流延装置以及溶液制膜方法与流程

本发明涉及流延装置以及溶液制膜方法。

背景技术：

作为偏光板的保护膜等光学膜的制造方法，已知溶液制膜方法。溶液制膜方法是如下的膜的制造方法：从模具朝向行进的支撑体流出聚合物溶解于溶剂而得到的掺杂剂(ドープ)，由此在支撑体上形成流延膜，将流延膜从支撑体剥取，并进行干燥。排出掺杂剂的模具的出口形成为狭缝状，由此，从模具的出口遍及支撑体地形成被称为道(ビード)的掺杂剂(dope)的薄膜状物。

在道振动等不稳定的情况下，所得到的膜产生厚度不均、即厚度的不均匀化。作为导致这样的道的不稳定化的原因，存在与支撑体的行进相伴随地流动的所谓的伴随风。为了抑制伴随风对道的影响，存在通过减压腔室对支撑体的行进方向上的模具的上游侧进行减压的方法，该方法具有一定的效果。但是，实际情况为，所制造的膜的厚度变得越薄、而且所制造的速度越提高，则使用了减压腔室的道(bead)的控制变得越难。

因此，例如在日本特开2015-066742号公报以及日本特开2015-168062号公报中，在支撑体的行进方向上的模具的上游侧、且在与模具接近的位置上，设置有遮挡伴随风的挡风部件。在日本特开2015-066742号公报中记载有如下方法：将在挡风部件的上游侧表面未被遮挡的微量的伴随风，向模具的上游侧表面引导，将所引导的伴随风经由在模具与挡风部件之间形成的吸引通路向模具的上部输送的方法。此外，在该日本特开2015-066742号公报中还记载有如下方法：在挡风部件的与支撑体对置的对置面上形成有多孔质层或者吸引槽，将上述微量的伴随风向这些多孔质层或者吸引槽进行引导。日本特开2015-066742号公报所记载的方法，在抑制伴随风对道的影响的观点上较优良。

此外，日本特开2015-168062号公报的挡风部件，在与模具对置的对置面上形成有开口。该开口遍及挡风部件的宽度方向整个区域。在挡风部件中，设置在宽度方向上分隔为多个区域的分隔板，在通过分隔板划分的侧部的确定区域中对气体进行吸引。近年，随着显示器的进一步的薄型化，对于所使用的光学膜，希望抑制在以往不被视为问题的程度的极微量的厚度不均。日本特开2015-066742号公报、日本特开2015-168062号公报所记载的方法，在抑制由伴随风的影响导致的极微量的厚度不均的产生这一点上较优良。

然而，在厚度的最大值与最小值之差为极微量的厚度不均中，有的在膜的长边方向上以大体一定的间距出现。如此具有周期性的厚度不均，处于在为了制造更薄的光学膜而将道形成得较薄的情况下容易出现的倾向。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供制造厚度更均匀的光学膜的流延装置以及溶液制膜方法。

本发明的流延装置具备行进的支撑体、模具、挡风箱以及吸引机构。模具朝向支撑体从狭缝状的出口流出掺杂剂。挡风箱形成为箱状，配置于在支撑体的行进方向上比模具更靠上游，对与支撑体的行进伴随着而流动的伴随风进行遮挡。吸引机构对挡风箱内部的气体进行吸引。挡风箱具有与支撑体对置、并沿着支撑体的行进方向延伸的对置板。对置板在支撑体的行进方向上的下游端、且在上述出口的长边方向的一端侧和另一端侧，分别形成有沿着上述出口的长边方向延伸的开口。

优选为，在支撑体的与行进方向正交的宽度方向上，挡风箱的边缘比上述出口的边缘更靠外侧。优选为，上述开口的外侧的边缘从上述出口的边缘向内侧为40mm以上100mm以下的范围内，上述开口的内侧的边缘从上述出口的边缘向内侧为140mm以上450mm以下的范围内。

上述开口的长边方向的长度优选为模具的出口的长边方向的长度的5％以上25％以下的范围内。上述开口的短边方向的长度优选为5mm以上80mm以下的范围内。

优选为，在将挡风箱与从模具的出口遍及支撑体形成的道的中间中、支撑体的宽度方向的中央部的压力设为pc时，吸引机构对挡风箱内部的气体进行吸引，由此使通过pc-大气压求出的差压成为-40pa以上0pa以下的范围内。

