工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法

专利名称：工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法
技术领域：
本发明涉及输送印刷配线基板等工件的工件输送装置和方法，特别是 涉及利用基于图像信息而调制的光束来使工件的扫描区域曝光从而形成 图像的图像形成装置。
背景技术：
一直以来，众所周知的激光曝光装置例如是在印刷配线基板(下面， 有时称为"工件"或者"基板材料")等上形成配线图案的图像形成装置。 该激光曝光装置具备载置(装载)作为图像曝光的对象的印刷配线基板的 载物台，使该载物台可沿着规定的输送路径移动。具体而言，首先，将印刷配线基板定位装载于载物台的上面，通过从 设置于载物台上面的多个孔部吸引空气，将印刷配线基板吸附、保持于该 载物台上。若印刷配线基板吸附、保持于该载物台上，则该载物台按照规定的速度在副扫描方向移动，在规定的测定位置，用CCD摄像机拍摄设 置于该印刷配线基板上的对位孔(下面称为"对准标记")。然后，通过对 准通过该拍摄而得到的印刷配线基板的位置，对描绘坐标系中的描绘对象 区域进行坐标转换，由此，执行相对于图像信息的对准处理。执行了对准处理之后，在规定的曝光位置基于图像信息来调制载物台 上的印刷配线基板，利用被多面反射镜向主扫描方向偏转的激光束，对形 成于其上面的感光性涂膜进行扫描、曝光处理。由此，在印刷配线基板上 的规定区域(描绘区域)形成基于图像信息(与配线图案相对应)的图像 (潜像)。然后，使载物台复原移动到初始位置之后，从该载物台上取下(卸载) 形成有图像(潜像)的印刷配线基板，将去掉了印刷配线基板的载物台转 移到接下来的使印刷配线基板曝光的工序(例如参照专利文献1)。专利文献l:特开2000 — 338432号公报在这样的激光曝光装置中，有时对厚度较薄(例如厚度小于lmm)的印刷配线基板进行曝光处理。这时，若空气引起的吸引力强，则在载物台 上以起伏的形式吸附基板，从而发生使其周缘部浮起的不良情况。因此， 该情况下，例如设置辅助地按压印刷配线基板的周缘部的夹具等。但是，即使具备这样的夹具，也有必要有效地将基板送到载物台上及 将基板从载物台上卸下。即，即使设置有这样的夹具，也希望尽可能地不 降低印刷配线基板的制造效率。发明内容本发明是鉴于上述情况而构成的，其目的在于，提供一种工件输送装 置及方法，能够将可在载物台上固定工件的周缘部的夹具及工件高效地供 给到载物台上，特别是提供一种具备该工件输送装置的图像形成装置。为了实现上述目的，本发明第一方面提供一种工件输送装置，其具备 第一吸附单元，其具备吸附装载于输入部上的工件的多个吸附装置，且将 工件输送到载物台；第二吸附单元，其具备吸附所述载物台上的工件的多 个吸附装置，且将工件输送到输出部；固定夹具，其设置于所述载物台上， 密闭所述工件的周缘部，并且，形成有使该工件的除周缘部外的区域露出 的开口部，所述第一吸附单元及所述第二吸附单元具备第一吸附装置， 其为了吸附所述固定夹具而配置于其缘端部侧；第二吸附装置，其为了吸 附从所述开口部露出的所述工件而配置于其中心部侧。本发明第一方面的工件输送装置中，可通过第一吸附单元或者第二吸 附单元将按压工件周缘部的浮起的固定夹具高效地供给到载物台上。另外，在所述第一方面的工件输送装置的基础上，也可以在所述固定 夹具上形成可检测所述第一吸附装置的吸附位置偏移的检测部。在所述的构成中，在利用第一吸附装置吸附固定夹具时，可检测其位 置偏移。因此，可防止因固定夹具被偏移地输送而引起的故障。再者，在所述第一方面的工件输送装置的基础上，也可以至少在所述 第一吸附装置上具备缓冲装置。在所述的构成中，在利用第一吸附装置吸附了固定夹具的状态下利用 第二吸附装置吸附工件时，可吸收该固定夹具的厚度量的高度位置的差升°另外，本发明第二方面提供一种图像形成装置，其具备工件输送装置、移动机构、测定部、曝光部，所述工件输送装置具备第一吸附单元，其 具备吸附装载于输入部上的工件的多个吸附装置，且将工件输送到载物 台；第二吸附单元，其具备吸附所述载物台上的工件的多个吸附装置，且 将工件输送到输出部；固定夹具，其设置于所述载物台上，密闭所述工件 的周缘部，并且，形成有使该工件的除周缘部外的区域露出的开口部，所 述第一吸附单元及所述第二吸附单元具备第一吸附装置，其为了吸附所 述固定夹具而配置于其缘端部侧；第二吸附装置，其为了吸附从所述开口 部露出的所述工件而配置于其中心部侧，所述移动机构使所述载物台沿着 规定的输送路径移动，所述测定部检测由所述移动机构移动的载物台上的 工件的对准标记，所述曝光部利用基于根据所述测定部的检测结果进行了 对准处理的图像信息而调制后的光束，使所述载物台上的工件的除所述周 缘部外的区域曝光，并在该区域上形成图像。在所述的构成中，由于具备如上所述的工件输送装置，因此，可高效 地进行工件及固定夹具相对于载物台的供给。另外，由于利用该固定夹具 将工件可靠地固定于载物台上，因而，可相对于该工件准确地形成图像。另外，在所述第二方面的图像形成装置的基础上，也可以具备切换部， 该切换部向吸附所述固定夹具的模式和不吸附所述固定夹具的模式进行 切换。在所述的构成中，能相对于需要固定夹具的工件和不需要固定夹具的 工件这两者执行曝光处理。另外，本发明第三方面提供一种工件输送方法，其包括用具备多个 吸附装置的第一吸附单元来吸附装载于输入部上的工件并输送到载物台 的工序；用具备多个吸附装置的第二吸附单元来吸附所述载物台上的工件 并输送到输出部的工序；将形成有使所述工件的除周缘部外的区域露出的 开口部的固定夹具设置于所述载物台上，并密闭所述工件的周缘部的工 序，其中，通过用配置于所述第一吸附单元或者所述第二吸附单元的缘端 部侧的第一吸附装置来吸附所述固定夹具，用配置于所述第一吸附单元或 者所述第二吸附单元的中心部侧的第二吸附装置来吸附从所述开口部露出的所述工件，将该工件及所述固定夹具装载到所述载物台上或者从所述 载物台上除去。在所述的构成中，利用第一吸附单元或第二吸附单元可将按压工件周 缘部的浮起的固定夹具高效地供给到载物台上。另外，在所述第三方面的工件输送方法的基础上，也可以是，利用所 述第二吸附单元的第一吸附装置来吸附载物台上的固定夹具，并且，利用 所述第一吸附单元的第二吸附装置来吸附输入部上的工件，然后，使第一 吸附单元及第二吸附单元移动到输出部侧，使所述第一吸附单元的第二吸 附装置解除吸附，由此，将所述工件装载于载物台上，接着，使第一吸附 单元及第二吸附单元移动到输入部侧，使所述第二吸附单元的第一吸附装 置解除吸附，由此，将所述固定夹具装载于载物台上，利用该固定夹具密 闭所述工件的周缘部。另外，在所述第三方面的工件输送方法的基础上，也可以是，利用所 述第一吸附单元的第一吸附装置吸附载物台上的固定夹具后，使第一吸附 单元及第二吸附单元移动到输入部侧，利用所述第一吸附单元的第二吸附 装置吸附输入部上的工件，然后，使第一吸附单元及第二吸附单元移动到 输出部侧，使所述第一吸附单元的第二吸附装置解除吸附，由此，将所述 工件装载于载物台上，并且，使所述第一吸附单元的第一吸附装置解除吸 附，由此将所述固定夹具装载于载物台上，并利用该固定夹具密闭所述工 件的周缘部。在所述的构成中，利用第一吸附单元或者第二吸附单元可将固定夹具 高效地供给到载物台上。另外，在所述第三方面的工件输送方法的基础上，也可以是，所述固 定夹具由工件的定位构件定位装载于所述载物台上，然后，由所述第一吸 附单元或者所述第二吸附单元的第一吸附装置吸附。在所述的构成中，工件的定位构件可兼作为固定夹具的定位构件。因 此，可很容易地进行固定夹具的定位。另外，由于不需要另行准备固定夹 具用的定位构件，因此，可防止成本的增加。如上所述，根据本发明，可提供一种工件输送装置及方法，其能够将 可在载物台上固定工件的周缘部的夹具及工件高效地供给到载物台上，特别是能提供一种具备该工件输送装置的图像形成装置。


