本发明涉及氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物和氢氟酸蚀刻用树脂薄膜。
背景技术：
：湿式蚀刻被广泛用作基板的加工方法，在平板显示器用的大型基板加工中也被应用于各种工序。例如，对于有机电致发光显示器(有机ELD)的后盖而言，为了使面板减薄而研究了在后盖使用玻璃。该玻璃后盖通过对玻璃基板进行蚀刻来形成。蚀刻时，在玻璃基板上形成抗蚀膜，仅对期望区域进行蚀刻处理。一直以来，作为湿式蚀刻用的掩膜材料，使用了各种抗蚀树脂组合物，将抗蚀树脂组合物涂布于玻璃基板、具有SiO2或SiN等的绝缘膜的基板并图案化后，浸渍于例如包含氢氟酸(HF)的蚀刻液(以下也称为“蚀刻剂”)来进行蚀刻。然而，在酸之中，氢氟酸的浸透力高，因而难以制作具有氢氟酸阻隔性的膜。作为玻璃蚀刻用的耐氢氟酸抗蚀剂，提出了通过添加填料来赋予阻气性(例如专利文献1和2)、含有碱可溶树脂和丙烯酸类单体的组合物(例如专利文献3～7)、芳香族聚芳酯树脂(例如专利文献8)等的相关专利。此外，若基板与抗蚀膜的密合性差，则在基板与抗蚀膜之间发生剥落或者侧蚀量增加，因此存在影响蚀刻处理精度的问题。此外，需要长时间的蚀刻时，存在抗蚀膜产生针孔或者涂膜溶胀而从基板上剥离的问题。为了提高密合性而在抗蚀膜中含有硅烷偶联剂时，硅烷偶联剂在抗蚀膜剥离后以残渣的形式残留在基板上，成为污染基板的原因，从这一点出发是不优选的。但是，没有通过使用粘结剂来避免使用硅烷偶联剂的例子。需要说明的是，作为掩膜材料的抗蚀树脂组合物在蚀刻处理后，通过使用剥离液或者用手剥离(剥除)而从基板上去除。为了确保这种抗蚀树脂组合物与基板的粘接性，有时例如使用丙烯酸系粘结剂。一般来说，已知丙烯酸系粘结剂对蚀刻液等中包含的盐酸、硫酸的耐性较弱，本质上耐酸性较低。针对该课题而提出了下述方法：通过涂布在具有耐酸性的辐射线透过性膜状支承体上来弥补辐射线固化性粘结剂的耐酸性的方法(例如专利文献9)；使用碳原子数为8的丙烯酸酯而使粘结剂发生疏水化的方法(例如专利文献10)；使用以具有碳原子数为6以上的烷基的单体作为主要成分的粘结剂的方法(例如专利文献11)等。然而，不存在针对具有耐氢氟酸性的丙烯酸系粘结剂进行的验证，也没有确认到在氢氟酸蚀刻用的树脂组合物中使用丙烯酸系粘结剂的报告。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-164877号公报专利文献2：日本特开2007-128052号公报专利文献3：日本特开2010-72518号公报专利文献4：日本特开2008-233346号公报专利文献5：日本特开2008-76768号公报专利文献6：日本特开2009-163080号公报专利文献7：日本特开2006-337670号公报专利文献8：日本特开2010-256788号公报专利文献9：日本特开平5-195255号公报专利文献10：日本特开平9-134991号公报专利文献11：日本特开2013-40323号公报技术实现要素：发明要解决的问题本发明是鉴于上述情况而进行的，其目的在于，提供使用氢氟酸对玻璃基板、具有SiO2或SiN等的绝缘膜的基板等进行蚀刻处理时会提供适合作为抗蚀膜的树脂薄膜的组合物。用于解决问题的方案本发明人为了解决上述课题而反复进行了深入研究，结果发现：由包含自由基聚合引发剂和具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物的组合物能够得到在使用氢氟酸进行蚀刻处理时适合作为抗蚀膜的树脂薄膜，从而完成了本发明。即，本发明提供下述技术方案：1.一种氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物，其包含自由基聚合引发剂和具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物；2.根据1所述的氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物，其特征在于，前述具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物是通过氨基甲酸酯键而具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物；3.一种氢氟酸蚀刻用树脂薄膜，其是使用1或2所述的氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物而制造的；4.一种具有图案的基板的制造方法，其特征在于，包括下述工序：使用1或2所述的氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物在基板上形成氢氟酸蚀刻用树脂薄膜的工序；使该树脂薄膜固化的工序；以及，对形成有该氢氟酸蚀刻用树脂薄膜的基板进行蚀刻处理而图案化的工序。发明的效果由本发明的组合物得到的树脂薄膜通过进行固化，不仅会显示出优异的氢氟酸阻隔性，而且不使用会导致残渣的硅烷偶联剂也显示与基板的良好密合性，因此可抑制湿式蚀刻时的侧蚀，即使长时间蚀刻也不会从基板上剥离。此外，能够从基板上容易地剥离去除，进而不会因水而溶胀，因此耐水性也优异。因此，通过使用本发明的组合物，能够高精度且容易地对玻璃基板、具有SiO2或SiN等的绝缘膜的基板等进行图案加工，容易制造具有期望图案的玻璃基板等。具体实施方式本发明的氢氟酸蚀刻用树脂薄膜形成用组合物(以下有时简称为“组合物”)包含具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物。本发明中使用的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物没有特别限定，可以使用市售品，也可以使用通过公知方法制造的产物，从以良好的重现性获得具有适当强度以及与基板的密合性的薄膜的观点出发，优选借助氨基甲酸酯键而具有(甲基)丙烯酰基。