一种磁力传递装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种磁力传递装置，包括传递真空管，以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件，纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯，滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接，纯铁芯的两端均设置有固定轴，纯铁芯两端的固定轴上均套有滚轮支架，滚轮支架与固定轴之间设置有滚珠轴承，滚珠轴承的外环与滚轮支架固定连接，滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。滚珠轴承的设置，可保证传递杆和纯铁芯能够绕传递真空管的中心轴线做径向旋转运动。滚轮的设置，使得纯铁芯滑动组件可以沿传递真空管的中心轴线自由地做轴向移动，实现样品在不同腔室中的传递以及精准定位。
【专利说明】一种磁力传递装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于多腔室真空系统之间传递样品用的磁力传递装置。
【背景技术】
[0002]在多腔室真空系统中由于不同的工作需要样品要在不同真空腔室中进行传递或移动到不同的位置，因此需要使用一种称之为磁力传递机构的装置。最早的磁力普通的磁力传递装置由于内部结构不合理，前后移动和旋转过程中真空管中的纯铁芯和真空管内壁中完全是机械摩擦运动，对真空系统造成一定的污染，其使用寿命有限。专利ZL90226957.7所述的磁力传递装置在纯铁芯的两端进行了一些改进，其主要是在轴向运动时采用滚轮方式，但在做径向旋转运动时仍然完全是滚轮侧面与真空管内壁进行机械摩擦运动。由于真空管内部不易加工导致内表面精度不高和烘烤后变形等原因，在传递和旋转过程中存在机械摩擦引起卡顿现象，严重影响传递过程中对传递样品的对准精度。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是:提出一种在传递杆方向和径向旋转方向均能够灵活运动几乎没有摩擦的磁力传递装置。
[0004]本发明是这样实现的:
[0005]一种磁力传递装置，包括传递真空管，以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件，所述纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯，滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接，所述纯铁芯的两端均设置有固定轴，所述滚轮支架上沿传递真空管的轴向方向设置有轴孔，固定轴伸入至滚轮支架的轴孔内，其特殊之处在于:所述滚轮支架的轴孔与固定轴之间设置有滚珠轴承，滚珠轴承的外环与滚轮支架的轴孔固定连接，滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。
[0006]上述纯铁芯沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽。
[0007]上述滚珠轴承为封闭式的滚珠轴承。
[0008]上述凹槽的数量为6个。
[0009]上述滚轮支架为四滚轮支架。
[0010]上述滚珠轴承的外环与滚轮支架之间的固定连接方式采用销钉和销钉孔相配合的方式。
[0011]本发明的优点是:
[0012](I)本发明的磁力传递装置在传递杆进行轴向运动时采用滚轮的方式，在作旋转运动时也采用轴承方式，几乎没有机械摩擦，因此，该磁力传递装置在传递样品进行对位时操作更加灵活，对位精度大大提高，同时延长了磁力传递装置的使用寿命。
[0013](2)纯铁芯沿轴线方向设置有凹槽，使得纯铁芯受到的扭力更大。
【专利附图】
【附图说明】[0014]图1为本发明的磁力传递装置整体结构示意图；
[0015]图2为纯铁芯滑动组件的结构示意图；
[0016]图3为纯铁芯的结构示意图；
[0017]图4为四滚轮支架的结构示意图。
[0018]其中:1_传递真空管；2_封闭式的滚珠轴承；3_磁力手柄；4_纯铁芯滑动组件；41-滚轮；42_滚轮轴；43_四滚轮支架；44_纯铁芯；5_传递杆；6_真空法兰；7_吊钩定位柱；8_样品吊钩；9_吊钩定位螺钉；10_铜支撑块；11_真空管道封头；12_固定轴；13_凹槽。