图1是激光曝光装置的概略立体图；图2是表示基板输送装置及激光曝光装置的概略立体图； 图3是表示基板输送装置及激光曝光装置的概略俯视图； 图4A是固定夹具的概略立体图； 图4B是图4A的X—X线向视概略剖面图； 图5是表示载物台、基板材料及固定夹具的概略立体图； 图6是表示吸附于载物台上的基板材料和固定夹具的概略剖面图； 图7是表示吸附于载物台上的基板材料和固定夹具的局部放大概略立 体图；图8A是表示定位于载物台上的固定夹具的概略俯视图；图8B是表示安装于吸附单元上的吸附装置的配置状态的概略俯视图；图9是表示安装于吸附单元上的吸附装置的概略侧视图； 图10A是表示基于曝光头的曝光区域的概略俯视图； 图10B是表示曝光头的排列图案的概略俯视图；图11是表示从载物台的上方排除了吸附单元的状态的概略侧视图； 图12是表示从载物台的上方排除了吸附单元的状态的概略俯视图； 图13A是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图13B是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图14A是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图14B是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图15A是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图15B是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图16A是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图16B是表示用第二吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图17A是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图17B是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图18A是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图18B是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图19A是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图19B是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图20A是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图20B是表示用第一吸附单元吸附、输送固定夹具的工序的概略侧视图；图21是表示固定夹具的变形例的概略俯视图。符号说明10固定夹具12开口部14按压部16刚性构件18弹性构件20易剥离构件22切口部(检测装置) 24槽部(检测装置)26定位构件 28切口部30基板输送装置(工件输送装置)32装载器(输入部)34卸载器(输出部)40第一移动体42第二移动体50第一吸附单元52第二吸附单元54吸附装置54A第一吸附装置54B第二吸附装置56吸附装置56A第一吸附装置56B第二吸附装置84吸盘86吸盘95第一螺旋弹簧98第二螺旋弹簧(缓冲机构)100激光曝光装置(图像形成装置)110载物台112滚珠丝杠(移动机构) 114电动机(移动机构) 118CCD摄像机(测定部) 120曝光头(曝光部) 130控制器132模式切换开关(切换装置) 200基板材料(工件)具体实施方式
下面，基于附图所示的实施例来详细说明本发明的最佳实施方式。图 1是表示作为本发明的图像形成装置之一例的激光曝光装置的概略立体图。另外，图2是表示基板(工件)输送装置和激光曝光装置的概略立体 图，图3是其概略俯视图。另外，图4A及图4B是固定夹具的概略立体 图和概略剖面图，图5是载物台、基板材料及固定夹具的概略立体图，图 6是其概略剖面图。在图1中，以箭头M为宽度方向，以箭头S为输送方 向，以与箭头S相反的方向为扫描方向。 〔激光曝光装置的构成)首先，最先说明激光曝光装置100。如图1所示，该激光曝光装置100 具备用六个脚部104支承的矩形厚板状的设置台102。在设置台102的上 面，沿长度方向(输送方向)设置有两个导轨106，在这两个导轨106上， 隔着引导部108设置有矩形平板状的载物台110。载物台110以长度方向朝向导轨106的延伸方向(输送方向)的形式 配置，利用导轨106及引导部108在设置台102上被任意的移动机构支承 为可往复移动。即，例如利用电动机114及滚珠丝杠112等移动机构，沿 着导轨106按照规定的速度往复移动。在载物台110的上面，以被如图8A所示的定位构件26定位于规定位 置的状态来装载作为曝光对象物的矩形平板状的基板材料200。另外，如 图5所示，在该载物台IIO的上面穿设有多个孔部IIOA。而且，如图6所示，通过用负压供给源(未图示)使载物台110的内 部形成负压而从孔部IIOA吸引空气，利用其吸引力将基板材料200吸附、 保持于载物台110的上面。另外，在载物台110上，在孔部110A的外侧 以矩形框状形成有槽部IIOB，也可从形成于该槽部110B内的多个小孔吸 引空气。另外，在基板材料200的厚度例如小于lmm，利用空气的吸引力以起 伏的形式吸引于载物台IIO上，从而其周缘部浮起的情况下，如图5 图 7所示，将上面(非接触面)为黑色的固定夹具IO (后述)设置于载物台 110上，防止基板材料200的周缘部的浮起，辅助基板材料200可靠地固定于载物台110的上面。另外，此时，通过孔部110A及槽部(小孔)110B将固定夹具10吸附、保持于载物台110上。另外，在基板材料200上设置有多个表示其被曝光面上的描绘区域的曝光位置的基准的对准标记(未图示)。该对准标记例如由圆形的贯通孔构成，在基板材料200的除周缘部外的四角附近分别设置一个共计设置四 个。在设置台102的中央部，以跨过载物台110的移动路径的形式设置有 大致"〕"字形的门116。门116的两端部分别被固定于设置台102上， 隔着门116，在一侧设置有将基板材料200曝光的曝光头(曝光部)120， 在另一侧设置有拍摄设置于基板材料200上的对准标记的多台(例如四台) CCD摄像机(测定部)118。因此，在基板材料200随着载物台110的移动而通过CCD摄像机118 的下方时，进行该CCD摄像机118的对准标记的测定。