一种单晶硅制绒添加剂的制作方法

文档序号:14888737发布日期:2018-07-07 15:22阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及单晶硅片制备领域,公开了一种单晶硅制绒添加剂,其含有硫酸软骨素‑聚(乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶)共聚物。本发明的制绒添加剂中含有硫酸软骨素‑聚(乙烯基吡咯烷酮‑乙烯基吡啶)共聚物,用于制绒添加剂中时,既能保持快速脱泡能力,又能逐渐减缓反应的进行,维持单晶硅片理想的绒面金字塔结构,制绒后单晶硅片表面的绒面金字塔的尺寸呈现双峰分布,硅片反射率低。

技术研发人员:蔡国华
受保护的技术使用者:温岭汉德高分子科技有限公司
技术研发日:2018.01.19
技术公布日:2018.07.06
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