作为这种氢化聚丁二烯化合物，可以使用例如氢化聚丁二烯多元醇化合物与多异氰酸酯化合物与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物的反应物。作为氢化聚丁二烯多元醇化合物的具体例，可列举出：具有使1,4-键合型聚丁二烯、1,2-键合型聚丁二烯或具有这两种键的聚丁二烯中的不饱和键氢化而得到的结构，且具有2个以上羟基的化合物。其中，从制成更均匀的反应物且实现更均匀的膜物性的观点与实现薄膜的适当硬度的观点的平衡出发，该氢化聚丁二烯多元醇化合物中的羟基数量优选为2个，这些羟基的位置优选为聚丁二烯链的两端。该氢化聚丁二烯多元醇化合物的重均分子量没有特别限定，通常为300～30000左右。从提高薄膜耐酸性的观点出发，重均分子量的下限值优选为500、更优选为750、更进一步优选为1000。此外，从抑制组合物粘度的过度上升、维持作业性的观点出发，其上限值优选为20000、更优选为15000、更进一步优选为6000、进一步优选为3000。需要说明的是，此处提及的重均分子量是基于标准聚苯乙烯分子量换算的重均分子量，是指通过在高效液相色谱仪(昭和电工株式会社制、“ShodexGPCsystem-11型”)中串联使用3根柱：ShodexGPCKF-806L(排阻极限分子量：2×107、分离范围：100～2×107、理论塔板数：10000塔板/根、填充剂材质：苯乙烯-二乙烯基苯共聚物、填充剂粒径：10μm)而测定的值(以下相同)。该氢化聚丁二烯多元醇化合物的碘值通常为0～50，优选为0～20。此外，其羟值通常为15～400mgKOH/g、优选为30～250mgKOH/g。该氢化聚丁二烯多元醇化合物可以使用通过公知方法合成的产物，可以使用NISSOPB(GI系列)(以上为日本曹达株式会社制)、POLYTAILH、POLYTAILHA(以上为三菱化学株式会社制)等市售品(市面销售的商品)。需要说明的是，聚丁烷二烯多元醇化合物可以单独使用1种或者组合使用2种以上。作为多异氰酸酯化合物，可以使用芳香族、脂肪族链式、脂肪族环式等的多异氰酸酯。作为具体例，可列举出甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯、改性二苯基甲烷二异氰酸酯、氢化苯二亚甲基二异氰酸酯、苯二亚甲基二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、三甲基六亚甲基二异氰酸酯、四甲基苯二亚甲基二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、降冰片烯二异氰酸酯、1,3-双(异氰酸根合甲基)环己烷、苯二异氰酸酯、萘二异氰酸酯、蒽二异氰酸酯等二异氰酸酯或它们的三聚物、缩二脲型多异氰酸酯等。其中，优选为芳香族二异氰酸酯，更优选为苯二异氰酸酯。该多异氰酸酯化合物的分子量从溶解性的观点出发适宜为150～700。该多异氰酸酯化合物可以通过公知方法合成并使用，也可以使用市售品。需要说明的是，多异氰酸酯化合物可以单独使用1种或者组合使用2种以上。作为具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物，可以使用(甲基)丙烯酸羟基烷基酯，从实现薄膜优异的耐氢氟酸性以及与基板密合的适当密合性的观点出发，该羟基烷基的碳原子数优选为1～20、更优选为2～10、更进一步优选为2～6。作为该具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具体例，可列举出(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基二氢磷酸酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基(2-羟基丙基)邻苯二甲酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯等。该具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物可以使用通过公知方法合成的产物，也可以使用市售品。该具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。此外，作为本发明中使用的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物，可以使用氢化聚丁二烯多元醇化合物与具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物的反应物。作为氢化聚丁二烯多元醇化合物，可列举出与上述相同的化合物。作为具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物，可以使用(甲基)丙烯酸异氰酸根合烷基酯，从以良好的重现性来实现薄膜优异的耐氢氟酸性以及与基板的适当密合性的观点出发，该异氰酸根合烷基的碳原子数优选为1～20、更优选为2～10、更进一步优选为2～6。作为该具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具体例，可列举出(甲基)丙烯酸2-异氰酸根合乙酯、(甲基)丙烯酸2-异氰酸根合丙酯、(甲基)丙烯酸2-异氰酸根合丁酯、(甲基)丙烯酸4-异氰酸根合丁酯等。该具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物可以使用通过公知方法合成的产物，也可以使用市售品。此外，该具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。从适当地获得目标反应物的观点出发，用于获得氢化聚丁二烯多元醇化合物与多异氰酸酯化合物与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物的反应物的反应也可以分为两个阶段。