g卩，各CCD摄像 机118通过在基板材料200的对准标记到达了规定的摄像位置的定时，使 频闪观测仪光源发光，使照射到基板材料200的频闪观测仪光的在基板材 料200上面的反射光经由透镜输入到摄像机主体，由此来拍摄其对准标记。另外，将用于移动载物台110的移动机构(电动机114及滚珠丝杠 112)、 CCD摄像机U8、曝光头120等连接于控制它们的控制器130。通 过该控制器130，以按照规定的速度移动的形式来控制载物台110，以在 规定的定时拍摄基板材料200的对准标记的形式来控制CCD摄像机118， 以在规定的定时使基板材料200曝光的形式来控制曝光头120。将曝光头120排列成m行n列(例如2行4列)的大致矩阵状。而且， 如图10B所示，基于曝光头120的曝光范围122例如构成为以输送方向(扫 描方向)为短边的矩形状。因此，在基板材料200上，随着向其输送方向 的移动动作，按每个曝光头120沿扫描方向形成带状的曝光完成区域202 (参照图IOA)。另外，按照带状的曝光完成区域202在与输送方向(扫描方向)正交 的宽度方向无间隔地排列的形式排列成线状的各行曝光头120分别在排列 方向错开规定间隔(曝光范围122的长边的自然数倍)配置。因此，例如 在第一行曝光范围122间不能曝光的部分可通过第二行的曝光范围122进行曝光。各曝光头120分别具备作为根据图像数据按各像素调制所入射的激光 束的空间光调制元件的数字微反射镜装置(DMD)(省图示)。该DMD连 接于具备数据处理部和反射镜驱动控制部的所述控制器130。在控制器130的数据处理部，根据输入的图像数据，生成对每个曝光 头120驱动控制DMD的需要控制的区域内的各微反射镜的控制信号。另 外，在反射镜驱动控制部，根据在数据处理部生成的控制信号来对每个曝 光头120控制DMD的各微反射镜的反射面的角度。在各曝光头120的DMD的光入射侧连接有从将多束作为激光射出的 照明装置126引出的束状的光纤124。照明装置126在其内部设置有多个 将从多个半导体激光芯片射出的激光合波而输入到光纤的合波模块。从各 合波模块延伸的光纤为传播合波后的激光的合波光纤，将多个光纤捆成一 束而形成为束状的光纤124。 (激光曝光装置的作用)下面，说明以上构成的激光曝光装置100的作用。还有，作为利用激 光曝光装置100进行图像曝光的基板材料(工件)200，可列举作为形成 (图像曝光)印刷配线基板或液晶显示元件等的图案的材料的基板、或将 感光性环氧树脂等光致抗蚀剂涂敷在玻璃板等的表面或者在干式薄膜时 进行层压的材料等。首先，若利用如图2、 3所示的基板输送装置30 (后述)将基板材料 200定位装载于载物台110的上面，则该基板材料200在来自孔部110A 的空气的吸引作用下吸附、保持于载物台IIO的上面。此时，基板200例如是小于lmm的薄基板，在其周缘部通过空气的 吸引力而浮起的情况下，将后述的固定夹具IO设置于载物台110上，利 用该固定夹具10按压基板材料200的周缘部。此时，固定夹具10被来自 孔部110A及槽部(小孔)110B的空气的吸引力吸附、保持于载物台IIO 上。这样，将基板材料200 (及固定夹具IO)吸附、保持(固定)于载物 台110的上面之后，使载物台IIO开始向输送方向移动，将基板材料200 输送到基于CCD摄像机118的对准检测工序及基于曝光头120的曝光工序。即，操作员通过从控制器130的指示输入装置进行曝光开始的输入操 作，开始激光曝光装置ioo的曝光动作。首先，利用控制器130控制移动机构(电动机114及滚珠丝杠112)， 使将基板材料200 (及固定夹具10)吸附、保持于上面的载物台100沿着 导轨106以一定速度开始向输送方向移动。与该载物台110的移动开始同 步，或者在基板材料200的前端达到各CCD摄像机118的正下方稍微之 前的定时，利用控制器130控制各CCD摄像机118开始工作。艮P，当例如设置于基板材料200的移动方向下游侧(前端侧)的角部 附近的两个对准标记到达各CCD摄像机118的透镜的光轴上(CCD摄像 机118的正下方)时，各CCD摄像机118在规定的定时使频闪观测仪光 源发光，拍摄各对准标记。然后，将所拍摄的图像数据(基准位置数据) 输出到控制器130的数据处理部。数据处理部根据从输入的各对准标记的图像数据(基准位置数据)判 明的图像内的对准标记的位置及对准标记之间的间距等、和拍摄该对准标 记时的载物台110的位置及CCD摄像机118的位置，通过运算处理，掌 握载物台110上的基板材料200的位置偏移、相对于移动方向的倾斜、尺 寸精度误差等，算出相对于基板材料200的被曝光面的适当曝光位置。在此，将与曝光图案相对应的图像数据暂时储存于控制器130内的存 储器中。因此，在进行曝光头120的图像曝光时，执行使基于储存于该存 储器中的曝光图案的图像数据而生成的控制信号与上述适当曝光位置一 致而进行图像曝光的修正控制(对准)。另外，该图像数据为用二值(有 无点记录)表示了构成图像的各像素的浓度的数据。这样，当各CCD摄像机118进行的对准标记的测定(拍摄)结束时， 利用移动机构(电动机114及滚珠丝杠112)的驱动，使载物台110沿着 导轨106移动到曝光位置。然后，基板材料200随着载物台IIO的移动， 在曝光头120的下方向输送方向下游侧移动，当被曝光面的描绘区域到达 曝光开始位置时，各曝光头120照射激光束而开始相对于基板材料200的 被曝光面(描绘区域)的图像曝光。艮口，储存于控制器130的存储器内的图像数据按照多个线量一一依次 读取，基于由数据处理部读取的图像数据对每个曝光头120生成控制信号。在该控制信号中通过修正控制(对准)来增加相对于对准测定后的基板材 料200的曝光位置偏移的修正。而且，反射镜驱动控制部基于生成及修正后的控制信号对每个曝光头120进行DMD的微反射镜的各自的开、关控制。若从照明装置126的光纤124射出的激光照射于DMD，则DMD的 微反射镜在开状态时所反射的激光通过透镜系统在基板材料200的被曝光 面上成像。即，从照明装置126射出的激光对每个像素进行开、关，基板 材料200以与DMD的使用像素数大致相同的像素单位进行曝光。还有， 此时，即使设置固定夹具10，由于其上面为黑色，因而也能够防止照射的 激光的反射。然后，通过使基板材料200与载物台IOO—起按一定速度移动，利用 曝光头120使基板材料200在与载物台IIO的移动方向(输送方向)相反 的方向即扫描方向曝光，并按每个曝光头120形成带状的曝光完成区域 202 (参照图10A)。当曝光头120对基板材料200的图像曝光结束时，通 过移动机构(电动机114及滚珠丝杠112)使载物台110向输送方向的相 反的方向(扫描方向)移动，返回到装载基板材料200的初始位置。若载物台IIO复原移动到初始位置，则解除基于空气吸引的吸附(及 基于固定夹具IO的固定状态)，利用如图2、图3所示的基板输送装置30 (后述)从载物台110的上面取下基板材料200。然后，将从载物台110 上面取下的基板材料输送到未图示的机器外的输送传送带，输送到下一工 序。〔固定夹具的构成) 下面，详细说明在如上所述的激光曝光装置IOO等图像形成装置中使 用的固定夹具10。如图4A所示，该固定夹具10形成为中央穿设有开口 部12的框状，基板材料200的除周缘部外的描绘区域可从该开口部12露 出。