优选为，挡风箱与模具隔开间隙地对置，流延装置具备延伸设置部件。延伸设置部件沿着模具的出口的长边方向延伸，对上述间隙的支撑体侧的端部进行封闭。

本发明的溶液制膜方法具有：使用具备行进的支撑体的流延装置在支撑体上形成由掺杂剂构成的流延膜的步骤；通过从支撑体剥取流延膜来形成膜的步骤；以及对膜进行干燥的步骤。流延装置具备模具、挡风箱以及吸引机构。模具朝向支撑体从狭缝状的出口流出掺杂剂。挡风箱形成为箱状，配置于在支撑体的行进方向上比模具更靠上游，对与支撑体的行进伴随着而流动的伴随风进行遮挡。吸引机构对挡风箱内部的气体进行吸引。挡风箱具有与支撑体对置、并沿着支撑体的行进方向延伸的对置板。对置板在支撑体的行进方向的下游端、且在上述出口的长边方向的一端侧和另一端侧，分别形成有沿着上述出口的长边方向延伸的开口。

优选为，挡风箱与从模具的出口遍及支撑体形成的道的中间中、支撑体的宽度方向的中央部的压力即pc为-40pa以上0pa以下的范围内，道与模具的开口之间的压力即ps为-300pa以上-10pa以下的范围内，pc-ps为5pa以上250pa以下的范围内。

根据本发明，能够得到更可靠地抑制伴随风、厚度更均匀的光学膜。

附图说明

通过参照说明书附图而阅读优选实施例的详细说明，本领域技术人员能够容易地理解上述目的、优点。

图1是实施本发明的溶液制膜设备的概略图。

图2是流延模具和挡风箱的局部截面概略图。

图3是挡风箱的立体图。

图4是挡风箱的对置板的说明图。

具体实施方式

在图1中，实施了本发明的溶液制膜设备10用于连续地制造光学膜(以下，简称为“膜”)11。所制造的膜11的厚度在本实施方式中为30μm或者60μm，但不特别限定，为10μm以上70μm以下的范围内。以下所示的各实施方式为，在膜11的厚度越薄的情况下，厚度不均的抑制效果以及伴随风的抑制效果越显著，例如在制造10μm以上50μm以下的范围内的膜11的情况下，与现有技术相比，确认到特别大的效果。

溶液制膜设备10从上游侧起，依次具有流延装置12、拉幅机13、干燥室15、冷却室16以及卷取室17。另外，在本例中，制造用作为液晶显示器的偏光板的保护膜的膜11，但并不局限于此，例如，也能够制造用作为具有偏光板的保护功能的相位差膜或者低透湿膜的膜。

流延装置12用于由将聚合物溶解于溶剂而成的聚合物溶液即掺杂剂18来形成含有溶剂的状态的膜11。在本例中，将掺杂剂18的聚合物设为三乙酸纤维素(以下，称为tac)，将溶剂设为二氯甲烷与甲醇的混合物。但是，掺杂剂18的聚合物和溶剂不限定于此。作为聚合物的其他例子，例如，能够列举与tac不同的纤维素酰化物、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)等。作为与tac不同的纤维素酰化物，例如能够列举二乙酸纤维素、醋酸丙酸纤维素等。作为溶剂的其他例子，能够列举甲醇、丁醇、丙酮、以及三氯甲烷等，这样的物质可以单独使用，也可以将多种混合使用，根据所使用的聚合物的种类来决定。

流延装置12具备模具19、挡风箱20、吸引机构21、流延带22、旋转辊23、24、从流延带22剥取流延膜33的剥取辊25、调温器26、以及送风机27a、27b等。

模具19用于在内部对供给来的掺杂剂18进行引导并且将掺杂剂18的流动形成为薄膜状并使其流出。流延带22用于对从模具19流出的掺杂剂18进行支撑，并形成流延膜33。

在旋转辊23、24上架设有形成为环状的作为支撑体的流延带22。旋转辊23、24具有旋转轴23a、24a，旋转轴23a、24a通过未图示的驱动装置进行旋转，由此沿周方向旋转。随着该旋转，流延带22在长边方向上连续地行进。模具19在本实施方式中设置在旋转辊23上，但是也可以形成在从旋转辊23朝向旋转辊24的流延带22上。通过从模具19朝向行进的流延带22连续地流出掺杂剂18，由此在流延带22上形成流延膜33。此外，从模具19的出口40(参照图2)流出的掺杂剂18跨越流延带22而形成薄膜状的道18a(参照图2)。在本例中，作为支撑体，使用架设于旋转辊23、24、并通过旋转辊23、24的旋转而行进的流延带22，但并不局限于此，也可以使用流延鼓(未图示)。

