输送车系统的制作方法

本发明涉及输送车系统。

背景技术：

已知有使输送车沿着设置于天花板的轨道行驶来输送物品的输送车系统。例如，在半导体工厂等中用于输送物品的输送车系统中，配置有：轨道(区域内路径)，其分别在配置有进行相同或者近似的处理的处理装置的多个区域(区域内)进行环绕；以及第二轨道(区域间路径)，其将上述多个区域间连接。输送车在将物品从一个区域向另一个区域输送时，从一个区域的区域内路径经由区域间路径，驶入作为目的的另一个区域的区域内路径。

近年来，随着半导体工厂的大规模化，在区域内路径以及区域间路径这双方，存在输送量的增加即输送车台数增加的趋势。在上述那样结构的输送车系统中，各区域内的处理装置的处理能力(吞吐量)存在差别等，由此，若增加输送车台数，则吞吐量较高的区域内的输送车的密度增大，而存在从区域间路径向区域内路径的入口、在区域内路径内的输送车的拥堵慢性化的担忧。

作为实现了在区域内的输送能力提高的输送车系统，例如专利文献1的输送车系统中，独立于在区域内路径以及区域间路径这双方行驶的第一输送车的行驶轨道，而在吞吐量较高的处理装置的附近局部地配置第二输送车的行驶轨道，在第一输送车与第二输送车之间经由缓冲区交接物品，第二输送车在缓冲区与设备之间交接物品。这样，上述输送车系统通过对吞吐量较高的处理装置局部地配置第二输送车，由此，能够局部地提高输送能力。

专利文献1：日本特开2006-224944号公报

然而，在上述现有的系统中，在从第一输送车将物品交接给第二输送车时，第一输送车必须从区域间路径进入区域内路径内。因此，若输送量增加，则存在区域内的输送车的密度增大导致拥堵产生的担忧，不能充分有助于区域内整体的输送能力的提高。

技术实现要素：

因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够实现输送能力的提高以及输送车的拥堵缓解的输送车系统。

本发明的一个方面所涉及的输送车系统具备：第一轨道，其构成在多个区域内分别进行环绕的环绕轨道；第一输送车，其在第一轨道沿一个方向行驶；第二轨道，其将多个区域间连接；第二输送车，其在第二轨道沿一个方向行驶；第一授受部，其供被输送物从第二输送车交接并且通过第一输送车获取该被输送物；以及第二授受部，其供被输送物从第一输送车交接并且通过第二输送车获取该被输送物，区域分别具有第一区域与第二区域，第一轨道遍及第一区域与第二区域而配置，在第一区域内配置有第一授受部以及第二授受部，在第二区域内配置有能够在与第一输送车之间授受被输送物的第三授受部，第一区域内的第一轨道配置为：在第一输送车的行驶方向上，按照第二授受部、第一授受部的顺序通过，第一区域内的第二轨道配置为：在第二输送车的行驶方向上，按照第一授受部、第二授受部的顺序通过。

根据该结构的输送车系统，能够分别将第一输送车用作区域内输送用的输送车、将第二输送车用作区域间输送用的输送车，由此，不会出现第一输送车在区域间行驶的情况、以及第二输送车在区域内行驶的情况。即，能够通过第一输送车与第二输送车各自分担作用，从而能够不增减在区域内行驶的第一输送车的台数而使之始终恒定。由此，能够使输送车高效地行驶，从而能够缓解拥堵。而且，第一输送车在第一轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部从第二输送车获取被输送物，并在第三授受部交接该被输送物，另外，在第三授受部获取被输送物，并在第二授受部将该被输送物交接给第二输送车。另外，相同地，第二输送车在第二轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部将被输送物交接给第一输送车，另外，在第二授受部从第一输送车获取该被输送物。这样，第一输送车以及第二输送车在一系列的行驶中，反复进行获取被输送物、交接被输送物这类动作，由此，能够通过第一输送车以及第二输送车高效地进行输送。其结果是，能够实现输送能力的提高、以及输送车的拥堵缓解。

在一实施方式中，第三授受部也可以在沿着第一轨道的方向上配置于第一授受部与第二授受部之间。

在该结构的输送车系统中，第一输送车在第一轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部从第二输送车获取被输送物，并在第三授受部交接该被输送物，另外，在第三授受部获取被输送物，并在第二授受部将该被输送物交接给第二输送车。这样，第一输送车在一系列的行驶中，能够反复进行获取被输送物、交接被输送物这类动作，从而能够通过第一输送车高效地进行输送。