固定夹具10的除开口部12外的部位为按压基板材料200的周缘部(所 期望的描绘区域外)的按压部14，该按压部14层叠了多层材质不同的构 件而构成。即，如图4B所示，该按压部14从与基板材料200的非接触面 侧(上面侧)起依次粘贴刚性构件16、弹性构件18、易剥离构件(剥离构件)20而构成。作为刚性构件16之一例可列举铝等金属。另外，作为弹性构件18之 一例可列举硬度较低的橡胶等。另外，作为易剥离构件20之一例可列举 聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等塑料。还有，由于该易剥离构件20与刚性 构件16及弹性构件18相比厚度非常薄，因而在图4B之外省略了图示。另夕卜，如图8A所示，定位构件26在向载物台IIO的中心的一侧切成 左右对称的台阶状，可适应各种基板材料200的尺寸变化。g卩，其切口部 28用最内侧的切口部28A可定位最小的基板材料200，用比其靠外侧的切 口部28B、 28C可分别定位依次比其大的基板材料200。另外，固定夹具10的外形尺寸做成可用形成于载物台110上的槽部 (小孔)IIOB吸附的尺寸。换言之，做成与装载于载物台IIO上的最大基 板材料200的外形尺寸相同。因此，在将固定夹具IO定位装载于载物台 110上时，使定位构件26向载物台110的输送方向端部侧的规定位置移动， 只要使固定夹具10的输送方向侧的短边与切口部28C接触(吻合)定位 即可，由此，可很容易地将该固定夹具IO定位装载(设置)于载物台110 上。另外，图中未图示，但固定夹具10根据基板材料200的尺寸变化使 .用开口部12的大小不同的装置。g卩，可以准备多个开口部12的大小不同 的固定夹具IO，以适应基板材料200的尺寸变化。因此，在使用固定夹具 10进行曝光处理时，只是比可装载于载物台110上的最大尺寸的基板材料 200小的尺寸的基板材料200成为对象。另外，如上所述，优选将按压部14 (刚性构件16)的上面(非接触 面)做成黑色。根据这样的构成，可防止相对于从开口部12露出的基板 材料200的被曝光面(描绘区域)，从曝光头120照射的激光的反射。另 夕卜，若与基板材料200的周缘部非接触的上面侧(非接触面侧)为刚性构 件16，则固定夹具10的操作性(处理性)良好。即，可使在载物台110 上定位装载(设置)固定夹具10的作业易于进行。总之，将基板材料200及固定夹具10定位装载于载物台110上，或 者定位装载并且如图6所示使载物台110内部形成负压而从孔部110A及 槽部(小孔)IIOB吸引空气，由此可将基板材料200及固定夹具IO吸附、保持于载物台110上。而且，由此，按压基板材料200的周缘部的按压部14的弹性构件如 图6、图7所示那样挠曲变形，适当地密闭其周缘部(密闭度向上)。因此， 即使在基板材料200例如为小于lmm的薄基板，在空气的吸引力作用下， 其周缘部浮起的情况下，也可利用固定夹具10可靠地按压(固定)其周 缘部(描绘区域外)。因此，可在基板材料200上准确地形成图像。另外，将固定夹具10定位之后，将定位构件26从载物台110上取下。 由于可通过这样将基板材料200定位的定位构件26来定位装载固定夹具 10，因而不需要另行设置用于将固定夹具10定位的定位构件。因此，在 成本上也是优选的(防止成本的增加)。另外，对基板材料200形成图像后，在将固定夹具10从载物台110 上取下时，可利用易剥离构件20很容易地从基板材料200上剥离。因此， 也不会发生基板材料200随固定夹具10 —起被取下的不良情况。 〔基板输送装置的构成)下面将要说明的是，将基板材料200送到具备以上那样的固定夹具10 的激光曝光装置IOO，且从激光曝光装置100送出曝光完成的基板材料200 的基板输送装置30。如图2、图3所示，在与激光曝光装置100的载物台IIO移动的输送 方向正交的左右两侧，且在载物台IIO的移动方向(输送方向)始端侧(装 载、卸载位置)，与该载物台IIO相邻分别配置有装载器(送入部)32和 卸载器(送出部)34。在图2、图3中，若假设将基板材料200从右(箭 头R所示)送入，从左(箭头L所示)送出，则右侧为装载器32、左侧 为卸载器34。在装载器32上设置有巻绕在一对辊36上的环形带38，将从设备外输 送来的基板材料200接收到该环形带38上。另外，送入环形带38的基板 材料200其构成为，在该环形带38上利用未图示的定位装置进行定位。另外，在卸载器34上也配置有巻绕在一对辊37上的环形带39，将装 载于该环形带39上的曝光完成的基板材料200从卸载器34输送到设备外 的输送带(未图示)。另外，装载器32及卸载器34并非仅局限于图示的 形式，例如也可以替代环形带38、 39而并排设置多个辊。在装载器32、载物台110、卸载器34的上方，在与载物台110的移 动方向(输送方向)正交的方向(宽度方向)，经由框架44架设有一对导 轨46，在该导轨46上分别可移动地支承有第一移动体40和第二移动体 42。另外，在导轨46旁边，与该导轨46平行地架设有滚珠丝杠48。艮卩， 在滚珠丝杠48的一端安装有沿正反方向旋转驱动该滚珠丝杠48的驱动电 动机47，该驱动电动机47支承于框架44上。而且，滚珠丝杠48的另一 端支承于具备支承等轴承(未图示)的支承撑条49。另外，在第一移动体40的输送方向侧延伸设置有具有螺孔(未图示) 的引导构件41，在该引导构件41的螺孔(未图示)中螺合有滚珠丝杠48。 因此，第一移动体40的构成为，通过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48 沿正反方向转动，能够经由引导构件41沿着导轨46在宽度方向往复移动。另外，滚珠丝杠48只要延伸设置至载物台110上即可。目卩，由于第 二移动体42通过利用后述的连结装置60与第一移动体40连结而一体移 动，故只要使滚珠丝杠48延伸使第一移动体40移动的距离即可。另外， 也可以说，使第一移动体40及第二移动体42移动的装置并非仅局限于该 构成。在第一移动体40上升降自如地安装有第一吸附单元50，在第二移动 体42上升降自如安装有第二吸附单元52。各吸附单元50、 52的构成为， 以在各安装板51、 53上使多个吸附装置54、 56垂设为相同高度，在各吸 附装置54、 56的上部连接有空气吸引用的管55、 57 (参照图11)。设置于各吸附装置54、 56的前端(下端)的合成树脂制的吸盘84、 86 (参照图9)在侧面看是相同高度，在底面看，在其中央穿设有与管55、 57连通的开口 (未图示)。因此，构成为通过管55、 57从吸盘84、 86的 前端吸引空气，由此可进行基板材料200及固定夹具10的吸附。另外，安装板51、 53通过由未图示的LM导件和驱动电动机构成的 升降机构58、 59可升降移动。因此，即使对于基板材料200的厚度变化 也可柔性地适应。另外，该升降机构58、 59可独立地被驱动。另外，如图2、图3、图ll、图12所示，第一移动体40和第二移动 体42通过连结装置60装卸自如地连结。g卩，在第一移动装置40的上面设有被连结构件62，使其向第二移动体42侧突出，在第二移动体42的上 面设有连结构件64，使其向第一移动体40侧突出。在连结构件64的前端设置有可向上方转动地枢轴支承的转动部66， 在连结构件64的下面，从第二移动体42延伸设置有阻止转动部66向下 方转动的支承板(未图示)。