流延带22的行进速度成为25m/分以上80m/分以下的范围内，由此膜11的制造速度成为25m/分以上80m/分以下的范围内。在本实施方式中，将流延带22的行进速度以及膜11的制造速度设为60m/分。

调温器26用于将对流延膜33进行支撑的流延带22的带面的温度成为规定的值。调温器26具备安装于旋转辊23、24并对导热介质的温度进行调节的温度调节部(未图示)，并使被调节为所希望的温度的导热介质在温度调节部与设置在旋转辊23、24内的流路之间循环。通过该导热介质的循环，经由旋转辊23、24对流延带22的温度进行调节。

送风机27a、27b用于对流延膜33进行干燥。送风机27a、27b设置于比模具19靠流延带22的行进方向下游侧。此外，流延带22的行进方向(以下，简称为“行进方向”)在图中由箭头线x表示。在本实施方式中，送风机27a、27b朝向所通过的流延膜33送出干燥风，但是并不局限于此，例如也可以朝向行进方向x向流延膜33上供给干燥风。

在流延带22上与该行进相伴随而产生气流。用于对该气流即伴随风进行遮挡的挡风箱20，配置于行进方向x的比模具19靠上游。挡风箱20是形成为中空的箱状的挡风部件。由此，挡风箱20的构造为，将行进方向x的模具19的上游侧、且流延带22附近的空间与外部空间分隔。吸引机构21与挡风箱20连接，对挡风箱20内部的气体进行吸引。

剥取辊25被配置为其旋转轴与旋转辊23的旋转轴23a平行。在本例中，剥取辊25相对于膜11的搬运路配置于流延带22的相反侧，在周面上卷绕膜11。剥取辊25与膜11的搬运相伴随进行从动旋转。在将膜11卷绕于剥取辊25的状态下，膜11被朝向溶液制膜设备10的下游拉动，由此流延膜33在规定的剥取位置从流延带22剥离。此外，也可以通过马达使剥取辊25与膜11的搬运同步地旋转。

在从流延装置12到拉幅机13的搬运路上，配置有多个辊28，这些辊28将膜11向拉幅机13引导。在由多个辊28设定的膜11的搬运路的附近，也可以设置有送风装置(未图示)。该送风装置向含有溶剂的状态的膜11吹风，由此进行膜11的干燥。

拉幅机13是使膜11在宽度方向上延伸的延伸装置，具备多个作为对膜11的侧端部进行保持的保持部件的夹持器29。此外，保持部件也可以是在台上具备多个针的针板。多个夹持器29以规定的间隔安装于形成为环状的链(未图示)。链被安装为沿着导轨(未图示)移动自如，通过链的移动而夹持器29沿着导轨循环移动。夹持器29在拉幅机13的入口附近，开始对引导来的膜11进行保持，并朝向出口移动，在出口附近解除保持。解除了保持的夹持器29再次向入口附近移动，对新引导来的膜11进行保持。拉幅机13通过使夹持器29沿着膜11的长边方向和宽度方向移动，由此将膜11沿长边方向搬运并且沿宽度方向延伸。在拉幅机13上设置有送风装置30，从送风装置30对所搬运的膜11送出干燥风。

在比拉幅机13靠下游，也可以如本实施方式那样设置有切边装置31。切边装置31将膜11的宽度方向两侧端部切去。所切去的两侧端部通过送风向破碎机32输送，由破碎机32粉碎，作为掺杂剂等的原料而再利用。

干燥室15用于在对膜11进行搬运的同时进一步进行干燥。在干燥室15中设置有多个辊34，在各个辊34上卷绕膜11并且搬运。干燥室15内的环境的温度以及/或者湿度等通过未图示的空调机调节。

