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用平面波导制造流动池的制作方法
文档序号:24660185
发布日期:2021-04-13 23:28
阅读:
来源:国知局
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用平面波导制造流动池的制作方法
技术总结
在一个实例中提供了制造流动池的方法,该方法包括:形成核心层,所述核心层被设置在基底和纳米孔层之间,所述纳米孔层具有纳米孔以接收样品,所述核心层具有比基底和纳米孔层高的折射率;和形成光栅以将光耦合到核心层。和形成光栅以将光耦合到核心层。和形成光栅以将光耦合到核心层。
技术研发人员:
袁大军 M.S.博温 M.钟
受保护的技术使用者:
亿明达股份有限公司
技术研发日:
2020.05.28
技术公布日:
2021/4/13
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