在转动部66的上面突设有正面看大致呈"〕" 字形的把手70，在转动部66的前端延伸设置有平面看大致呈"T"字形 的卡合部72。该卡合部72嵌合于在被连结构件62的前端形成的平面大致 呈"T"字形的槽部74 (参照图12)。另外，在被连结构件62的下面，从第一移动体40延伸设置有防止嵌 入到槽部74内的卡合部72向下方脱落的支承板(未图示)。而且，在该 支承板上设置有未图示的传感器，以能够检测卡合部72嵌合到槽部74、 以及卡合部72从槽部74脱落。另外，在被连结构件62的上面，设有固定于大致圆柱状的操作部68 且可沿水平方向转动的大致椭圆形板状的挡块76。该挡块76以通过使操 作部68转动而将另一端在嵌合于槽部74中的卡合部72的上面突出的形 式构成，可防止不经意使卡合部72向上方转动而从槽部74脱落。另外， 对于该挡块76也配置有未图示的传感器，能够判断挡块的转动位置。 〔吸附装置的构成〕下面，说明设置于第一吸附单元50及第二吸附单元52上的吸附装置 54、 56。另外，为了便于说明，说明的是吸附装置54，而吸附装置56也 是一样的。如图8B所示，吸附装置54在安装板51上安装了多个。具体而言，为了能够吸附固定夹具10而在安装板51的缘端部侧安装 八个吸附装置54，并在相对置的边按等间隔安装，而且，为了通过固定夹 具10的开口部12(从固定夹具10的开口部12露出)可吸附基板材料200 而在安装板51的中心部侧安装四个吸附装置54，并以大致等间隔安装。另外，下面在区分说明这些吸附装置54时，将安装于安装板51的缘 端部侧的吸附装置54称为"第一吸附装置54A"，将安装于安装板51的 中心部侧的吸附装置54称为"第二吸附装置54B"。因此，将安装于安装 板53的缘端部侧的吸附装置56称为"第一吸附装置56A",将安装于安 装板53的中心部侧的吸附装置56称为"第二吸附装置56B"。如图9所示，吸附装置54具有穿设有空气吸引用的贯通孔(未图示) 的管80，在该管80的下端附近的外周面一体化突出设置有凸缘82。而且， 在比该凸缘82靠下侧的管下端安装有合成树脂制的吸盘84，在该吸盘84 的中央穿设有与管80的贯通孔相连通的开口 (未图示)。在管80的上端设置有用于连接管55的连结构件88，在连结构件88 的内部形成有与管80的贯通孔相连通的连通孔(未图示)。另外，在管55 的端部安装有内部形成有导通孔的连接构件78，该连接构件78与连结构 件88连通连接。由此，能够从形成于吸盘84上的开口来吸引空气。另外，在管80上插嵌有挡块构件90 (在挡块构件90上插通管80)。 该挡块构件90包含具有与管80的外径大致相等的内径的筒部92、在筒 部92的上端一体形成并比筒部92的外径大的圆板状的转动操作部93、固 定于筒部92的下端并与安装板51的安装孔(未图示)插通卡止的矩形板 状的卡止板96。另外，在该挡块构件90的筒部92插嵌有按压构件94 (在按压构件 94中插通筒部92)。该按压构件94形成为不能插通于安装板51的安装孔 中的大小的圆板状，穿设于其中心的贯通孔(未图示)的直径(内径)与 筒部92的外径大致相同。另外，在转动操作部93和按压构件94之间的筒部92插嵌有将按压 构件始终向卡止板96侧施力的第一螺旋弹簧95，在卡止板96和凸缘82 之间的管80上插嵌有将挡块构件(卡止板96)始终向连结构件88侧(上 方)施力的第二螺旋弹簧98。根据上述构成的吸附装置54，可利用第二螺旋弹簧98允许吸盘84 的高度方向的移动。即，该吸附装置54具备高度方向的缓冲机构。因此 构成为，即使配置于缘端部侧的第一吸附装置54A的吸盘84吸附固定夹 具10，也能在利用配置于中心部侧的第二吸附装置54B的吸盘84吸附基 板材料200时，使第一吸附装置54A的吸盘84克服第二螺旋弹簧98的施 力而向上方移动(吸收固定夹具10的厚度量的高度位置的差异)，允许利 用第二吸附装置54B的吸盘84吸附基板材料200。 〔固定夹具、基板输送装置及吸附装置的作用)下面，说明上述的构成的固定夹具10、基板输送装置30及吸附装置54、 56的一系列作用。首先，解除第一移动体40和第二移动体42的连结。 即，在被连结构件62侧，转动操作部68从卡合部72的上面退出挡块76， 把持连结构件64侧的把手70使转动部66向上方转动，从槽部74内取下 卡合部72。该状态可通过将传感器的检测结果显示于控制器130的显示部 128上来确认。这样，解除连结构件64和被连结构件62的连结后，使第一吸附单元 50 (第一移动体40)向装载器32侧移动，使第二移动装置52 (第二移动 体42)向卸载器34侧移动。即，通过用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋 转来移动第一吸附单元50 (第一移动体40)，通过手动来移动第二吸附单 元(第二移动体42)。当与第一移动体40的连结被解除时，第二移动体42可沿着导轨46 自由地移动，因此，可通过人手简单地移动。该状态如图ll、图12所示。 另外，在第一吸附单元50(第一移动体40)已经位于装载器32的上方时， 当然只移动第二吸附单元52 (第二移动体42)。接着，移动第一吸附单元50及第二吸附单元52后，手动将固定夹具 IO定位装载于载物台110上。即，如图8A所示，利用形成于基板材料200 用的定位构件26上的切口部28 (最大尺寸用的切口部28C)将固定夹具 IO定位装载到载物台110上。此时，由于在载物台IIO的上方不存在第一 吸附单元50及第二吸附单元52，固定夹具10的上面侧(非接触面侧)是 刚性构件16，因此，可通过人手很容易地进行安置固定夹具IO的作业。若将固定夹具IO设置于载物台上，则将第一移动体40和第二移动体 42连结。即，把持把手70使转动部66向下方转动，将卡合部72嵌入槽 部74内。然后，转动操作部68使挡块76介于卡合部72的上面。另外， 由于可通过各传感器的检测结果显示于控制器130的显示部128来掌握连 结装置60是否可靠地连接，故可避免在产生连结不良的状态下的误操作。这样，若将第一移动体40和第二移动体42连结，则利用控制器130 控制第一移动体40的移动及各吸附单元50、 52的吸附动作。在此，在将 固定夹具10装载于载物台110上或者从载物台110上除去的情况下，可 考虑用第一吸附单元50来吸附、输送的情况和用第二吸附单元52来吸附、 输送的情况这两种情况。因此，首先基于图13A 图16B来说明在最初利用第二吸附单元52吸附、输送固定夹具10的情况。将最初的基板材料200送入装载器32的环形带38上，若利用未图示 的定位装置进行定位，则利用升降机构58使第一吸附单元50的安装板51 下降，使设置于该安装板51上的中心部侧的第二吸附装置54B的吸盘84 通过从前端开口吸引空气来吸附基板材料200。而且，与此同时，通过升 降机构59使第二吸附单元52的安装板53下降，使设置于该安装板53上 的缘端部侧的第一吸附装置56A的吸盘86通过从前端开口吸引空气来吸 附固定夹具IO的上面。若第二吸附装置54B吸附、保持基板材料200，则利用升降机构58 使安装板51上升，而且，若第一移附装置56A吸附、保持固定夹具IO， 则利用升降机构59使安装板53上升。该状态如图13A所示。