电子元器件的处理装置和处理方法与流程

文档序号:11454327阅读:321来源:国知局
电子元器件的处理装置和处理方法与流程

本发明涉及电子元器件的处理装置和处理方法,详细地说,涉及边传送工件边对工件进行处理的电子元器件的处理装置。



背景技术:

作为制造电子元器件的装置,已知有如下的处理装置:平台沿着工件的传送路径往返移动,在平台保持着工件沿一个方向移动的期间内,对工件进行加工等处理(例如,参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2005-101115号公报



技术实现要素:

发明所要解决的技术问题

在上述的处理装置中,平台在加工前位置开始保持工件,保持着工件进行移动,在加工后位置解除保持工件,之后从加工后位置向加工前位置移动,在加工前位置开始保持下一个工件。若缩短平台移动的时间、在加工后位置和在加工前位置停止的时间,则可提高处理效率。然而,只是这样提高处理效率存在极限,不能进一步提高处理效率。

此外,希望缩小处理装置的设置空间。

本发明鉴于上述情况,提供一种能提高处理效率且能缩小设置空间的电子元器件的处理装置和处理方法。

解决技术问题的技术方案

为了解决上述问题,本发明提供如下构成的电子元器件的处理装置。

处理装置包括:(a)第一平台,该第一平台能保持被传送物,并在第一前位置与第一后位置之间进行往返移动;(b)第二平台,该第二平台能保持所述被传送物,并在第二前位置与第二后位置之间进行往返移动,所述第二前位置是在所述第一平台位于所述第一前位置时与所述第一平台的所述第一后位置侧相邻的位置,所述第二后位置是在所述第一平台位于所述第一后位置时与所述第一平台的所述第一前位置的相反侧相邻的位置;(c)控制部,该控制部使所述第一平台从所述第一后位置移动至所述第一前位置,并且使所述第二平台与所述第一平台的移动同步地从所述第二后位置移动至所述第二前位置;(d)传输部,该传输部通过所述控制部,在所述第一平台从所述第一后位置同步移动至所述第一前位置且所述第二平台从所述第二后位置同步移动至所述第二前位置的期间内,使所述第一平台所保持的所述被传送物从所述第一平台相对移动至所述第二平台,从而由所述第二平台进行保持;(e)处理部,该处理部在所述第二平台从所述第二前位置移动至所述第二后位置的期间内,对于所述第二平台所保持的所述被传送物进行处理。

根据上述结构,能够使得在解除了对完成处理的被传送物的保持的第二平台从第二后位置移动至第二前位置的期间内,第二平台从第一平台接收下一个被传送物。由此,第二平台不需要为了接收下一个被传送物而停留在第二后位置,因此能取消或缩短第二平台停留在第二前位置的时间,从而能提高处理效率。

此外,通过构成为第一平台在第一后位置所占据的空间与第二平台在第二前位置所占据的空间重合,能减小处理装置的设置空间。

优选为,处理装置还包括:(f)导入机构,该导入机构设置在所述第一前位置的与所述第一后位置相反一侧的导入区域,将所述被传送物从所述导入区域移至位于所述第一前位置的所述第一平台;以及(g)取出机构,该取出机构设置在所述第二后位置的与所述第二前位置相反一侧的取出区域,将所述被传送物从位于所述第二后位置的所述第二平台移至所述取出区域。

在该情况下,能使被传送物的传送方向在从导入区域到取出区域期间保持不变,能使被传送物的姿态稳定,能缩短从被传送物导入第一平台完成后到第一平台开始移动为止的时间、从第二平台到达第二后位置到开始取出被传送物为止的时间,从而能提高处理效率。

优选为,所述传输部包含(i)第一传送机构,该第一传送机构设置于所述第一平台,具有能沿着传送所述被传送物的传送路径移动至所述第二平台侧的部分;以及(ii)第二传送机构,该第二传送机构设置于所述第二平台,具有能沿着传送所述被传送物的传送路径移动至与所述第一平台侧相反一侧的部分。