即，可以使氢化聚丁二烯多元醇化合物与多异氰酸酯化合物反应而得到中间反应物后，使具有未反应的异氰酸酯基的该中间反应物与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物发生反应，也可以使具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物与多异氰酸酯化合物反应而得到中间反应物后，使具有未反应的异氰酸酯基的该中间反应物与氢化聚丁二烯多元醇化合物发生反应。需要说明的是，在两个阶段的制造中，可以分离出中间反应物，在溶解有该中间反应物的溶液中溶解具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物或氢化聚丁二烯多元醇化合物，也可以不分离中间反应物地直接用于反应溶液，并使这些化合物溶解。为了适当地推进反应，用于获得氢化聚丁二烯多元醇化合物与多异氰酸酯化合物与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物的反应物的反应优选在氮气等非活性气体中、在溶剂中进行。反应中使用的溶剂只要对于反应是非活性的，就没有特别限定，可列举出例如己烷、环己烷、苯、甲苯等烃类；四氯化碳、氯仿、1,2-二氯乙烷等卤素系烃类；二乙醚、二异丙醚、苄基乙基醚、二己醚、1,4-二噁烷、四氢呋喃等醚类；丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮(CHN)、丙酮基丙酮、异佛尔酮、双丙酮醇等酮类；乙腈、丙腈等腈类；醋酸乙酯、丙酸乙酯、醋酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯等羧酸酯类；N-甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮等含氮非质子性极性溶剂；二甲基亚砜、环丁砜等含硫非质子性极性溶剂，由于要充分溶解原料且不与原料发生无用的反应，因此适合为甲苯、环己酮等。需要说明的是，溶剂可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。氢化聚丁二烯多元醇化合物与多异氰酸酯化合物与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物的投料量因氢化聚丁二烯多元醇化合物的羟基、多异氰酸酯化合物的异氰酸酯基的数量、是否分多个阶段制造等而异，因此无法一概而论，例如，使用氢化聚丁二烯二醇化合物和二异氰酸酯化合物和具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物，分两个阶段阶段获得目标反应物时，以物质的量比计，使1份氢化聚丁二烯二醇化合物与2份左右的二异氰酸酯化合物发生反应而得到中间反应物后，使1份该中间反应物与2份左右的具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物发生反应，或者，使1份具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物与1份左右的二异氰酸酯化合物发生反应而得到中间反应物后，使1份该中间反应物与0.5份左右的氢化聚丁二烯二醇化合物发生反应。此外，为了促进反应可以使用催化剂。作为催化剂的具体例，可列举出二月桂酸二丁基锡、三甲基氢氧化锡、四正丁基锡等有机金属化合物、辛酸锌、辛酸锡、环烷酸钴、氯化锡、氯化亚锡等金属盐、吡啶、三乙胺、苄基二乙胺、1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烷、N,N,N’,N’-四甲基-1,3-丁二胺、N-乙基吗啉等胺系催化剂等。其中，从有效地促进氨基甲酸酯键的形成反应的观点出发，优选为二月桂酸二丁基锡，从有效地促进酯键的形成反应的观点出发，优选为吡啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯。催化剂的量因溶剂、原料化合物的量等而异，无法一概而论，相对于氢化聚丁二烯多元醇化合物(或中间反应物)100质量份，在0.00001～5质量份的范围内。原料化合物的浓度因原料化合物、溶剂的种类等而异，无法一概而论，反应使用溶剂时，相对于溶剂整体，在0.1～100质量％的范围内适当决定。此外，反应的温度、时间也因原料化合物、溶剂的种类等而异，无法一概而论，通常分别在20～100℃的范围内、5分钟～100小时的范围内适当决定。此外，为了适当地推进反应，用于获得氢化聚丁二烯多元醇化合物与具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物的反应物的反应优选在氮气等非活性气体中、在溶剂中进行，根据需要也可以使用催化剂。与溶剂、催化剂等的具体例、它们的量等相关的条件与上述相同。氢化聚丁二烯多元醇化合物与具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物的投料量因氢化聚丁二烯多元醇化合物的羟基个数等而异，因此无法一概而论，以物质的量比计，相对于1份氢化聚丁二烯多元醇化合物，具有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物为2.1份左右。需要说明的是，本发明的组合物中包含的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物即上述反应物的粘度变高时，可以通过向反应容器中预先投入后述的烯属不饱和单体，并在该烯属不饱和单体中使各成分发生反应，从而制造上述反应物。本发明中，作为具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物，适合为式(1)所示的化合物。式中，R表示式(2)所示的基团；n表示重复单元数，是自然数。式(1)所示的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物在45℃下的粘度通常为500～4000泊左右，优选为800～3200泊左右，更优选为1,000～3000泊左右。