然后，通过 利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转，使第一移动体40沿着导轨46向 载物台110侧(卸载器34侧)移动。此时，由于用连结装置60使第二移 动体42与第一移动体40连结，因此第二移动体42也与第一移动体40形 成一体而向卸载器34侧移动。当第一吸附单元50在载物台110的上方停止移动(若使滚珠丝杠48 的旋转停止)时，利用升降机构58使该安装板51下降，将基板材料200 装载于载物台110上。而且，第二吸附装置54B的吸盘84停止空气的吸 引，解除对基板材料200的吸附。该状态如图13B所示。这样，若将基板材料200装载于载物台110上，则利用升降机构58 使第一吸附单元50的安装板51上升至规定的高度，然后，使第一移动体 40复原移动到装载器32侧(初始位置)。此时，第二吸附单元52—直吸 附着固定夹具IO，并沿着导轨46向载物台IIO的上方移动。当第二吸附单元52在载物台110的上方停止移动(若使滚珠丝杠48 的旋转停止)时，利用升降机构59使该安装板53下降，从装载于载物台 110上的基板材料200的上方装载固定夹具10。而且，第一吸附装置56A 的吸盘86停止空气的吸引，解除对固定夹具10的吸附。该状态如图14A 所示。另外，此时通过从形成于载物台IIO上的孔部IIOA及槽部(小孔) IIOB吸引空气，将基板材料200及固定夹具IO吸附、保持于载物台110上。而且，由此可利用固定夹具10的按压部14来密闭基板材料200的周缘部(参照图6、图7)。另外，利用升降机构58使释放了固定夹具IO的 安装板51上升至规定的高度。另外，若通过固定夹具10来密闭装载于载物台110上的基板材料200 的周缘部，则使该载物台110向输送方向移动，执行基于CCD摄像机118 的对准处理及基于曝光头120的曝光处理。g卩，如上所述，通过CCD摄 像机118来检测基板材料200的对准标记，通过曝光头120使基于图像信 息的图像曝光，在基板材料200的描绘区域形成印刷配线基板的配线图案 等潜像(图像)。当对基板材料200进行的曝光处理结束时，使载物台IIO复原移动到 装载基板材料200的初始位置(装载、卸载位置)。另外，此时已经在装 载器32的环形带38上装载有下一个基板材料200，该状态如图14B所示。 若载物台no复原移动到初始位置(装载、卸载位置)，则载物台110上 的固定夹具10及基板材料200分别由第二吸附单元52的第一吸附装置 56A及第二吸附装置56B吸附。艮P，利用升降机构59使第二吸附单元52的安装板53下降，设置于 其上的缘端部侧的第一吸附装置56A的吸盘86通过从前端开口吸附空气 来吸附载物台IIO上的固定夹具IO，接着，中心部侧的第二吸附装置56B 的吸盘86通过从前端开口吸附空气来吸附载物台110上的曝光完成的基 板材料200。此时，由于利用第二螺旋弹簧98使第一吸附装置56A的吸盘86在高 度方向上移动，因此可利用第二吸附装置56B可靠地吸附从开口部12露 出的基板材料200。这样，若利用第一吸附装置56A吸附固定夹具10、利 用第二吸附装置56B吸附基板材料200，则利用升降机构58使安装板53 上升至规定高度。另外，也可以为下述的构成，S口，随着升降机构59的上升，从载物 台110的孔部IIOA及槽部(小孔)IIOB向上方排出空气，从载物台110 上取下固定夹具IO。另外，与此同时，利用升降机构58使第一吸附单元 50的安装板51下降，使设置于其上的中心部侧的第二吸附装置54B的吸 盘84从前端开口吸引空气，由此吸附装载器32上的新的未曝光的基板材料200并上升规定高度。该状态如图15A所示。若使第二吸附单元52吸附、保持曝光完成的基板材料200及固定夹 具10，使第一吸附单元50吸附、保持新的未曝光的基板材料200，则通 过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转，使第一移动体40向载物台110 侧(卸载器34侧)移动。此时，由于利用连结装置60使第二移动体42 与第一移动体40相连结，因而第二移动体42也与第一移动体40形成一 体而向卸载器34侧移动。当第一移动体40在载物台IIO的上方停止移动(若使滚珠丝杠48的 旋转停止)时，如上所述，利用升降机构58使第一吸附单元50的安装板 51下降，将基板材料200装载于载物台IIO上。然后，第二吸附装置54B 的吸盘84停止空气的吸引，解除对基板材料200的吸附，并再次上升至 规定高度。另一方面，若使第二移动体42即第二吸附单元52移动到卸载器34 的上方，则利用升降机构59使安装板53下降，将基板材料200装载于环 形带39上。即，只是中心部侧的第二吸附装置56B的吸盘86停止空气的 吸引，解除对基板材料200的吸附。然后，使释放了基板材料200的第二吸附单元52的安装板53 —直吸 附、保持着固定夹具IO而上升至规定高度，该状态如图15B所示。还有， 将装载于卸载器34的环形带39上的基板材料200输送到未图示的设备外 的输送带，输送给下一个工序。另一方面，通过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转，使吸附、保 持有固定夹具10的状态的第二吸附单元52再次向载物台110的上方移动。 该状态如图16A所示。然后，利用升降机构59使其安装板53下降，从装 载于载物台110上的基板材料200的上方装载固定夹具10。然后，第一吸 附装置56A的吸盘86停止空气的吸引，解除对固定夹具IO的吸附。该状 态如图16B所示。此时，通过从形成于载物台IIO上的孔部IIOA及槽部(小孔)110B 吸引空气，将基板材料200及固定夹具10吸附、保持于载物台110上。 由此，利用固定夹具10的按压部14来密闭基板材料200的周缘部(参照 图6、图7)。若这样将固定夹具10设置于载物台110上，则通过使载物台110在输送方向移动，执行与上述相同的对准处理及曝光处理，以后， 通过重复与上述相同的作业，依次处理基板材料200。下面，基于图17A 图20B说明利用第一吸附单元50吸附、保持固 定夹具10的情况。首先，通过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转， 使第一移动体40向载物台IIO侧(卸载器34侧)移动，使第一吸附单元 50向载物台IIO的上方移动。然后，利用升降机构58使第一吸附单元50的安装板51下降，设置 于该安装板51的缘端部侧的第一吸附装置54A的吸盘84通过从前端开口 吸引空气来吸附固定夹具10，并再次上升至规定高度。该状态如图17A 所示。然后，使第一移动体向装载器32侧移动，将固定夹具10配置于装载 器32的上方，但此时，己经在装载器32的环形带38上送入了最初的基 板材料200，利用未图示的定位装置进行了定位。因此，利用升降机构58 使第一吸附单元50的安装板51下降，通过从前端开口吸引空气使设置于 该安装板51上的中心部侧的第二吸附装置54B的吸盘84吸附基板材料 200。该状态如图17B所示。此时，由于利用第二螺旋弹簧98使第一吸附装置54A的吸盘在高度 方向上移动，因而可利用第二吸附装置54B来可靠地吸附从开口部12露 出的基板材料200。若这样利用第一吸附单元50吸附、保持固定夹具10 及基板材料200，则利用升降机构58使安装板51上升至固定的高度。