冷却室16设置在干燥室15的下游，用于将膜11例如冷却到室温。冷却室16的环境的温度以及/或者湿度等通过未图示的空调机调节。

在本实施方式中，在冷却室16的下游设置有滚花赋予辊35。滚花赋予辊35对膜11的两侧端部赋予由多个凹凸构成的滚花。卷取室17具备卷取机36，卷取机36具有压辊38。在卷取机36上设置有用于卷绕膜11的卷取芯37，通过驱动部(未图示)使卷取芯37沿周方向旋转，通过压辊38按压膜11并且卷绕于卷取芯37。

如图2所示那样，挡风箱20与模具19隔开间隙地对置。此外，根据所制造的膜11的种类，来设定模具19的排出掺杂剂18的出口40与流延带22之间的距离。出口40形成为沿着图2的纸面进深方向延伸的狭缝状，模具19被设置为出口40的长边方向与流延带22的宽度方向一致。模具19以及挡风箱20分别由金属形成，与温度相对应而尺寸极微小地变化。因此，间隙cl的间隔、即模具19与挡风箱20的距离被设定为，即使模具19以及挡风箱20的尺寸变化，模具19与挡风箱20也不会接触。例如，间隙cl的间隔被设定为0.5mm以上5.0mm以下的范围内，在本实施方式中设为1.0mm。

在挡风箱20的与模具19对置的对置面20s上，突出地设置有延伸设置部件41。如此设置为突出的状态的延伸设置部件41，是对间隙cl中、流延带22侧的端部进行封闭的封闭部件。如图3所示那样，延伸设置部件41沿着流延带22的宽度方向y延伸。如上所述，由于流延带22的宽度方向与出口40的长边方向一致，因此在以下的说明中，对于出口40的长边方向也赋予符号y。延伸设置部件41用于抑制间隙cl中的空气所产生的非常小的波长的气压波向道18a传播。图中z为铅垂方向，出口40的长边方向y与铅垂方向z正交。延伸设置部件41设置在对置面20s的流延带22侧的端部、即在图2以及图3中设置在对置面20s的铅垂方向z的下侧端部。此外，延伸设置部件41对间隙cl中、流延带22侧的端部进行封闭，但是延伸设置部件不限定于该例子，也可以对间隙cl的整个区域进行封闭。

模具19以及挡风箱20在出口40的长边方向y上较长、且由金属形成，因此为了遍及出口40的长边方向y的整个区域将间隙cl封闭，优选为，使模具19与挡风箱20以夹着延伸设置部件41的状态相互按压，并将模具19以及挡风箱20配置为如此按压的状态。并且，延伸设置部件41优选由柔软的材料形成。例如，优选为弹性率比构成模具19以及挡风箱20的金属低的材料，作为这样的材料能够列举氟类聚合物。作为氟类聚合物例如能够列举聚四氟乙烯，在本实施方式中也设为聚四氟乙烯。此外，延伸设置部件41的材料为，不溶解于在掺杂剂18中用作为溶剂的液体。

挡风箱20具有：将图2中的上方的外部空间与挡风箱20的内部空间分隔的顶板44；以及与流延带22以接近的状态对置的对置板45。对置板45沿着行进方向x延伸，因此，挡风箱20与流延带22之间的距离在行进方向x上大体一定。

在顶板44上形成有第一开口46，在对置板45上形成有第二开口47。吸引机构21与挡风箱20通过第一开口46连接，从该第一开口46对挡风箱20内部的气体进行吸引。由此，对置板45与流延带22之间的气体从第二开口47流入，并作为挡风箱20的内部气体被吸引机构21吸引。

在此，将挡风箱20与道18a的中间的压力中、流延带22的宽度方向y的中央部的压力设为中央部压力pc。使用吸引机构21对挡风箱20内部的气体进行吸引，由此使从中央部压力pc减去大气压而得到的差即pc-大气压优选成为-40pa以上0pa以下的范围内，更优选成为-25pa以上0pa以下的范围内，进一步优选成为-15pa以上0pa以下的范围内。在本实施方式中成为-30pa或者-100pa。

第二开口47形成于行进方向x的对置板45的下游端。如图4所示那样，第二开口47在对置板45上，分别形成在出口40的长边方向y的一端侧以及另一端侧。此外，图4所示的挡风箱20示出对置板45的外部轮廓。第二开口47形成为沿着出口40的长边方向y延伸的、例如矩形。