此外，式(1)所示的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物的丙烯酰基当量通常为500～2500g/eq左右，优选为800～2300g/eq左右，更优选为1,000～2100g/eq左右。式(1)所示的具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物可通过上述方法进行制造，也可以作为市售品来获取。作为这种市售品，可列举出TEAI-1000(以上为日本曹达株式会社制)。本发明的组合物包含自由基聚合引发剂。作为自由基聚合引发剂，可列举出辐射线自由基聚合引发剂、热自由基聚合引发剂。作为辐射线自由基聚合引发剂的具体例，可列举出二乙酰等α-二酮类；苯偶姻等偶姻类；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚等偶姻醚类；噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-磺酸、二苯甲酮、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮等二苯甲酮类；苯乙酮、对二甲氨基苯乙酮、α,α-二甲氧基-α-乙酰氧基苯乙酮、α,α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、对甲氧基苯乙酮、1-[2-甲基-4-甲硫基苯基]-2-吗啉代-1-丙酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代-1-丙酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等苯乙酮类；蒽醌、1,4-萘醌等醌类；苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜、三(三氯甲基)均三嗪等卤素化合物；[1,2’-双咪唑基]-3,3’,4,4’-四苯、[1,2’-双咪唑基]-1,2’-二氯苯基-3,3’,4,4’-四苯等双咪唑类；二叔丁基过氧化物等过氧化物；2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等酰基氧化膦类等。作为辐射线自由基聚合引发剂的市售品，可列举出Irgacur127、184、369、379EG、651、500、907、CGI369、CG24-61、LucillinTPO、Darocure1116、1173(以上为BASF公司制)；ユベクリルP36(以上为UCB公司制)等。作为热自由基聚合引发剂，可列举出过氧化氢类、偶氮化合物、氧化还原系引发剂等。作为过氧化氢类的具体例，可列举出过氧化叔丁基(3,5,5-三甲基己酰)、叔丁基过氧化氢、过氧化氢异丙苯、过氧化醋酸叔丁酯、过氧化苯甲酸叔丁酯、过氧化辛酸叔丁酯、过氧化新癸酸叔丁酯、过氧化异丁酸叔丁酯、过氧化月桂酰、过氧化特戊酸叔戊酯、过氧化特戊酸叔丁酯、过氧化二异丙苯、过氧化苯甲酰、过硫酸钾或过硫酸铵等。作为偶氮化合物的具体例，可列举出2,2’-偶氮双(2-甲基丙酸)二甲酯、2,2’-偶氮双异丁腈、2,2’-偶氮双(2-丁腈)、4,4’-偶氮双(4-戊酸)、1,1’-偶氮双(环己烷甲腈)、2-(叔丁基偶氮)-2-氰基丙烷、2,2’-偶氮双[2-甲基-N-(1,1)-双(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺、2,2’-偶氮双(2-甲基-N-羟基乙基)丙酰胺、2,2’-偶氮双(N,N’-二亚甲基异丁基脒)二氯化物、2,2’-偶氮双(2-脒基丙烷)二氯化物、2,2’-偶氮双(N,N-二亚甲基异丁基酰胺)、2,2’-偶氮双(2-甲基-N-[1,1-双(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺)、2,2’-偶氮双(2-甲基-N-[1,1-双(羟基甲基)乙基]丙酰胺)、2,2’-偶氮双[2-甲基-N-(2-羟基乙基)丙酰胺)或2,2’-偶氮双(异丁基酰胺)二水合物。作为氧化还原系引发剂的具体例，可列举出过氧化氢、过氧化烷基、过酸酯或过碳酸盐等与铁盐、亚钛盐、甲醛次硫酸锌、甲醛次硫酸钠或还原糖等的混合物。此外，可列举出过硫酸、过硼酸、高氯酸的碱金属盐或高氯酸的铵盐与焦亚硫酸钠之类的亚硫酸氢碱金属盐或还原糖的混合物。进而，可列举出过硫酸碱金属盐与苯膦酸等芳基膦酸之类的其它同样的酸、还原糖等的混合物等。作为热自由基聚合引发剂的市售品，可列举出PerhexaHC(以上为日油株式会社制)、MAIB(2,2’-偶氮双(2-甲基丙酸)二甲酯)(以上为东京化成工业株式会社制)。本发明的组合物包含自由基聚合引发剂时，从抑制氧造成的自由基失活的影响的观点、确保保存稳定性的观点等出发，其含量相对于具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物100质量份优选为0.1～50质量份、更优选为1～30质量份、更进一步优选为2～30质量份。需要说明的是，自由基聚合引发剂可以单独使用1种，或者组合使用2种以上，本发明的组合物包含辐射线自由基聚合引发剂和热自由基聚合引发剂这两者时，例如可以使用辐射线自由基聚合引发剂仅使图案UV曝光部发生固化、显影后，使用热自由基聚合引发剂使固化物中的未反应烯属不饱和双键发生反应。本发明的组合物中，可以与自由基聚合引发剂一同含有巯基苯并噻唑、巯基苯并噁唑之类的具有供氢性的化合物、辐射线敏化剂。本发明的组合物可以包含溶剂。溶剂使用能够均匀溶解具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物、后述各成分且不与它们发生反应的物质。