在该情况下,第一传送机构和第二传送机构由传送辊、传送链等构成,第一传送机构也能用于向第一平台导入被传送物,第二传送机构也能用于从第二平台取出被传送物。

此外,本发明提供如下构成的电子元器件的处理方法。

一种处理方法,包括:(a)在第一平台位于第一前位置时,所述第一平台开始保持被传送物的导入工序;(b)在所述导入工序后,所述第一平台在保持着所述被传送物的状态下,从所述第一前位置移动至第一后位置的第一传送工序;(c)所述第一平台从所述第一后位置移动至所述第一前位置,且第二平台与所述第一平台的移动同步地从第二后位置移动至第二前位置,所述第二后位置是在所述第一平台位于所述第一后位置时与所述第一平台的所述第一前位置的相反侧相邻的位置,所述第二前位置是在所述第一平台位于所述第一前位置时与所述第一平台的所述第一后位置侧相邻的位置,在所述第一平台从所述第一后位置移动至所述第一前位置且所述第二平台与所述第一平台的移动同步地从所述第二后位置移动至所述第二前位置的期间内,使所述第一平台所保持的所述被传送物相对于所述第一平台和所述第二平台进行相对移动,使所述被传送物从所述第一平台移至所述第二平台,且所述第一平台解除保持所述被传送物,所述第二平台开始保持所述被传送物的传输工序;(d)在所述传输工序之后,所述第二平台在保持着所述被传送物的状态下,从所述第二前位置移动至所述第二后位置的第二传送工序;(e)在所述第二传送工序中,对所述第二平台所保持的所述被传送物进行处理的处理工序;以及(f)在所述第二传送工序和所述处理工序之后,位于所述第二后位置的所述第二平台解除保持所述被传送物的取出工序。在从开始所述第二传送工序到完成所述取出工序为止的期间内,进行所述第二传送工序和所述取出工序的所述被传送物的下一个所述被传送物完成所述导入工序和所述第一传送工序。

根据上述方法,第二平台在从第二后位置移动至第二前位置的期间内,从第一平台接收被传送物。第二平台不需要为了接收被传送物而停留在第二后位置,因此能取消或缩短第二平台停留在第二前位置的时间,从而能提高处理效率。

此外,通过构成为第一平台在第一后位置所占据的空间与第二平台在第二前位置所占据的空间重合,能减小处理装置的设置空间。

优选为,同时地开始所述第二传送工序和所述处理工序。

在该情况下,能缩短从第二平台完成保持被传送物到开始对保持在第二平台上的被传送物进行处理为止的时间,从而能提高处理效率。

优选为,并行地进行所述第二传送工序、以及进行所述第二传送工序的所述被传送物的下一个所述被传送物的所述导入工序。

在该情况下,能缩短将被传送物导入至第一平台的周期,从而能提高处理效率。

发明效果

根据本发明,能够提高处理效率,能减小设置空间。

附图说明

图1是表示处理装置的结构的示意图。(实施例1)

图2是被传送物的俯视图。(实施例1)

图3是表示处理装置的动作的示意图。(实施例1)

图4是表示处理装置的结构的示意图。(实施例2)

图5是表示处理装置的结构和动作的示意图。(实施例3)

图6是表示处理装置的动作的示意图。(比较例1)

具体实施方式

以下,对于本发明的实施方式,参照附图进行说明。

<实施例1>

对于实施例1的处理装置10,参照图1~图3进行说明。

图1是表示处理装置10的结构的示意图。如图1所示,处理装置10包括沿着线性电动机轴11移动的第一平台12和第二平台14、处理部20、导入部16、取出部18、以及控制装置10c。

图3是表示处理装置10的动作的示意图。第一平台12在图3(a)和图3(b)所示的第一前位置、和图3(c)所示的第一后位置之间往返。第二平台14在图3(a)所示的第二前位置、图3(b)和图3(c)所示的第二后位置之间往返。如图3(a)所示,第二平台14的第二前位置是在第一平台12位于第一前位置时与第一平台12的第一后位置侧相邻的位置。如图3(c)所示,第二平台14的第二后位置是在第一平台12位于第一后位置时与第一平台12的第一前位置相反一侧相邻的位置。第一平台12和第二平台14能保持被传送物2。

导入部16配置在第一前位置的与第一后位置相反一侧的导入区域11s。取出部18配置在第二后位置的与第二前位置相反一侧的取出区域11t。

在第一平台12、第二平台14、导入部16和取出部18分别设置由电动机旋转驱动的传送辊12f、14f、16f、18f,以及与传送辊12f、14f、16f、18f相对且自由旋转的相对辊12r、14r、16r、18r。相对辊12r、14r、16r、18r被弹性地向传送辊12f、14f、16f、18f施力传送辊12f、14f、16f、18f在图中逆时针方向旋转时,夹在传送辊12f、14f、16f、18f与相对辊12r、14r、16r、18r之间的被传送物2a、2b在图中从右向左移动。