挡风箱20的边缘20el、20er优选为，与出口40的边缘el、er相比在流延带22的宽度方向y上更靠外侧，在本实施方式中也是如此设置。即，图4中的挡风箱20的左侧的边缘20el比出口40的左侧的边缘el靠外侧，挡风箱20的右侧的边缘20er比出口40的右侧的边缘er靠外侧。如此，出口40的长边方向y上的挡风箱20的长度比出口40的长边方向y的长度大。

各第二开口47的外侧的边缘47о优选为，从出口40的边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上为内侧40mm以上100mm以下的范围内。即，优选为，在流延带22的宽度方向y上，图4中左侧的第二开口47的边缘47o比边缘el靠内侧，右侧的第二开口47的边缘47o比边缘er靠内侧，边缘47o与边缘el、er的距离d1为40mm以上100mm以下的范围内。在本实施方式中，距离d1设为90mm。距离d1更优选为50mm以上95mm以下的范围内，进一步优选为60mm以上90mm以下的范围内。

各第二开口47的内侧的边缘47i优选为，从出口40的边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上为内侧140mm以上450mm以下的范围内。即，优选为，在流延带22的宽度方向y上，图4中左侧的第二开口47的边缘47i比边缘el靠内侧，右侧的第二开口47的边缘47i比边缘er靠内侧，边缘47i与边缘el、er的距离d2为140mm以上450mm以下的范围内。在本实施方式中，距离d2设为300mm。距离d2更优选为170mm以上410mm以下的范围内，进一步优选为200mm以上300mm以下的范围内。

在此，将第二开口47的长边方向的长度设为l1，将行进方向y上的长度即短边方向的长度设为l2。此外，将出口40的长边方向y的长度设为l3。长度l1优选为长度l3的5％以上25％以下的范围内。即，优选为(l1/l3)×100为5以上25以下的范围内。在本实施方式中，长度l1设为长度l3的14％。长度l1更优选为长度l3的9％以上22％以下的范围内，进一步优选为14％以上20％以下的范围内。

长度l2优选为5mm以上80mm以下的范围内，在本实施方式中为20mm。长度l2更优选为5mm以上60mm以下的范围内，进一步优选为5mm以上45mm以下的范围内。

在此，将挡风箱20与道18a的中间的压力中、道18a与第二开口47的中间的压力设为侧部压力ps。优选为，中央部pc为-40pa以上0pa以下的范围内，侧部压力ps为-300pa以上-10pa以下的范围内，从中央部压力pc减去侧部压力ps而得到的差pc-ps为5pa以上250pa以下的范围内。在出口40的长边方向y上延伸的第二开口47，形成在对置板45的行进方向x的下游端、且分别形成在出口40的长边方向y上的一端侧和另一端侧，因此中央部压力pc、侧部压力ps以及差pc-ps分别成为上述范围内，在本实施方式中也成为上述范围内。具体地说，在本实施方式中，中央部压力pc为-30pa，侧部压力ps为-100pa，差pc-ps为70pa。中央部压力pc、侧部压力ps以及差pc-ps分别成为上述范围内，因此道18a更加稳定化。中央部pc优选为-25pa以上0pa以下的范围内，进一步优选为-15pa以上0pa以下的范围内。侧部压力ps更优选为-250pa以上-10pa以下的范围内，进一步优选为-200pa以上-10pa以下的范围内。差pc-ps更优选为5pa以上210pa以下的范围内，进一步优选为5pa以上190pa以下的范围内。

对上述构成的作用进行说明。掺杂剂18通过泵(未图示)向模具19连续地供给。模具19为，在内部将掺杂剂18朝向出口40引导并且使流动的宽度连续地扩展扩而成为薄膜状，并从出口40连续地流出。掺杂剂18朝向行进的流延带22流出，由此在流延带22上形成流延膜33。在出口1与流延带22之间形成有道18a。

挡风箱20被设置为与流延带22接近的状态，挡风箱20的边缘20el、20el与出口40的边缘el、er相比，在流延带22的宽度方向y上更靠外侧，因此与流延带22的行进相伴随而流动的伴随风，被行进方向x上的挡风箱20的上游侧的表面遮挡。结果，伴随风导致的道18a的振动被抑制，能够得到由伴随风引起的厚度不均被抑制的膜11。