在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以在分别行驶于相互平行配置的第一轨道以及第二轨道的第一输送车以及第二输送车之间，授受被输送物。此外，这里所说的“平行”中也包括大致平行。

根据该结构的输送车系统，能够容易地配置可从第一输送车以及第二输送车授受被输送物的第一授受部以及/或者第二授受部。

在一实施方式中，第一输送车以及第二输送车也可以在相互平行配置的第一轨道以及第二轨道沿相同的方向行驶。此外，这里所说的“平行”中也包括大致平行。

在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以配置于第一轨道以及第二轨道中的一方的下方的第一轨道以及第二轨道中的另一方的侧方。

根据该结构的输送车系统，能够节约输送车系统的设备面积的空间。另外，在第一授受部以及/或者第二授受部授受被输送物的第一输送车以及/或者第二输送车能够通过仅进行升降台的升降以及升降台的横向输送的一方的简易控制来授受被输送物。由此，能够缩短被输送物的授受所需要的时间。另外，能够对第一输送车或者第二输送车采用没有横向输送机构的输送车。

在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以配置于第二轨道的下方的第一轨道的侧方。

在一实施方式中，也可以为如下：在第一授受部配置有多个第一载置部，第二输送车从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部优先交接被输送物，第一输送车从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部优先获取被输送物。

根据该结构的输送车系统，第二输送车能够在较早的阶段将被输送物交接给第一授受部，第一输送车能够在较早的阶段从第一授受部获取被输送物。由此，第二输送车的交接被输送物的机会增加，第一输送车的获取被输送物的机会增加，从而能够从第二输送车向第一输送车高效地进行被输送物的授受。

在一实施方式中，也可以为如下：在第二授受部配置有多个第二载置部，第一输送车从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部优先交接被输送物，第二输送车从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部优先获取被输送物。

根据该结构的输送车系统，第一输送车能够在较早的阶段将被输送物交接给第二授受部，第二输送车能够在较早的阶段从第二授受部获取被输送物。由此，第一输送车的交接被输送物的机会增加，第二输送车的获取被输送物的机会增加，从而能够从第一输送车向第二输送车高效地进行被输送物的授受。

在一实施方式中，也可以在第二区域配置有沿着第一轨道进行相同或者近似的处理的处理装置，经由第三授受部在第一输送车与处理装置之间进行被输送物的授受。

根据该结构的输送车系统，能够提供可与区域方式对应的输送车系统。

根据本发明的一个方面，能够实现输送能力的提高以及输送车的拥堵缓解。

附图说明

图1是表示一实施方式所涉及的输送车系统的结构的结构图。

图2是放大表示图1的输送车系统的一部分结构的俯视图。

图3是从图1的iii-iii线观察的主视图。

图4的(a)是表示第二输送车在第一授受部授受被输送物的授受方法的主视图，图4的(b)是表示第一输送车在第一授受部授受被输送物的授受方法的主视图。

图5的(a)是表示第二输送车在第二授受部授受被输送物的授受方法的主视图，图5的(b)是表示第一输送车在第二授受部授受被输送物的授受方法的主视图。

图6是表示图1的第一输送车以及第二输送车的结构的一个例子的侧视图。

图7是从图1的iii-iii线观察变形例2所涉及的输送车系统的主视图。

图8是从图1的iii-iii线观察变形例3所涉及的输送车系统的主视图。

具体实施方式

以下，参照附图对一实施方式进行说明。在附图的说明中，对相同要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。

如图1所示，输送车系统1是用于在配置有进行相同或者近似的处理的多个处理装置11的区域10间，使用能够沿着轨道移动的第一输送车40a以及第二输送车40b来输送被输送物f(例如，参照图3)的系统。被输送物f的例子是foup(frontopeningunifiedpod：前端开口片盒)。这里，例如，列举在半导体工厂等中，第一输送车40a以及第二输送车40b沿着铺设于工厂的天花板等的单向通行的轨道行驶的输送车系统1为例进行说明。

如图1所示，输送车系统1主要具备：下层轨道(第一轨道)20；在下层轨道20沿一个方向行驶的第一输送车40a；第三授受部11a；设置于比下层轨道20靠上方的上层轨道(第二轨道)30；在上层轨道30沿一个方向行驶的第二输送车40b；第一授受部13；第二授受部15；以及系统控制器80。区域10具有：配置有第一授受部13以及第二授受部15的第一区域10a；以及配置有处理装置11以及第三授受部11a的第二区域10b。