然后，通过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转，使第一移动体40 沿着导轨46向载物台IIO侧(卸载器34侧)移动。此时，由于利用连结 装置60将第二移动体42与第一移动体40连结，因而第二移动体42也与 第一移动体40形成一体而向卸载器34侧移动。该状态如图18A所示。当第一吸附单元50在载物台IIO的上方停止移动(若使滚珠丝杠48 的旋转停止)时，利用升降机构58使其安装板51下降，将基板材料200 装载于载物台110上，并且，装载固定夹具10。该状态如图18B所示。 然后，第二吸附装置54B及第一吸附装置54A的吸盘84停止空气的吸引， 解除对基板材料200及固定夹具10的吸附。另外，此时通过从形成于载物台IIO上的孔部IIOA及槽部(小孔)110B吸引空气，将基板材料200及固定夹具IO吸附、保持于载物台110 上。而且，由此利用固定夹具10的按压部14来密闭基板材料200的周缘 部(参照图6、图7)。另外，利用升降机构58使释放了基板材料200及 固定夹具10的安装板51上升至规定的高度。若利用固定夹具10来密闭装载于载物台110上的基板材料200的周 缘部，则使该载物台110向输送方向移动，执行基于CCD摄像机118的 对准处理及基于曝光头120的曝光处理。g卩，如上所述，利用CCD摄像 机118检测基板材料200的对准标记，利用曝光头120使基于图像信息的 图像曝光，在基板材料200的描绘区域形成印刷配线基板的配线图案等潜 像(图像)。当对基板材料200进行的曝光处理结束时，使载物台110向装载基板 材料200的初始位置(装载、卸载位置)复原移动。于是，利用升降机构 51使第一吸附单元50的安装板51下降，利用其缘端部侧的第一吸附装置 54A只吸附载物台10上的固定夹具10，并使安装板51再次上升至规定的 高度。另外，也可以是下述的构成，§卩，随着升降机构58的上升，从载物 台110的孔部IIOA及槽部(小孔)110B向上方排出空气，易于从载物台 IIO上取下固定夹具10。另外，此时，已经在装载器32的环形带38上装 载有下一个新的未曝光的基板材料200。该状态如图19A所示。若这样使第一吸附单元50只是吸附、保持固定夹具IO，则通过驱动 电动机47使滚珠丝杠48旋转，使第一移动体40向装载器32侧移动。然 后，利用升降机构58使第一吸附单元50的安装板51下降，设置于其上 的中心部侧的第二吸附装置54B的吸盘84通过从前端开口吸引空气，吸 附装载器32上的新的未曝光的基板材料200。此时，由于利用第二螺旋弹簧98使第一吸附装置54A的吸盘84在高 度方向上移动，因而也可利用第二吸附装置54B可靠地吸附从开口部12 露出的基板材料200。另外，与此同时，利用升降机构59使第二吸附单元52的安装板53 下降，设置于其上的中心部侧的第二吸附装置56B的吸盘86通过从前端 开口吸附空气来吸附载物台110上的曝光完成的基板材料200。该状态如图19B所示。然后，分别利用升降机构58、 59，使第一吸附单元50的安 装板51及第二吸附单元52的安装板53上升至规定的高度。若第二吸附单元52吸附、保持曝光完成的基板材料200，且已经吸附、 保持了固定夹具10的第一吸附单元50吸附、保持新的未曝光的基板材料 200，则通过利用驱动电动机47使滚珠丝杠48旋转，使第一移动体40向 载物台110侧(卸载器34侧)移动。此时，由于利用连结装置60将第二 移动体42与第一移动体40连结，因而，第二移动体42也与第一移动体 40形成一体而向卸载器34侧移动。该状态如图20A所示。当第一移动体40在载物台IIO的上方停止移动(若使滚珠丝杠48的 旋转停止)时，利用升降机构58使第一吸附单元50的安装板51下降， 将基板材料200装载于载物台IIO上，并且，将固定夹具IO装载于载物 台110上。然后，第二吸附装置54B及第一吸附装置54A的吸盘84停止 空气的吸引，解除对基板材料200的吸附。另一方面，当第二吸附单元52移动到卸载器34的上方时，利用升降 机构59使安装板53下降，将基板材料200装载于环形带39上。然后， 中心部侧的第二吸附装置56B的吸盘86停止空气的吸引，解除对基板材 料200的吸附，然后，使安装板53上升至规定的高度。该状态如图20B 所示。然后，将装载于卸载器34的环形带39上的基板材料200向未图示 的设备外的输送带输送，输送到下一个工序。另一方面，使设置有基板材料200及固定夹具10的载物台110向输 送方向移动，执行与上述相同的对准处理及曝光处理。以后，通过重复这 样的动作，依次处理基板材料200。另外，不论是在用第一吸附单元50吸附、输送固定夹具10的情况下， 还是在利用第二吸附单元52吸附、输送固定夹具IO的情况下，都是只要 在结束了所有的基板材料200的处理之后，与上述同样地解除第一移动体 40和第二移动体42的连结，通过人手从载物台110上取下固定夹具10即 可。〔固定夹具的变形例) 下面，说明固定夹具10的变形例。如图21所示，在该固定夹具10 的各缘端部形成有切口部22(检测部)，该切口部22使载物台110上穿设于最外侧的孔部110A露出大致一列的量。根据这样的构成，在固定夹具 10的位置偏离允许范围以上的情况下，由于来自最外侧的孔部110A及槽部(小孔)110B的空气吸引力(负压力)变化，而产生对基板材料200 的吸附不良，由此可很容易地识别(检测)固定夹具10的位置偏移。进而，在固定夹具10中，在各吸附单元50、 52的缘端部(角部)侧 的第一吸附装置54A、 56A所吸附的部位，也可以形成比吸盘84、 86大 若干的圆形槽部24 (检测部)。通过形成这样的槽部24，在吸盘84、 86 相对于固定夹具10的吸附位置发生了偏移的情况下，吸盘84、 86的吸附 力(空气的吸引力)在该槽部24的作用下变得不充分，从而产生对基板 材料200的吸附不良，因而由此可易于识别吸盘84、 86相对于固定夹具 IO的位置偏移。因此，可防止因在固定夹具IO偏移的状态下进行输送而 引起的故障。此外，在控制器130上具备作为切换到使用固定夹具10时和不使用 固定夹具10时的切换装置的模式切换开关132。因此，该激光曝光装置 100可柔性地对应于厚度不等的基板材料200。即，在不使用固定夹具IO 的基板材料200的情况下，该激光曝光装置100可不改变其处理生产节拍 (用最短的生产节拍时间)，执行曝光处理。再者，该激光曝光装置100中，由于能使自动吸附未曝光的基板材料 200并从装载器32向载物台110上输送的第一吸附单元50、和自动吸附 曝光完成的基板材料200并从载物台110上向卸载器34输送的第二吸附 单元52 —体地移动，因而可同时进行两者的作业。因此，可使相对于载 物台110的基板200及固定夹具IO的送入、送出的生产节拍时间最短。另外，由于可根据需要解除均衡支承第一吸附单元50的第一移动体 40和均衡支承第二吸附单元52的第二移动体42的连结，使两者分别移动， 因而向载物台110上利用人手送入、送出固定夹具10时，可使第一吸附 单元50及第二吸附单元52向不成为妨碍的位置移动。因此，可易于进行 该固定夹具10的送入、送出作业。另外，连结装置60的构成并非仅局限 于图示，而是可采用任意的构成。