由于相对辊12r、14r、16r、18r的弹性施力,被传送物2a、2b在传送过程中姿态稳定,传送速度的高速化变得容易。也可以构成为不是相对辊12r、14r、16r、18r而是传送辊12f、14f、16f、18f传送被传送物2a、2b。传送辊12f、14f、16f、18f、相对辊12r、14r、16r、18r在适当位置设置适当个数即可。例如,将传送辊12f、14f、16f、18f、相对辊12r、14r、16r、18r在适当位置设置适当个数,将彼此相邻的传送辊12f、14f、16f、18f间的距离、彼此相邻的相对辊12r、14r、16r、18r间的距离设成比被传送物2a、2b的传送方向的长度更短,并能够交换被传送物12。

设置于第一平台12的传送辊12f是第一传送机构。传送辊12f的外周面中位于图中上侧的部分是能沿着传送被传送物2b的传送路径移动至第二平台14侧的部分。传送辊12f还能用于从导入部16向第一平台12导入被传送物2b。

设置于第二平台14的传送辊14f是第二传送机构。传送辊14f的外周面中位于图中上侧的部分是能沿着传送被传送物2b的传送路径移动至与第一平台12相反一侧的部分。传送辊14f还能用于从第二平台14向取出部18取出被传送物2a。

设置于导入部16的传送辊16f是设置于第一前位置的与第一后位置相反一侧的导入区域11s,将被传送物2b从导入区域11s移至位于第一前位置的第一平台12的导入机构。

设置于取出部18的传送辊18f是设置于第二后位置的与第二前位置相反一侧的取出区域11t,将被传送物2a从位于第二后位置的第二平台14移至取出区域11t的取出机构。

在第二平台14从第二前位置移动至第二后位置的期间内,处理部20对第二平台14所保持的被传送物2b进行处理。例如,处理部20进行涂布、切断、光照射等加工、以及摄影、测量、检查等处理。在处理部20,根据处理部20所进行的处理,使用涂布装置、切断装置、光照射装置、摄影装置、使探针接触被传送物的测量装置等。处理部20设置在处理装置10的适当位置即可。将第一平台12位于第一前位置时第一平台12所占据的区域称为准备区域11a,将第二平台14位于第二后位置时第二平台14所占据的区域称为加工区域11c,将准备区域11a与加工区域11c之间的区域称为接收区域11b时,处理部20例如设置在接收区域11b与加工区域11c之间的边界或者其附近。

控制装置10c控制第一平台12的移动、第二平台14的移动、传送辊12f、14f、16f、18f的旋转、处理部20的处理,使得处理装置10重复后述的一连串动作,控制装置10c是使第一平台12从第一后位置移动至第一前位置,并且使第二平台14与第一平台12的移动同步地从第二后位置移动至第二前位置的控制部。

被传送物2a、2b是保持着要被处理部20进行处理的工件的夹具、或具有要被处理部20进行处理的被处理部分的工件单体等。在一个被传送物保持多个工件的情况下,工件以在传送方向上排列成1列或者2列以上的方式被保持在夹具上,从而使得工件在传送过程中依次进行处理。

图2中示出被传送物的一个示例。图2是被传送物2的俯视图。如图2所示,被传送物2中,多个工件4被保持在带状的夹具3上。工件4在夹具3的长边方向排列,一端通过粘结等固定于夹具3上,另一端向夹具3的短边方向的相同侧突出。夹具3被夹在传送辊12f、14f、16f、18f与相对辊12r、14r、16r、18r之间,被传送物2在用箭头8所示的夹具3的长边方向上传送,在传送过程中,从夹具3突出的工件4的规定部分5被依次进行处理。例如,从分配器涂布涂布材料。

接着,对于处理装置10的动作,参照附图3进行说明。处理装置10被控制装置10c控制,如以下那样进行动作

首先,如图3(a)所示,第一平台12位于第一前位置,第二平台14位于第二前位置。第二平台12在后述的导入工序、第一传送工序、传输工序中均保持着被传送物2a。

接着,成为图3(b)所示的状态。详细地说,在第一平台12停止于第一前位置的状态下,导入部16的传送辊16f与第一平台12的传送辊12f进行旋转,被传送物2b被从导入部16传输至第一平台12,第一平台12对被传送物2b进行保持。与此并行(可以是同时,也可以时间上有先后),第二平台14从第二前位置移动至第二后位置,处理部20对保持在第二平台14上进行移动的被传送物2b进行处理。根据对被传送物2a的处理,第二平台14进行连续进料、或者间接进料。

