技术特征：
技术总结
本发明公开一种微机电系统上使用的电介质及其制备方法，尤其是涉及一种应用与微机电系统的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质及其制备方法，采用传统树脂固化工艺制备。本发明所得到的制品与现有产品相比，具有更为复杂的双相结构，两相几何尺寸均匀且贯穿性好；传统电介质并不具有力学性能，现有制品由于环氧相存在具有优良的力学性能，且液体相具有良好的介电性能，多功能的内在属性使得本制品在植入微机电系统中与电极材料的匹配性更好，提高了微机电系统的使用寿命。通过改变碳酸丙烯酯的用量可以调节产品的力学性能和介电性能，以满足用户需求，使得市场应用范围更为广泛。
技术研发人员：陈伟
受保护的技术使用者：陈伟
技术研发日：2017.06.12
技术公布日：2017.09.05