另外，由于第一移动体40支承将基板材料200装载于载物台110上 的第一吸附单元50，第二移动体42支承将基板材料200从载物台110上取下的第二吸附单元52，因此，由滚珠丝杠48及驱动电动机47等构成的 驱动装置只对第一移动体40作用。艮P，在将基板材料200从装载器32向载物台110上装载的作业时， 虽然需要位置精度，但在将基板材料200从载物台110向卸载器34上装 载的作业时，有时不需要那么高的位置精度。换言之，第二移动体42即 使在连结构件64 (转动部66)和被连结构件62之间有些许晃动，只要能 够从载物台110移动到卸载器34即可。因此，只是在第一移动体40上设置有滚珠丝杠48所螺合的引导构件 41，由此可高精度地移动第一吸附单元50。 g|3，可将基板材料200在一定 的误差范围内以其面中心与载物台IIO的面中心一致的形式装载。另外， 通过这样的构成，还具有使滚珠丝杠48的配置距离变短的优点。总之，如上所述，根据本发明，在利用空气的吸引力吸附于载物台110 上时，即使是周缘部浮起之类的厚度薄的(例如小于lmm的)基板材料 200，也可利用固定夹具IO来可靠地按压(固定)其周缘部。因此，能够 良好地执行基于CCD摄像机118的对准处理，还能够良好地执行基于曝 光头120的曝光处理。g卩，对于这样的基板材料200，可准确地形成图像。另外，根据本发明，可通过第一吸附单元50或者第二吸附单元52将 其固定夹具10高效地装载(供给)于载物台110上，并且能够从载物台 IIO上除去。另外，本发明的基板输送装置30及激光曝光装置100，并非 仅局限于上述实施例，可以在不脱离本发明中心意思的范围内进行适当的 设计变更。产业上的可利用性本发明可应用于利用固定夹具将工件固定于载物台上并进行图像形 成的激光曝光装置等图像形成装置，利用本发明可高效地迸行工件及固定 夹具向图像形成装置的输送、供给。
权利要求
1.一种工件输送装置，其具备第一吸附单元，其具备吸附装载于输入部上的工件的多个吸附装置，且将工件输送到载物台；第二吸附单元，其具备吸附所述载物台上的工件的多个吸附装置，且将工件输送到输出部；固定夹具，其设置于所述载物台上，密闭所述工件的周缘部，并且，形成有使该工件的除周缘部外的区域露出的开口部，所述第一吸附单元及所述第二吸附单元具备第一吸附装置，其为了吸附所述固定夹具而配置于其缘端部侧；第二吸附装置，其为了吸附从所述开口部露出的所述工件而配置于其中心部侧。
2. 如权利要求1所述的工件输送装置，其中，在所述固定夹具上形 成有检测部，该检测部用于在由所述第一吸附装置迸行吸附时，检测吸附 位置偏移的情况。
3. 如权利要求2所述的工件输送装置，其中，所述检测部包含形成 于固定夹具上的切口部，在固定夹具装载于载物台上时，切口部使形成于 载物台上的最外侧的吸附孔露出。
4. 如权利要求2所述的工件输送装置，其中，所述检测部包含形成 于固定夹具上的圆形槽部，槽部形成于与所述第一吸附装置的吸附部位对 应的部分上。
5. 如权利要求1所述的工件输送装置，其中，所述固定夹具具有由 刚性部件层、弹性部件层、剥离部件层构成的层叠构造。
6. 如权利要求1所述的工件输送装置，其中，至少所述第一吸附装 置具备缓冲机构。
7. —种图像形成装置，其具备工件输送装置、移动机构、测定部、 曝光部，所述工件输送装置具备第一吸附单元，其具备吸附装载于输入部上 的工件的多个吸附装置，且将工件输送到载物台；第二吸附单元，其具备吸附所述载物台上的工件的多个吸附装置，且将工件输送到输出部；固定夹具，其设置于所述载物台上，密闭所述工件的周缘部，并且，形成有使 该工件的除周缘部外的区域露出的开口部，所述第一吸附单元及所述第二吸附单元具备第一吸附装置，其为了吸附所述固定夹具而配置于其缘端 部侧；第二吸附装置，其为了吸附从所述开口部露出的所述工件而配置于其中心部侧，所述移动机构使所述载物台沿着规定的输送路径移动，所述测定部检测由所述移动机构移动的载物台上的工件的对准标记，所述曝光部利用基于根据所述测定部的检测结果进行了对准处理的图像信息而调制后的光束，使所述载物台上的工件的除所述周缘部外的区域曝光，并在该区域上形成图像。
8. 如权利要求7所述的图像形成装置，其中，具有切换部，该切换 部向吸附所述固定夹具的模式和不吸附所述固定夹具的模式进行切换。
9. 一种工件输送方法，其包括-用具备多个吸附装置的第一吸附单元来吸附装载于输入部上的工件 并输送到载物台的工序；用具备多个吸附装置的第二吸附单元来吸附所述载物台上的工件并 输送到输出部的工序；将形成有使所述工件的除周缘部外的区域露出的开口部的固定夹具 设置于所述载物台上，并密闭所述工件的周缘部的工序，射，通过用配置于所述第一吸附单元或者所述第二吸附单元的缘端部侧 的第一吸附装置来吸附所述固定夹具，用配置于所述第一吸附单元或者所 述第二吸附单元的中心部侧的第二吸附装置来吸附从所述开口部露出的 所述工件，将该工件及所述固定夹具装载到所述载物台上或者从所述载物 台上除去。
10. 如权利要求9所述的工件输送方法，其中，利用所述第二吸附单 元的第一吸附装置来吸附载物台上的固定夹具，并且，利用所述第一吸附 单元的第二吸附装置来吸附输入部上的工件，然后，使第一吸附单元及第 二吸附单元移动到输出部侧，使所述第一吸附单元的第二吸附装置解除吸附，由此，将所述工件装载于载物台上，接着，使第一吸附单元及第二吸 附单元移动到输入部侧，使所述第二吸附单元的第一吸附装置解除吸附， 由此，将所述固定夹具装载于载物台上，利用该固定夹具密闭所述工件的 周缘部。
11. 如权利要求9所述的工件输送方法，其中，利用所述第一吸附单 元的第一吸附装置吸附载物台上的固定夹具后，使第一吸附单元及第二吸 附单元移动到输入部侧，利用所述第一吸附单元的第二吸附装置吸附输入 部上的工件，然后，使第一吸附单元及第二吸附单元移动到输出部侧，使 所述第一吸附单元的第二吸附装置解除吸附，由此，将所述工件装载于载 物台上，并且，使所述第一吸附单元的第一吸附装置解除吸附，由此将所 述固定夹具装载于载物台上，并利用该固定夹具密闭所述工件的周缘部。
12. 如权利要求9所述的工件输送方法，其中，所述固定夹具由工件 的定位构件定位装载于所述载物台上，然后，由所述第一吸附单元或者所 述第二吸附单元的第一吸附装置吸附。
全文摘要
工件输送装置(30)具备用多个吸附装置(54)吸附装载于输入部(32)的工件(200)并输送到载物台(110)的第一吸附单元(50)；用多个吸附装置(56)吸附载物台(110)上的工件(200)并输送到输出部(34)的第二吸附单元(52)；设置于载物台(110)上并密闭工件(200)的周缘部，并且，形成有使工件(200)的除周缘部外的区域露出的开口部(12)的固定夹具(10)。通过使配置于第一吸附单元(50)的缘端部侧的第一吸附装置(54A)或者配置于第二吸附单元(52)的缘端部侧的第一吸附装置(56A)吸附固定夹具(10)，使配置于第一吸附单元(50)或者第二吸附单元(52)的中心部侧的第二吸附装置(54B、56B)吸附从开口部(12)露出的工件(200)，将工件(200)及固定夹具(10)装载于载物台(110)或者从载物台(110)上除去。
文档编号B65G47/91GK101243361SQ20068002977
公开日2008年8月13日 申请日期2006年8月3日 优先权日2005年8月16日
发明者增尾勉, 桥口昭浩 申请人:富士胶片株式会社