下层轨道20具有下层区域内路径20a、下层区域间路径20b、以及联络路径20c。下层区域内路径20a是配置于区域10内且沿一个方向环绕的轨道。配置于区域10内的多个处理装置11沿着下层区域内路径20a配置。下层区域间路径20b是将配置于相互不同的区域10内的下层区域内路径20a彼此连接的轨道。联络路径20c是将下层区域内路径20a与下层区域间路径20b连接的轨道。多台第一输送车40a在下层轨道20行驶。下层区域内路径20a遍及第一区域10a与第二区域10b而配置。在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a的行驶方向上，第二授受部15配置于第一授受部13的上游侧。即，第一区域10a内的下层区域内路径20a配置为：在第一输送车40a的行驶方向上，按照第二授受部15、第一授受部13的顺序通过。

第三授受部11a是在处理装置11与第一输送车40a之间授受被输送物f的端口。第三授受部11a配置于多个处理装置11的各自的前方。

上层轨道30是配置于下层轨道20的上方的轨道，具有上层区域间路径30a、以及驶入部30b。上层区域间路径30a是将区域10间连接的轨道。驶入部30b是从上层区域间路径30a分支驶入至区域10内的第一区域10a的一部分，并再次返回至上层区域间路径30a的轨道。多台第二输送车40b在上层轨道30行驶。在驶入部30b行驶的第二输送车40b的行驶方向上，第一授受部13配置于第二授受部15的上游侧。即，第一区域10a内的驶入部30b配置为：在第二输送车40b的行驶方向上，按照第一授受部13、第二授受部15的顺序通过。

此外，后面进行详述，在区域间输送被输送物f时，原则上通过在上层区域间路径30a行驶的第二输送车40b来进行。下层区域间路径20b原则上在正常输送时不使用，而例如在上层区域间路径30a不能使用时等的紧急情况下使用。这样，在正常输送时，分别将下层轨道20用作区域内输送用的轨道、将上层轨道30用作区域间输送用的轨道，由此，能够缓解区域内路径的拥堵。

此外，上层区域间路径30a配置于下层区域间路径20b的上方，但在图1以及图2中，为了便于说明，将下层区域间路径20b以及上层区域间路径30a左右排列地记载(图1以及图2的右侧)。

第一授受部13是供被输送物f从第二输送车40b交接并且通过第一输送车40a获取被输送物f的端口。第一授受部13被来自未图示的天花板的吊挂部件吊挂。即，如图3所示，第一授受部13设置于远离地面14的位置。第一授受部13在分别行驶于当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20a以及驶入部30b的第一输送车40a以及第二输送车40b之间，授受被输送物f。

如图2所示，第一授受部13沿着一个方向(第二输送车40b的行驶方向)配置有多个(在本实施方式中，为五个)第一载置部13a～13e。在驶入部30b行驶并进入了区域10的第二输送车40b从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先交接被输送物f。另外，第一输送车40a从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先获取被输送物f。

另外，如图3所示，第一授受部13配置于在驶入部30b行驶的第二输送车40b的下方，并配置于在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a的侧方。此外，第一输送车40a以及第二输送车40b在当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20a以及驶入部30b沿相同的方向行驶。

从第二输送车40b向第一输送车40a授受被输送物f的授受方法如下述。即，如图4的(a)所示，在驶入部30b行驶的第二输送车40b在第一授受部13(例如，第一载置部13a)的上方停止。第二输送车40b驱动在后段进行详述的升降驱动部43，而向第一载置部13a载置被输送物f。由此，从第二输送车40b向第一授受部13的被输送物的交接结束。

接下来，如图4的(b)所示，在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a在第一授受部13(例如，第一载置部13a)的侧方停止。第一输送车40a驱动在后段进行详述的横向驱动器41以及升降驱动部43(参照图6)，而从第一载置部13a获取被输送物f。由此，从第一授受部13向第一输送车40a的被输送物f的交接结束。即，从第二输送车40b向第一输送车40a的被输送物f的交接结束。

返回至图1，第二授受部15是供被输送物f从第一输送车40a交接并且通过第二输送车40b获取被输送物f的端口。第二授受部15被来自未图示的天花板的吊挂部件吊挂。即，如图3所示，第二授受部15设置于远离地面14的位置。第二授受部15在分别行驶于当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20a以及驶入部30b的第一输送车40a以及第二输送车40b之间，授受被输送物f。