即、进行(a)在第一平台12位于第一前位置时,第一平台开始保持被传送物2b的导入工序;(b-1)在后述的传输工序之后,第二平台14在保持着被传送物2a的状态下,从第二前位置移动至第二后位置的第二传送工序;(b-2)在第二传送工序中,对于第二平台14所保持的被传送物2a进行处理的处理工序。

虽然可以在开始第二传送工序后延迟开始处理工序,但是若使第二传送工序与处理工序同时开始,则能缩短从第二平台14完成保持被传送物2a到开始对第二平台14所保持的被传送物2a进行处理为止的时间,能提高处理效率。此外,能缩短被传送物2a的传送路径,能减小处理装置10的设置空间。

若第二传送工序与进行第二传送工序的被传送物2a的下一个被传送物2b的导入工序并行地进行,则能缩短将被传送物2b导入至第一平台的周期,能提高处理效率。

接着,成为图3(c)所示的状态。即,保持着被传送物2b的第一平台12从第一前位置移动至第一后位置。与此并行地(可以是同时,也可以在时间上有先后),第二平台14的传送辊14f与取出部18的传送辊18f进行旋转,被传送物2a被从第二平台14传输至取出部18。

即,进行(a)在导入工序之后,第一平台12在保持着被传送物2b的状态下,从第一前位置移动至第一后位置的第一传送工序;以及(b)在第二传送工序和处理工序之后,位于第二后位置的第二平台14解除保持被传送物2a的取出工序。

接着,成为图3(a)所示的状态。即,第一平台12从第一后位置移动至第一前位置,第二平台14同步地从第二后位置移动至第二前位置。在第一平台12与第二平台14移动的期间内,第一平台12的传送辊12f与第二平台14的传送辊14f进行旋转,第一平台12所保持的被传送物2b从第一平台12移至第二平台14。此时,优选为使第一平台12的移动速度、第二平台14的移动速度、第一平台12的传送辊12f的旋转速度、第二平台14的传送辊14f的旋转速度适当地同步,使被传送物2b的传送方向的位置保持不变,但是被传送物2b的位置在传送方向上也可以稍微变动。

即,进行如下的传输工序:第一平台12从第一后位置移动至第一前位置,且第二平台14与第一平台12的移动同步地从第二后位置移动至第二前位置,在第一平台12从第一后位置移动至第一前位置且第二平台14与第一平台12的移动同步地从第二后位置移动至第二前位置的期间内,将第一平台12所保持的被传送物2b相对于第一平台12和第二平台14进行相对移动,将被传送物2b从第一平台12移至第二平台14,并且第一平台12解除保持被传送物2b,第二平台14开始保持被传送物2b。

传送辊12f、14f是如下的传输部:在通过控制部使第一平台12从第一后位置移动至第一前位置,并且使第二平台14同步地从第二后位置同步地移动至第二前位置的期间内,使第一平台12所保持的被传送物2b在被保持的状态下从第一平台12相对移动至第二平台14,从而由第二平台14对被传送物2b进行保持。

以下,重复相同的动作。此时,在从开始第二传送工序到完成取出工序为止的期间内,进行第二传送工序和取出工序的被传送物2a的下一个被传送物2b完成导入工序和第一传送工序。

处理装置10能使夹在传送辊12f、14f、16f、18f和相对辊12r、14r、16r、18r之间的被传送物2a、2b高速移动,并高精度地定位。

第二平台14在从第二后位置移动至第二前位置的期间内,从第一平台12接收被传送物2a。第二平台14不需要为了接收被传送物停留在第二后位置,因此能取消或缩短第二平台14停留在第二前位置的时间,从而能提高处理装置10的处理效率。