作为这种溶剂的具体例，可列举出上述各反应物的制造中能够使用的溶剂；碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等碳酸酯类；己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇等醇类；乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚(PGME)等多元醇的烷基醚类；乙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯等多元醇的烷基醚乙酸酯类；3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、乳酸乙酯等酯类；二丙酮醇等醇酮类；γ-丁内酯、苯基溶纤剂乙酸酯等。需要说明的是，溶剂可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。本发明的组合物包含溶剂时，其含量相对于组合物整体为5～30质量％左右。本发明的组合物中，出于改善薄膜密合性等的目的，可以包含烯属不饱和单体。该烯属不饱和单体是具有至少1个烯属不饱和双键的化合物，可列举出单官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯、3官能以上的(甲基)丙烯酸酯等。其中，从进一步改善与基板的密合性的观点出发，优选为单官能(甲基)丙烯酸酯，更优选为单官能(甲基)丙烯酸烷基酯，更进一步优选该烷基的碳原子数为6以上的单官能(甲基)丙烯酸烷基酯。作为烷基，可以是直链状、支链状、环状中的任一者，可列举出例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等碳原子数为1～20的直链状或支链状烷基；环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、双环丁基、双环戊基、双环己基、双环庚基、双环辛基、双环壬基、双环癸基等碳原子数为3～20的环状烷基等。作为这种烷基的碳原子数为6以上的单官能(甲基)丙烯酸烷基酯的具体例，可列举出(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸异硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸三环癸烯酯等。其中，优选为(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异硬脂酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯。作为这种烷基的碳原子数为6以上的单官能(甲基)丙烯酸烷基酯之外的单官能(甲基)丙烯酸酯的具体例，可列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、环氧乙烷改性(n＝2)苯酚(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性(n＝2.5)壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯、(甲基)丙烯酸糠酯、卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯等，其中，优选为不含羟基的单官能(甲基)丙烯酸酯，此外，分子量优选为100～300左右。作为2官能(甲基)丙烯酸酯，可列举出例如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性双酚A型二(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性双酚A型二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、羟基特戊酸改性新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作为3官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可列举出例如三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酰氧基乙氧基三羟甲基丙烷、甘油聚缩水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯等。烯属不饱和单体可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。本发明的组合物包含烯属不饱和单体时，从以良好的重现性获得密合性优异的薄膜的观点出发，以质量比计，优选为具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物:烯属不饱和单体＝2:98～95:5、更优选为20:80～80:20。本发明的组合物中，出于提高薄膜与基材的密合性、耐热性等的目的，还可以包含能够与上述烯属不饱和单体共聚的含极性基团单体。作为含极性基团单体的具体例，可列举出(甲基)丙烯酸等含羧基的单体、马来酸酐等酸酐单体、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯等含羟基的单体、苯乙烯磺酸等含磺酸基的单体、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基二氢磷酸酯等含磷酸基的单体、4-丙烯酰基吗啉等含酰胺基的单体、(甲基)丙烯酸氨基乙酯等含氨基的单体、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等含缩水甘油基的单体、丙烯腈等含氰基的单体、N-乙烯基吡啶等含杂环的乙烯基系单体等。本发明的组合物包含含极性基团的单体时，其含量通常相对于1摩尔烯属不饱和单体不超过1摩尔。本发明的组合物中，出于提高涂布性、消泡性、流平性等的目的，可以包含表面活性剂。作为表面活性剂的具体例，可列举出以BM-1000、BM-1100(以上为BMChemieCo.