隙把面接触改为了线接触,防止了以上现象的发生。底托4与碳碳坩祸壁结合处的两端留有1-3_的间隙,避免二者受热膨胀产生相互的挤压作用力。
[0015]所述的上盖I与碳碳坩祸2的接合处为凹凸结构,上盖I的外侧为凸台,凸台的高度为10-20mm,保证与碳碳坩祸2结合顺畅紧密,不会因太短而开裂。
[0016]本实用新型在使用时先将底托4和底口3放置好,然后将两瓣碳碳坩祸壁放在底座上拼接好,将石英坩祸放入碳碳坩祸后,加上上盖,避免碳碳坩祸发生倾斜。当要取出石英坩祸时,只需拿掉上盖,分开两瓣式结构坩祸壁,石英坩祸就留在了底座上,这样方便拆卸,省时省力,使用方法简洁。
【主权项】
1.盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,包括石墨底座和碳碳坩祸(2),碳碳坩祸(2)放在底座上,其特征在于:还包括上盖(I),上盖(I)与碳碳坩祸(2)扣合,碳碳坩祸(2)为左右两瓣式结构,碳碳坩祸(2)的下端为底口卡槽,底座包括底口(3)和底托(4),底托(4)上端有梯形凹槽,底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中,底口(3)上端嵌入底口卡槽,底口(3)与碳碳坩祸(2)组合成一体式坩祸形状。2.根据权利要求1所述的盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,其特征在于:所述的底口(3)下端与底座(4)连接处是中空的,空隙高度为5_。3.根据权利要求1所述的盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,其特征在于:所述的底托(4)上部两端与碳碳坩祸(2)连接处留有l_3mm的间隙。4.根据权利要求1所述的盛放石英坩祸用的碳碳坩祸,其特征在于:所述的上盖(I)与碳碳坩祸(2)的接合处为凹凸结构,上盖(I)的外侧为凸台,凸台的高度为10-20mm。
【文档编号】C30B29/06GK205590834SQ201620345812
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月22日
【发明人】赵会刚, 李德建, 张晓朋, 李朝阳
【申请人】河北宁通电子材料有限公司
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