此外,通过构成为第一平台12在第一后位置所占据的空间与第二平台14在第二前位置所占据的空间重合,能减小处理装置10的设置空间。

另外,对于第一前位置仅包含在准备区域11a中、第一后位置和第二前位置仅包含在接收区域11b中、并且第二后位置仅包含加工区域11c中的情况进行了说明,但不限于此。

例如,第一后位置可以包含在准备区域11a和接收区域11b双方中,或者第二前位置可以包含在接收区域11b和加工区域11c双方中。

若使第一平台12和第二平台14的大小、形状相同,第一平台12在第一后位置所占据的空间与第二平台14在第二前位置所占据的空间完全地重合,则容易减小处理装置10的设置空间。

此外,第一平台12在第一后位置所占据的空间与第二平台14在第二前位置所占据的空间可以部分地重合。此外,第一平台12在第一后位置所占据的空间与第二平台14在第二前位置所占据的空间可以大小、形状不同。第一平台12与第二平台14的大小、形状可以相同,也可以不同。

若在第一前位置的与第一后位置相反一侧设置传送辊16f,在第二后位置的与第二前位置相反一侧设置传送辊18f,则从导入区域11s到取出区域11t为止能使被传送物2a、2b的传送方向保持不变,并能使被传送物2a、2b的姿态稳定,能缩短被传送物2b向第一平台12导入完成后到第一平台12开始移动为止的时间,能缩短从第二平台14到达第二后位置后到开始取出被传送物2a为止的时间,能提高处理效率。

也可以从与第一平台12和第二平台14传送被传送物2a、2b的方向交叉的方向,将被传送物2b导入至第一平台12或者将被传送物2a从第二平台14取出。

若使用线性电动机轴11,则能单独地驱动第一平台12和第二平台14,结构变得简单,设置空间也能减小。不使用线性电动机轴11也能驱动第一平台12和第二平台14。

若使第二传送工序与进行第二传送工序的被传送物2a的下一个被传送物2b的导入工序并行地进行,则能缩短处理被传送物2a、2b的周期,能提高处理效率。

<实施例2>

图4是表示在导入机构、第一传送机构和第二传送机构、取出机构上使用传送链来代替传送辊的实施例2的处理装置10a的结构的示意图。实施例2的处理装置10a与实施例1的处理装置10大致相同地构成。以下,与实施例1相同的构成部分使用相同的标号,以与实施例1的不同点为中心进行说明。

如图4所示,在第一平台12、第二平台14、导入部16、取出部18上设置传送链12c、14c、16c、18c。传送链12c、14c、16c、18c中,无端带状的链条与一对链齿轮卡合,伴随链齿轮的旋转,在规定的路径上循环移动。

另外,在图4中,对图1所示的控制装置10c的图示进行省略。

设置在第一平台12上的传送链12c是第一传送机构,传送链12c的外周面中位于图中上侧的部分是能沿着传送被传送物2b的传送路径可移动至第二平台14侧的部分。传送链12c还能用于向第一平台12导入被传送物2b。

设置在第二平台14上的传送链14c是第二传送机构,传送链14c的外周面中位于图中上侧的部分是能沿着传送被传送物2b的传送路径移动至与第一平台12相反一侧的部分。传送链14c还能用于将被传送物2a从第二平台14取出到取出部18。

实施例2的处理装置10a与实施例1的处理装置相同,能使夹在传送辊12f、14f、16f、18f和相对辊12r、14r、16r、18r之间的被传送物2a、2b高速移动,能高精度地定位,能提高处理效率,并能减小设置空间。

另外,可以将传送辊与传送链组合。例如,可以在第一平台12与第二平台14上设置传送辊,在导入部16和取出部18上设置传送链。

<实施例3>

对于实施例3的处理装置10b,参照图5进行说明,该实施例3的处理装置10b将一边使传送物2b从第一平台12相对移动至第二平台14一边保持着传送物2b的传输部设置于第一平台12和第二平台14以外。

图5是表示处理装置10b的结构和动作的示意图。图5省略了导入机构、取出机构、以及控制部的图示。如图5所示,传输部是在被传送物2b的传送路径上进行进退的抵接构件30。抵接构件30在图5(a)中虚线所示的当第一平台12位于第一后位置时在第一平台12吸附保持的被传送物2b的传送方向上游侧与被传送物2b相邻的抵接位置30x和图5(b)中虚线所示的从被传送物2b的传送路径移出的移出位置30y之间进行移动。抵接构件30在传输工序中配置在抵接位置30x,在除此以外时配置在移出位置30y。