如图2所示，第二授受部15沿着一个方向配置有多个(在本实施方式中，为五个)第二载置部15a～15e。例如，从第三授受部11a获取被处理装置11处理了的被输送物f的第一输送车40a从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先交接被输送物f。另外，第二输送车40b从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先获取被输送物f。

另外，如图3所示，第二授受部15配置于在驶入部30b行驶的第二输送车40b的下方，并配置于在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a的侧方。此外，第一输送车40a以及第二输送车40b在当俯视的情况相互平行配置的下层区域内路径20a以及驶入部30b沿相同的方向行驶。

从第一输送车40a向第二输送车40b授受被输送物f的授受方法如下述。即，如图5的(a)所示，在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a在第二授受部15(例如，第二载置部15a)的侧方停止。第一输送车40a驱动在后段进行详述的横向驱动器41以及升降驱动部43(参照图6)，而向第二载置部15a交接被输送物f。由此，从第一输送车40a向第二授受部15的被输送物f的交接结束。

接下来，如图5的(b)所示，在驶入部30b行驶的第二输送车40b在第二授受部15(例如，第二载置部15a)的上方停止。第二输送车40b驱动在后段进行详述的升降驱动部43，而从第二载置部15a获取被输送物f。由此，从第二授受部15向第二输送车40b的被输送物f的交接结束。即，从第一输送车40a向第二输送车40b的被输送物f的交接结束。

接下来，对在下层轨道20以及上层轨道30分别行驶的第一输送车40a以及第二输送车40b的结构进行说明。第一输送车40a以及第二输送车40b是在将被输送物f吊挂的状态下把持被输送物f进行输送的oht(overheadhoisttransport：高架提升传输)。如图6所示，第一输送车40a以及第二输送车40b具有横向驱动器41、θ驱动器42、升降驱动部43、以及升降台44。

横向驱动器41是使θ驱动器42、升降驱动部43以及升降台44在水平面内向与行驶导轨(下层轨道20以及上层轨道30)正交的方向移动的部分。θ驱动器42是在水平面内使升降驱动部43以及升降台44转动的部分。

升降驱动部43是通过带45的卷紧以及放出使升降台44升降的部分。此外，升降驱动部43的带45也可以使用线以及绳索等适当的吊持部件。在升降台44的下部设置有用于把持被输送物f的卡盘46。分别设置于第一输送车40a以及第二输送车40b的前后的前框架47a以及后框架47b使未图示的掉落防止片向被输送物f的下侧进退，从而防止被输送物f掉落。

如图1所示，系统控制器80是执行输送车系统1整体的各种控制处理的部分，例如，是由cpu(centralprocessingunit：中央处理器)、rom(readonlymemory：只读存储器)以及ram(randomaccessmemory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。

在本实施方式中，系统控制器80例如以从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先交接被输送物f的方式对第二输送车40b进行控制，或以从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先获取被输送物f的方式对第一输送车40a进行控制。另外，系统控制器80例如以从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先交接被输送物f的方式对第一输送车40a进行控制，或以从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先获取被输送物f的方式对第二输送车40b进行控制。

接下来，针对上述实施方式的输送车系统1的作用效果进行说明。根据上述实施方式的输送车系统1，能够分别将第一输送车40a用作区域内输送专用的输送车、将第二输送车40b用作区域间输送专用的输送车，由此，不会出现第一输送车40a在区域间行驶、以及第二输送车40b在区域内行驶的情况。即，能够通过第一输送车40a与第二输送车40b各自分担作用，从而能够不增减在区域内行驶的第一输送车40a的台数而使之始终恒定。由此，能够使第一输送车40a以及第二输送车40b高效地行驶，而能够缓解拥堵。根据上述实施方式的输送车系统1，第一输送车40a在下层区域内路径20a沿一个方向行驶中，在第一授受部13从第二输送车40b获取被输送物f，并在第三授受部11a交接该被输送物f，另外，在第三授受部11a获取被输送物f，并在第二授受部15将该被输送物f交接给第二输送车40b。另外，相同地，第二输送车40b在驶入部30b沿一个方向行驶中，在第一授受部13将被输送物f交接给第一输送车40a，另外，在第二授受部15从第一输送车40a获取该被输送物f。这样，第一输送车40a以及第二输送车40b在一系列的行驶中，反复进行获取被输送物f交接被输送物f这类动作，由此，能够通过第一输送车40a以及第二输送车40b高效地进行输送。其结果是，能够实现输送能力的提高、以及输送车的拥堵缓解。