制)；MegafacF142D、MegafacF172、MegafacF173、MegafacF183、MegafacF570(以上为DICCorporation制)；FluoradFC-135、FluoradFC-170C、FluoradFC-430、FluoradFC-431(以上为Sumitomo3MLimited制)；SurflonS-112、SurflonS-113、SurflonS-131、SurflonS-141、SurflonS-145(以上为旭硝子株式会社制)；SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428(以上为DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd.制)等的商品名进行销售的氟系表面活性剂、有机硅系表面活性剂等。本发明的组合物包含表面活性剂时，从防止自固化膜中析出的观点出发，其含量优选为组合物整体的5质量％以下。本发明的组合物还可以包含热阻聚剂。作为热阻聚剂的具体例，可列举出邻苯三酚、苯醌、氢醌、亚甲基蓝、叔丁基邻苯二酚、氢醌单苄基醚、甲基氢醌、戊醌、戊氧基氢醌、正丁基苯酚、苯酚、氢醌单丙醚、4,4’-(1-甲基乙叉基)双(2-甲基苯酚)、4,4’-(1-甲基乙叉基)双(2,6-二甲基苯酚)、4,4’-[1-〔4-(1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基)苯基〕乙叉基]双酚、4,4’,4”-乙叉基三(2-甲基苯酚)、4,4’,4”-乙叉基三苯酚、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷等。本发明的组合物包含热阻聚剂时，从防止自由基聚合性的过度降低、确保适当的自由基聚合性的观点出发，其含量优选为组合物整体的5质量％以下。本发明的组合物中，出于调整在显影液中的溶解性等的目的，可以包含酸、酸酐。作为其具体例，可列举出醋酸、丙酸、正丁酸、异丁酸、正戊酸、异戊酸、苯甲酸、肉桂酸等单羧酸；乳酸、2-羟基丁酸、3-羟基丁酸、水杨酸、间羟基苯甲酸、对羟基苯甲酸、2-羟基肉桂酸、3-羟基肉桂酸、4-羟基肉桂酸、5-羟基间苯二甲酸、丁香酸等羟基单羧酸；草酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、马来酸、衣康酸、六氢邻苯二甲酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、1,2-环己烷二甲酸、1,2,4-环己烷三甲酸、偏苯三酸、均苯四酸、环戊烷四甲酸、丁烷四甲酸、1,2,5,8-萘四甲酸等多元羧酸；衣康酸酐、琥珀酸酐、柠康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、丙三羧酸酐、马来酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、HIMIC酸酐、1,2,3,4-丁烷四甲酸二酐、环戊烷四甲酸二酐、邻苯二甲酸酐、均苯四酸酐、偏苯三酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、乙二醇双偏苯三酸酐、甘油三偏苯三酸酐等酸酐等。本发明的组合物中，出于提高剥除剥离性的目的，可以包含剥离剂。作为剥离剂，可以使用蜡系化合物、有机硅系化合物、氟系化合物中的任一种，其中，从耐热性、耐湿性、经时稳定性的观点出发，优选为有机硅系化合物(以硅氧烷键作为主骨架的硅油、乳液等)。剥离剂可以以市售品的形式来获取。作为这种市售品，可列举出Shin-EtsuSilicone(注册商标)KF-96-10CS、Shin-EtsuSiliconeKF-6012、Shin-EtsuSiliconeX-22-2426、Shin-EtsuSiliconeX-22-164E(以上为信越化学工业株式会社制)；TEGORAD2200N、TEGORAD2700(以上为Evonik公司制)；BYK-333(以上为BYKJapanK.K.制)等。本发明的组合物包含剥离剂时，从防止自固化膜中析出的观点出发，其含量相对于组合物整体优选为5质量％以下。本发明的组合物中，出于提高涂布性的目的，可以包含触变性赋予剂。作为触变性赋予剂的具体例，可以使用以AEROSIL200、AEROSILRX200、AEROSILRY200(以上为日本AEROSIL株式会社制)等商品名进行销售的亲水性/疏水性气相二氧化硅；以BYK-405、BYK-410、BYK-411(以上为BYKJapanKK.制)等商品名进行销售的改性脲树脂。触变性赋予剂可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。本发明的组合物包含触变性赋予剂时，从维持氢氟酸阻隔性以及与基板的密合性并且提高涂布性的观点出发，其含量相对于组合物100质量份优选为0.1～10质量份、更优选为1～6质量份。本发明的组合物中，从下述理由出发，还可以包含胶凝剂。作为将由本发明的组合物得到的树脂薄膜制成厚膜的方法，可以考虑使具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物等的固体成分浓度增加，并增加烘焙后的残留量的方法。但是，此时组合物的粘度也增加，因此，有时涂布性恶化、产生涂布不均等。胶凝剂具备在涂布组合物后的凝胶化工序(预烘焙工序)等中发生凝胶化而保持厚膜的功能，因此，通过在组合物中包含胶凝剂，从而固体成分浓度高且粘度低，能够制备例如在UV曝光前的预烘焙工序中发生凝胶化的组合物，其结果，能够实现厚膜化。此外，本发明的组合物包含胶凝剂时还具有下述优点等：在预烘焙工序中，组合物低粘度化而使涂膜的膜厚面内均匀性提高，若预烘焙后恢复至室温，则组合物凝胶化并成为固态，因此容易搬运基板等。作为胶凝剂，只要能够赋予下述热可逆特性就没有特别限定，所述热可逆特性是指：能够使组合物在室温下凝胶化，通过将该凝胶化的组合物加热而恢复至具有流动性的液体(溶胶)，若冷却则再次凝胶化，典型而言，可列举出油胶凝剂(油性胶凝剂)。需要说明的是，此处，凝胶化是指流动体不再具备流动性，固化为即使在自重下也不会崩塌的程度。