【具体实施方式】
[0019]如图1，磁力传递装置，包括传递真空管1、纯铁芯滑动组件4、磁力手柄3、封闭式的滚珠轴承2、磁力手柄3、传递杆5、真空法兰6、吊钩定位柱7、样品吊钩8、吊钩定位螺钉
9、铜支撑块10以及真空管道封头11。
[0020]传递真空管I 一端设置有真空法兰6，传递真空管I另一端设置有真空管道封头11。
[0021 ] 如图2，纯铁芯滑动组件4设置在传递真空管I内，纯铁芯滑动组件4包括滚轮41、滚轮轴42、滚轮支架以及纯铁芯44。纯铁芯44的两端均固定有固定轴12，滚轮支架上沿传递真空管的轴向方向设置有轴孔，固定轴伸入至滚轮支架的轴孔内，滚轮支架的轴孔与固定轴12之间设置有滚珠轴承2，滚珠轴承2的外环与滚轮支架的轴孔固定连接，滚珠轴承2的内环与固定轴12紧配合。滚珠轴承2的设置，可保证传递杆5和纯铁芯能够自由地做旋转运动，即绕传递真空管I的中心轴线做径向旋转运动。滚珠轴承2优选封闭式的滚珠轴承2，更适用于要求真空环境的领域。
[0022]滚轮通过滚轮轴42与滚轮支架连接。滚轮的设置，使得纯铁芯滑动组件4可以沿传递真空管I的中心轴线自由地做轴向移动。滚轮支架优选四滚轮支架43，如图4，上面可以设置四个滚轮，使得纯铁芯滑动组件4在传递真空管I沿传递真空管I的中心轴线自由地轴向移动更顺畅。
[0023]在传递真空管I中安装有传递杆5，传递杆5的靠近真空管道封头11的一端固定纯铁芯44，传递杆5另一端伸出真空法兰6并固定有样品吊钩8。样品吊钩8通过吊钩定位柱7和吊钩定位螺钉9固定在传递杆5上。同时，为了防止传递杆5水平放置时发生变形，在真空法兰6上安装有与传递杆5半径匹配的半圆形铜支撑块10。
[0024]如图3，纯铁芯44沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽13，所述凹槽13的数量为优选6个，均匀分布。沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽13，使得纯铁芯受到的扭力更大。
[0025]在传递真空管I外面套有磁力手柄3，磁力手柄3可以根据需要自由装上或取下。
[0026]由于磁力手柄3和纯铁芯之间的磁耦合，磁力手柄3在传递真空管I外面做轴向移动或径向旋转，牵动传递真空管I内带有纯铁芯的传递杆5上的样品随着磁力手柄3的运动做同步轴向移动或径向旋转，实现样品在不同腔室中的传递以及精准定位。例如热铟封转移阴极系统中探测器管壳和阴极窗、条纹变相管管壳和阴极窗的精准对位封接等。
【权利要求】
1.一种磁力传递装置，包括传递真空管，以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件，所述纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯，滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接，所述纯铁芯的两端均设置有固定轴，所述滚轮支架上沿传递真空管的轴向方向设置有轴孔，固定轴伸入至滚轮支架的轴孔内，其特征在于:所述滚轮支架的轴孔与固定轴之间设置有滚珠轴承，滚珠轴承的外环与滚轮支架的轴孔固定连接，滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。
2.根据权利要求1所述的磁力传递装置，其特征在于:所述纯铁芯沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽。
3.根据权利要求1或2所述的磁力传递装置，其特征在于:所述滚珠轴承为封闭式的滚珠轴承。
4.根据权利要求3所述的磁力传递装置，其特征在于:所述凹槽的数量为6个。
5.根据权利要求4所述的磁力传递装置，其特征在于:所述滚轮支架为四滚轮支架。
6.根据权利要求5所述的磁力传递装置，其特征在于:所述滚珠轴承的外环与滚轮支架之间的固定连接方式采用销钉和销钉孔相配合的方式。
【文档编号】B65G54/02GK103693447SQ201310745795
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日
【发明者】赛小锋, 韦永林, 曹希斌, 田进寿, 盛立志, 刘永安 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所