接着,对于处理装置10b的动作进行说明。处理装置10b以与实施例1的处理装置10相同的顺序进行相同的工序。

图5(a)中,示出被传送物2a的取出工序结束,下一个被传送物2b的第一传送工序结束的状态。

接着,进行传输工序,成为图5(b)所示的状态。详细地说,在抵接构件30从移出位置30y移动至抵接位置30x后,第一平台12从第一后位置移动至第一前位置,第二平台14同步地从第二后位置同步移动至第二前位置。此时,第一平台12吸附保持的被传送物2b与抵接构件30抵接,其移动被阻止,在被阻止移动的被传送物2b之下,第一平台12与第二平台14进行移动,被传送物2b从第一平台12被移至第二平台14。而且,如图5(b)所示,在第一平台12位于第一前位置、且第二平台14位于第二前位置时,第二平台14吸附保持被传送物2b。

实施例3的处理装置10b与实施例1的处理装置10一样能提高处理效率,并能减小设置空间。

另外,可以将抵接构件与传送辊、传送链组合。例如,可以在第一平台12与第二平台14上设置传送辊、传送链。此外,可以在导入部16和取出部18上设置传送辊、传送链。

<比较例1>

图6是示出保持被传送物的平台仅为1个的比较例1的处理装置10x的动作的示意图。

如图6所示,比较例1的处理装置10x除了平台13为1个这点以外,结构与实施例1的处理装置10相同。平台13沿着线性电动机轴11在与导入部16相邻的前位置和与取出部18相邻的后位置之间进行移动。在平台13、导入部16、以及取出部18上,设置传送辊13f、16f、18f和相对辊13r、16r、18r。

处理装置10x如下进行动作。

首先,如图6(a)所示,平台13位于前位置。

接着,成为图6(b)所示的状态。即,在平台13停止于前位置的状态下,导入部16的传送辊16f与平台13的传送辊13f进行旋转,被传送物2从导入部16被传输至平台13,平台13对被传送物2进行保持。

接着,成为图6(c)所示的状态。即,保持着被传送物2的平台13从前位置移动至后位置,处理部20对保持在平台2上进行移动的被传送物2进行处理。

接着,成为图6(d)所示的状态。即,平台13的传送辊13f与取出部18的传送辊18f进行旋转,被传送物2从平台13被传输至取出部18。

接着,成为图6(a)所示的状态。即,平台13从后位置移动至前位置。以下,重复上述动作。

在使用1个平台13的情况下,处理被传送物2的周期为平台13停止于前位置以接收并保持被传送物2的时间t1、平台13从前位置移动至后位置以对保持的被传送物2进行加工的时间t2、平台13停止于后位置以取出加工完的被传送物2的时间t3、以及平台13从后位置移动至前位置的时间t4的合计(t1+t2+t3+t4)。

与此相对,在使用2个平台12、14的实施例1~3中,第二平台14能够利用从第二后位置移动至第二前位置的时间,从第一平台12接收下一个被传送物2b,能够取消、或者缩短停止于第二前位置的时间。因此,实施例1~3与比较例1相比,更能缩短处理被传送物的周期。因而,实施例1~3与比较例1相比,更能提高处理效率。

<总结>

如上所说明的那样,实施例1~3的处理装置10、10a、10b能提高处理效率,并能减小设置空间。

另外,本发明并不限定于上述实施方式,能加以各种变更来进行实施。

例如,控制部可以机械性地构成第一平台、第二平台可以在去路与回路不同的路径上进行移动。

实施例1~3中,以为了能使被传送物2a、2b高速移动,高精度地定位,一边使被传送物2a、2b从第一平台12相对移动至第二平台14一边保持着被传送物2a、2b的传输部(传送辊)为例进行了说明,但是传输部也可以不保持被传送物2a、2b来进行传输。在该情况下,若在用第二平台14保持被传送物2a后到达处理部20为止的期间内,对于工件4的规定部分5用摄像装置等(未图示)进行位置识别,根据运算结果使第二平台14移动,则能同样高精度地进行定位。

标号说明

2、2a、2b被传送物

10、10a、10b、10x处理装置

10c控制装置(控制部)

11s导入区域

11t取出区域

12第一平台

12c传送链(传输部、第一传送机构)

12f传送辊(传输部、第一传送机构)

14第二平台

14c传送链(传输部、第二传送机构)

14f传送辊(传输部、第二传送机构)

20处理部

30抵接构件(传输部)

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