Led用蓝宝石衬底研磨液的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蓝宝石晶体材料加工技术领域，具体涉及一种LED用蓝宝石衬底研磨液。
【背景技术】
[0002]蓝宝石单晶(Sapphire)，又称白宝石，分子式为Al2O3，透明，与天然宝石具有相同的光学特性和力学性能，有着很好的热特性，极好的电气特性和介电特性，并且防化学腐蚀，对红外线透过率高，有很好的耐磨性，硬度仅次于金刚石，达莫氏9级，在高温下仍具有较好的稳定性，熔点为2030°C，所以被广泛应用于工业、国防、科研等领域，越来越多地用作固体激光、红外窗口、半导体芯片的衬底片、精密耐磨轴承等高技术领域中零件的制造材料。
[0003]作为继s1、GaAs之后的第三代半导体材料的GaN，其在器件上的应用被视为20世纪90年代后半导体最重大的事件，使得半导体发光二极管(LED)和激光器上了一个新的台阶。由于GaN是很难制备的材料，必须在其它衬底材料上生长薄膜。作为GaN的衬底材料有多种，包括蓝宝石、碳化硅、硅、氧化镁、氧化锌等，其中蓝宝石是最主要的衬底材料(90 % )，目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料，并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。
[0004]随着世界范围内节能减排任务的推进，冷光源被越来越多的国家所提倡并采用。但由于性价比较低，该技术发展放缓。低成本、高效率的实现LED衬底材料蓝宝石晶体的表面加工是提高性价比的关键因素之一，随着蓝宝石衬底材料需求量的日益增加及表面质量要求的日益提高，对蓝宝石衬底表面加工技术的研宄显得尤为重要。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题在于提供一种抛光效率高，环保污染物的LED用蓝宝石衬底研磨液。
[0006]本发明所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
[0007]一种LED用蓝宝石衬底研磨液，由以下重量份数的组分制成:去离子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3-5份、金刚石粉5-15份、碳化钨5_15份、碳化铬4-6份、氮化钛4-6份、镍粉4-6份、煅烧高岭土 0.1-0.3份、钨酸盐0.1-0.3份、茶叶碱1_2份、消光微粉蜡1.5-2.5份、纳米碳化钛4-6份、环氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2_4份、非晶态二氧化硅2-4份、磷钨酸钾2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。
[0008]各组分的较佳重量份数为:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。
[0009]上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。
[0010]本发明的有益效果是:本发明成分简单，成本低，制作工艺易实现，研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗，符合工业生产的需求。
【具体实施方式】
[0011]为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。
[0012]实施例1
[0013]一种LED用蓝宝石衬底研磨液，由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。
[0014]上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。
[0015]实施例2
[0016]一种LED用蓝宝石衬底研磨液，由以下重量份数的组分制成:去离子水90份、叔丁醇5份、硬脂酸5份、乙二醇3份、金刚石粉15份、碳化钨5份、碳化铬6份、氮化钛4份、镍粉6份、煅烧高岭土 0.1份、钨酸盐0.3份、茶叶碱I份、消光微粉蜡2.5份、纳米碳化钛4份、环氧大豆油2.5份、二苯基硅二醇2份、非晶态二氧化硅4份、磷钨酸钾2份、甲基丙稀酸甲酯2份、苯甲酸0.4份、醋酸乙酯0.6份。
[0017]上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。
[0018]实施例3
[0019]一种LED用蓝宝石衬底研磨液，由以下重量份数的组分制成:去离子水70份、叔丁醇15份、硬脂酸3份、乙二醇5份、金刚石粉5份、碳化钨15份、碳化铬4份、氮化钛6份、镍粉4份、煅烧高岭土 0.3份、钨酸盐0.1份、茶叶碱2份、消光微粉蜡1.5份、纳米碳化钛6份、环氧大豆油1.5份、二苯基硅二醇4份、非晶态二氧化硅2份、磷钨酸钾4份、甲基丙稀酸甲酯I份、苯甲酸0.6份、醋酸乙酯0.4份。
[0020]上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。
[0021]以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种LED用蓝宝石衬底研磨液，其特征在于，由以下重量份数的组分制成:去离子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3_5份、金刚石粉5_15份、碳化钨5_15份、碳化铬4-6份、氮化钛4-6份、镍粉4-6份、煅烧高岭土 0.1-0.3份、钨酸盐0.1-0.3份、茶叶碱1-2份、消光微粉蜡1.5-2.5份、纳米碳化钛4-6份、环氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2-4份、非晶态二氧化硅2-4份、磷钨酸钾2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。2.根据权利要求1所述的LED用蓝宝石衬底研磨液物，其特征在于，由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份；制备时，将上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。
【专利摘要】一种LED用蓝宝石衬底研磨液，由以下重量份数的组分制成：去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份；制备时，将上述各组分混合搅拌均匀，在研磨机内研磨到细度小于等于5微米，装罐即可。本发明成分简单，成本低，制作工艺易实现，研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗，符合工业生产的需求。
【IPC分类】C09K3/14, C09G1/02
【公开号】CN104987839
【申请号】CN201510388669
【发明人】赫更民
【申请人】安徽德诺化工有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年6月30日