作为油性胶凝剂的具体例，可列举出氨基酸衍生物、长链脂肪酸、长链脂肪酸的多价金属盐、糖衍生物、蜡等，从涂布性等的观点出发，优选为氨基酸衍生物、长链脂肪酸。作为氨基酸衍生物的具体例，可列举出N-月桂酰基-L-谷氨酸二(胆固醇酯/山嵛酯/辛基十二烷基酯)、N-月桂酰基-L-谷氨酸二(胆固醇酯/辛基十二烷基酯)、N-月桂酰基-L-谷氨酸二(植物甾醇酯/山嵛酯/辛基十二烷基酯)、N-月桂酰基-L-谷氨酸二(植物甾醇酯/辛基十二烷基酯)、N-月桂酰基-L-谷氨酸二丁基酰胺、N-乙基己酰基-L-谷氨酸二丁基酰胺等碳原子数为2～15的氨基酸的氨基的酰化物、该氨基酸的羧基的酯化物、该氨基酸的羧基的酰胺化物等。作为长链脂肪酸的具体例，可列举出碳原子数为8～24的饱和或不饱和脂肪酸、以及作为长链脂肪酸的类似物的12-羟基硬脂酸等。作为饱和脂肪酸的具体例，可列举出例如辛酸、2-乙基己酸、癸酸、月桂酸、肉豆蔻酸、硬脂酸、棕榈酸、花生酸、山嵛酸等。此外，作为不饱和脂肪酸的具体例，可列举出例如棕榈油酸、油酸、十八碳烯酸、亚油酸、亚麻酸、花生四烯酸、二十碳二烯酸、芥酸等。作为长链脂肪酸的金属盐的具体例，除了与上述长链脂肪酸相同的长链脂肪酸的金属盐之外，例如在碳链长为18的饱和脂肪酸的情况下，可列举出硬脂酸铝、硬脂酸镁、硬脂酸锰、硬脂酸铁、硬脂酸钴、硬脂酸钙、硬脂酸铅等。作为糖类衍生物的具体例，可列举出月桂酸糊精酯、肉豆蔻酸糊精酯、棕榈酸糊精酯、十七烷酸糊精酯、硬脂酸糊精酯、花生酸糊精酯、木蜡酸糊精酯、蜡酸糊精酯、2-乙基己酸棕榈酸糊精酯、棕榈酸硬脂酸糊精酯等糊精脂肪酸酯；棕榈酸蔗糖酯、硬脂酸蔗糖酯、醋酸/硬脂酸蔗糖酯等蔗糖脂肪酸酯；低聚果糖硬脂酸酯、低聚果糖2-乙基己酸酯等低聚果糖脂肪酸酯；单苄叉基山梨糖醇、二苄叉基山梨糖醇等山梨糖醇的苄叉基衍生物等。其中，优选为12-羟基硬脂酸(熔点为78℃)、糊精棕榈酸酯(棕榈酸糊精酯：熔点为85～90℃)等熔点为70～100℃的物质。需要说明的是，胶凝剂可以单独使用1种，或者组合使用2种以上。胶凝剂可以使用粉末、液体状态的物质、溶液状态的物质中的任意者。溶液状态的胶凝剂通过在乙醇、PGME等通常的有机溶剂中溶解粉末(或液体)的胶凝剂来制备。需要说明的是，乙醇、PGME具有阻碍组合物中的胶凝剂形成氢键的作用，因此具有抑制组合物凝胶化的效果。本发明的组合物包含胶凝剂时，从维持氢氟酸阻隔性、与基板的密合性、涂布性等的观点出发，其含量相对于组合物100质量份优选为0.1～30质量份、更优选为3～10质量份。需要说明的是，胶凝剂为固体时，在UV曝光前的预烘焙工序(例如为80～110℃)中，胶凝剂发生热熔化而与组合物均匀化，从而在冷却后发生凝胶化。此外，胶凝剂为溶液状态时，有机溶剂在预烘焙工序中挥发，胶凝剂的浓度相对提高，或者阻碍胶凝剂的相互作用的有机溶剂被去除，从而在冷却后发生凝胶化。本发明的组合物中，为了提高胶凝剂与其它成分的相容性、抑制单体彼此的分离、单体与有机溶剂的分离等，可以包含乳化剂。例如，作为胶凝剂而使用粉末状态的物质时，通过乳化剂而容易使胶凝剂均匀地分散在组合物中。此外，使用使胶凝剂溶解于有机溶剂而得到的溶液时，通过乳化剂容易防止胶凝剂与组合物的分离。作为乳化剂，可以使用Shin-EtsuSilicone(注册商标)KF-640、Shin-EtsuSiliconeKF-6012、Shin-EtsuSiliconeKF-6017(以上为信越化学工业株式会社制)等改性硅油；PegnolO-20、Pegnol16A、PegnolL-9A(以上为东邦化学工业株式会社制)等聚氧乙烯烷基醚等。其中，改性硅油作为剥离剂兼乳化剂而发挥功能，故而优选。乳化剂的功能用HLB(Hydrophile-LipophileBalance、亲水亲油平衡值)这一数值表示，将不具备亲水基团的物质示作HLB＝0，将不具备亲油基团且仅具备亲水基团的物质示作HLB＝20。换言之，乳化剂的HLB包含在0～20内。本发明中，适合的HLB值可以考虑一同使用的胶凝剂的种类、量等来适当确定。本发明的组合物包含乳化剂时，从防止自固化膜中析出的观点出发，其含量相对于组合物整体优选为5质量％以下。此外，本发明的组合物可以包含流平剂等其它的成分。本发明的组合物可通过将具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物、溶剂等各成分进行混合来制备。例如，向具备搅拌叶片的SUS制制备容器中投入规定量的各成分，在室温下搅拌至达到均匀。此外，更具体而言，在制备包含聚合引发剂、触变性赋予剂的组合物时，也可以采用下述那样的方法。首先，将烯属不饱和单体、溶剂等低粘度且较容易赋予触变性的成分与触变性赋予剂用分散器等高剪切混合器进行混合，制作触变性强的混合物。接着，添加具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物等聚合引发剂之外的成分，使用高剪切混合器，使具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物等均匀地分散在该混合物中。最后，添加聚合引发剂，使用三辊磨等低速混合器，混合至混合物达到均匀。通过按照这种步骤来混合各成分，能够制备更均匀的组合物，还能够避免利用高剪切混合器等进行搅拌时产生的热所导致的聚合引发剂分解。需要说明的是，制备包含胶凝剂的组合物时，为了不加热至有损胶凝剂的凝胶化能力的温度以上，可以采用基本上与上述相同的方法。如上所述，通过将各成分进行混合而能够制备本发明的组合物，根据需要，可以将通过混合各成分而得到的组合物用网、薄膜过滤器等进行过滤。需要说明的是，构成组合物的某种成分兼具其它成分的功能时，需要考虑这一点来确定各成分的量。通过将以上说明的本发明的组合物涂布在玻璃基板、具有SiO2或SiN等的绝缘膜的基板等上，根据需要进行加热，能够形成本发明的氢氟酸蚀刻用树脂薄膜。作为涂布方法，可以应用旋涂法、狭缝涂布法、辊涂法、丝网印刷法、涂抹器法等。