新型钌化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物及利用前体组合物的膜沉积方法与流程

技术总结
本发明涉及新型钌化合物、所述钌化合物的制备方法、包含所述钌化合物的用于沉积含钌膜的前体组合物以及利用所述前体组合物的含钌膜沉积方法。

技术研发人员：韩元锡;金沼怜;高元勇
受保护的技术使用者：UP化学株式会社
文档号码：201580028799
技术研发日：2015.05.26
技术公布日：2017.02.22