在上述实施方式的输送车系统1中，第一授受部13以及第二授受部15在分别行驶于相互平行配置的下层区域内路径20a以及驶入部30b的第一输送车40a以及第二输送车40b之间，授受被输送物f。由此，能够容易地配置可从第一输送车40a以及第二输送车40b授受被输送物f的第一授受部13以及第二授受部15。

在上述实施方式的输送车系统1中，第一授受部13以及第二授受部15配置于在驶入部30b行驶的第二输送车40b的下方，并配置于在下层区域内路径20a行驶的第一输送车40a的侧方，由此，能够节约输送车系统1整体的设备面积的空间。另外，第一输送车40a可通过仅进行升降台的横向输送的简易控制来相对于第一授受部13以及第二授受部15进行被输送物f的授受，另外，第二输送车40b可通过仅进行升降台的升降的简易控制来相对于第一授受部13以及第二授受部15进行被输送物f的授受，由此，能够缩短被输送物f的授受所需要的时间。

在上述实施方式的输送车系统1中，在第一授受部13配置有多个第一载置部13a、13b、13c、13d、13e，第二输送车40b从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先交接被输送物f，第一输送车40a从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13a优先获取被输送物。由此，第二输送车40b能够在较早的阶段将被输送物f交接给第一授受部13，第一输送车40a能够在较早的阶段从第一授受部13获取被输送物f。其结果是，第二输送车40b的交接被输送物f的机会增加，第一输送车40a的获取被输送物f的机会增加，从而能够从第二输送车40b向第一输送车40a高效地进行被输送物f的授受。

在上述实施方式的输送车系统1中，在第二授受部15配置有多个第二载置部15a、15b、15c、15d、15e，第一输送车40a从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先交接被输送物f，第二输送车40b从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15a优先获取被输送物。由此，第一输送车40a能够在较早的阶段将被输送物f交接给第二授受部15，第二输送车40b能够在较早的阶段从第二授受部15获取被输送物f。其结果是，第一输送车40a的交接被输送物f的机会增加，第二输送车40b的获取被输送物f的机会增加，从而能够从第一输送车40a向第二输送车40b高效地进行被输送物f的授受。

以上，针对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，而能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。

＜变形例1＞

在上述实施方式的输送车系统1中，列举以下的例子进行了说明：在下层轨道20行驶的第一输送车40a以及在上层轨道30行驶的第二输送车40b这两方具备横向驱动器41的例子、即具备将被输送物f向与轨道正交的方向进行横向输送的机构的例子。然而，在第一授受部13以及第二授受部15配置于在上层轨道30行驶的第二输送车40b的下方的本实施方式中，第二输送车40b也可以构成为不具备横向驱动器41。此时，能够廉价地构成输送车系统1。

＜变形例2＞

另外，也可以取代上述实施方式或者变形例的结构，而例如，如图7所示，将第一授受部13以及第二授受部15配置在行驶于将多个区域10间连接的第二轨道130的第二输送车40b的侧方，并配置在行驶于在区域10环绕的第一轨道120的第一输送车40a的下方。在这种情况下，若将第三授受部11a配置在行驶于第一轨道120的第一输送车40a的下方，则第一输送车40a也可以构成为不具备横向驱动器41。此时，能够廉价地构成输送车系统1。

＜变形例3＞

另外，也可以取代上述实施方式或者变形例的结构，而例如，如图8所示，将第一授受部13以及第二授受部15分别配置在行驶于将多个区域10间连接的第二轨道230的第二输送车40b以及行驶于在区域10环绕的第一轨道220的第一输送车40a的侧方。

附图标记说明：

1…输送车系统；10…区域；10a…第一区域；10b…第二区域；11…处理装置；11a…第三授受部；13…第一授受部；13a～13e…第一载置部；15…第二授受部；15a～15e…第二载置部；20…下层轨道(第一轨道)；20a…下层区域内路径；20b…下层区域间路径；20c…联络路径；30…上层轨道(第二轨道)；30a…上层区域间路径；30b…驶入部；40a…第一输送车；40b…第二输送车；80…系统控制器；120、220…第一轨道；130、230…第二轨道；f…被输送物。