加热条件因各成分的种类、含量、涂膜的厚度等而异，无法一概而论，考虑到蚀刻时的膜与基板的密合性、从基板上剥掉蚀刻后的膜的剥离性等的平衡时，加热温度通常为40～160℃、优选为60～120℃，加热时间通常为3～15分钟左右。从以良好的重现性实现耐氢氟酸性、剥离性等各特性的观点出发，树脂薄膜的厚度优选为5～150μm、更优选为10～50μm。作为变更膜厚的方法，例如有变更组合物中的固体成分浓度或者变更在基板上的涂布量的方法。以下，说明使用了本发明的组合物的、具有图案的基板的制造方法的一例。首先，通过上述方法，在基板上形成本发明的树脂薄膜。接着，针例如隔着具有期望图案的光掩模对所得树脂薄膜照射例如波长为300～500nm的紫外线或可见光线等辐射线，使曝光部发生固化。此处，辐射线是指紫外线、可见光线、远紫外线、X射线、电子射线等，作为光源，可以使用低压汞灯、高压汞灯、超高压汞灯、金属卤化物灯、UV-LED、氩气激光等。此外，辐射线照射量因各成分的种类、含量、涂膜的厚度等而异，无法一概而论，例如使用高压汞灯时，为100～1500mJ/cm2左右。接着，使用显影液进行显影，溶解去除无用的非曝光部等，仅残留曝光部等，由此得到期望图案的固化膜(经固化的树脂薄膜)。作为显影液，典型而言，可以使用碱性水溶液、有机溶剂。作为显影用的碱性水溶液的具体例，可列举出氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烷等碱类的水溶液；在该水溶液中适当添加了甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂、表面活性剂等的溶液等。此外，作为显影用的有机溶剂，只要溶解本发明的树脂薄膜就没有特别限定，可列举出例如甲苯、二甲苯等芳香族系化合物；正己烷、环己烷、异链烷烃等脂肪族系化合物；四氢呋喃等醚系化合物；甲乙酮、环己酮等酮系化合物；醋酸酯等酯系化合物；1,1,1-三氯乙烷等卤素系化合物等。需要说明的是，出于调整显影速度的目的，可以向该有机溶剂中适量添加乙醇、异丙醇等不会溶解本发明的树脂薄膜的溶剂。显影时间因各成分的种类、含量、涂膜的厚度等而异，无法一概而论，通常为30～1000秒钟。此外，显影方法可以使用浸渍法、搅动法、喷雾法、喷淋显影法等常规方法。显影后，进行30～90秒钟左右的流水清洗，使用旋转干燥器、气枪等使其风干，或者在热板、烘箱等的加热下使其干燥。需要说明的是，本发明的树脂薄膜即使仅通过上述辐射线照射也能够充分固化，但也可以通过追加的辐射线照射(以下称为“后曝光”)、加热而进一步固化。后曝光可以利用与上述辐射线照射相同的方法来进行，例如使用高压汞灯时，辐射线照射量为100～2000mJ/cm2左右。作为通过加热而使其进一步固化的方法，例如可列举出使用热板、烘箱等加热装置在60～150℃下加热5～60分钟的方法。通过这种进一步固化的处理，可期待提高由显影得到的图案化的精度。接着，对形成有期望图案的固化膜的基板进行蚀刻(处理)。蚀刻可以使用湿式蚀刻法、在减压下进行化学蚀刻的干式蚀刻法、将它们组合的方法等常规方法。作为湿式蚀刻中使用的蚀刻剂，可列举出例如单独的氢氟酸、氢氟酸与氟化铵、氢氟酸与其它酸(例如盐酸、硫酸、磷酸等)的混合酸等。干式蚀刻可以使用CF气体等。最后，将固化膜从基板上剥离。作为剥离方法，可列举出在剥离液中浸渍基板的方法、用手等进行物理剥离(剥除剥离)的方法。作为剥离液，可列举出将氢氧化钠、氢氧化钾等无机碱成分、三甲醇胺、三乙醇胺、二甲基苯胺等叔胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵的有机碱成分溶解于单独的水、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮或者溶解于它们的混合溶剂而得到的液体。此外，通过在剥离液中使用甲苯、二甲苯、柠檬烯等芳香族或脂肪族烃用于，也能够使固化膜溶胀而剥离。实施例以下，基于实施例来具体说明本发明，但本发明不限定于下述实施例。(1)组合物的制备[实施例1～12]作为具有(甲基)丙烯酰基的氢化聚丁二烯化合物(HPBD)，使用日本曹达株式会社制造的TEAI-1000(重均分子量为5500)，按照表1所述的质量比混合各成分，从而制备组合物。[表1][比较例1]实施例5中，使用UV-2750B(日本合成化学工业株式会社制造的氨基甲酸酯丙烯酸酯树脂)来代替TEAI-1000，除此之外，以相同的质量比混合各成分，从而制备组合物。(2)固化膜的制作和耐氢氟酸性的评价[实施例13～24、比较例2]将实施例1～12和比较例1中制备的组合物分别使用涂抹器涂布在具有热氧化膜(SiO2膜厚：300nm)的硅基板上，将涂膜用热板以110℃烘焙2分钟，在室温下冷却2分钟，在基板上形成树脂薄膜。接着，将各树脂薄膜进行UV曝光(55mW/cm2、999mJ)，使用热板以150℃烘焙5分钟而使其固化，从而制成固化膜。需要说明的是，膜厚为30μm～50μm。接着，将各带有固化膜的基板浸渍在包含25℃的氢氟酸9质量％和硫酸8质量％的混合酸水溶液(以下也称为蚀刻液)中，一边使蚀刻液循环，一边进行60分钟的蚀刻处理。其后，将基板进行水洗，然后用手将固化膜从基板上剥除剥离，使用偏振光椭圆率测量仪(J.A.Woollam公司制造的M-2000)，测定固化膜上覆盖的部分的热氧化膜的膜厚。并且，将热氧化膜的膜厚为290nm以上的情况记作“A”，将膜厚低于290nm且为200nm以上的情况记作“B”，将膜厚低于200nm的情况记作“C”，评价耐氢氟酸性。将结果示于表2。[表2]耐氢氟酸性实施例13B实施例14A实施例15A实施例16A实施例17A实施例18B实施例19B实施例20A实施例21B实施例22B实施例23A实施例24A比较例2C如表2所示那样，无论是否包含烯属不饱和单体、溶剂、胶凝剂、表面活性剂等，通过使用本发明的组合物，均能够获得优异的耐氢氟酸性的膜，此外，任意膜均能够剥除剥离。另一方面，使用比较例的组合物时，虽然蚀刻处理中膜没有剥离，但氢氟酸透过了膜，确认到SiO2的腐蚀。当前第1页1 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