流延装置12具备吸引机构21，并在挡风箱20的对置板45上形成有第二开口，因此即使伴随风的微量的一部分向流延带22与对置板45之间流入，也经由挡风箱20被向吸引机构21引导。由此，伴随风对于道18a的影响被抑制。结果，膜11被抑制由伴随风引起的厚度不均。第二开口47形成在行进方向x上的对置板45的下游端，因此包含在流延带22与对置板45之间与流延带22的行进相伴随而新产生的伴随风在内，被可靠地向吸引机构21引导。结果，由伴随风引起的厚度不均被可靠地抑制，能够得到具有周期性的厚度不均也被抑制的膜11。

在此，在夹着道18a的上游侧的区域与下游侧的区域之间的压力差变大的情况下，道18a会被过度地向上游侧导入，作为其结果，由从出口40到向流延带22的着地线为止的距离表示的道的长度会变短。但是，在本例中，使用吸引机构21对挡风箱20内部的气体进行吸引，由此使通过pc-大气压求出的差压成为-40pa以上，因此与成为低于-40pa的情况相比，夹着道18a的上游侧的区域与下游侧的区域之间的压力差被抑制得较小，作为其结果，能够抑制道18a的长度变短。由于道18a的长度比较长，因此对道18a所承受的周围的振动进行吸收的效果变大，厚度不均被抑制。由于将通过pc-大气压求出的差压设为0pa以下，因此与使其大于0pa的情况相比，吸引对伴随风的排除效果变大，对伴随风导致的道18a的振动进行抑制的效果变大。即，在不进行吸引的情况下，由于伴随风的流入而中央部压力pc变得大于0，在即使进行吸引中央部压力pc也大于0pa的情况下，意味着不能够充分地吸引伴随风，而残留有伴随风。

第二开口47分别形成在出口40的长边方向y的一端侧和另一端侧，第二开口47沿着出口的长边方向y延伸，因此在出口40的比长边方向的中央部更靠一端侧和另一端侧通过更强的吸引力将伴随风向挡风箱20内吸引。由此，道18a以沿着出口40的长边方向y的方式形成。

第二开口47沿着出口40的长边方向y沿着，行进方向x的长度成为5mm以上80mm以下的范围内，如此面积被抑制得较小而形成，因此容易更精细地调整行进方向x的道18a的上游侧的区域的压力。因此，道18a更加稳定，因此能够更可靠地以均匀的厚度得到膜11。

各第二开口47为，边缘47о从边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上靠内侧为40mm以上，因此与低于40mm的情况相比，从挡风箱20的边缘20el、20er朝向宽度方向y的中央部，向流延带22与对置板45之间的间隙流入的气流被抑制。因此，宽度方向y上的道18a的端部有伴随风以外的风导致的振动被更可靠地抑制。此外，由于吸引而从宽度方向y的中央部朝向两端整流的伴随风，不使其流动紊乱地从第二开口47向挡风箱20的内部流入。此外，边缘47o从边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上靠内侧为100mm以下，因此与比100mm更大的情况相比，到宽度方向y上的道18a的更端部为止，能够更可靠地进行在道18a的上游侧对伴随风进行抑制的细致的控制。各第二开口47为，内侧的边缘47i从边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上靠内侧为140mm以上，因此与低于140mm的情况相比，充分确保第二开口47的面积，因此更可靠地抑制伴随风的吸引泄漏。此外，更可靠地抑制由以防止伴随风的吸引泄漏的目的而过于提高吸引压力导致的、道18a的上游侧的区域与下游侧的区域的差压变得过大。此外，边缘47i从边缘el、er起在流延带22的宽度方向y上靠内侧为450mm以下，因此与大于450mm的情况相比，从行进方向x的上游侧向挡风箱20与流延带22之间流入的伴随风，被从宽度方向y的中央部向两端更可靠地整流并向第二开口47引导。由此，在对伴随风向宽度方向y的中央部的道18a的影响进行抑制时，伴随风从中央部向两端的整流效果进一步提高。

由于使长度l1为长度l3的5％以上，因此与低于5％的情况相比，能够遍及宽度方向y的道18a的整个区域更可靠地吸引伴随风，由此，能够进一步抑制伴随风对道18a的影响。即，在低于5％的情况下，在道的宽度方向上有可能产生得不到伴随风排除的效果的位置。由于使长度l1为长度l3的25％以下，因此与大于25％的情况相比，从行进方向x的上游侧向挡风箱20与流延带22之间流入的伴随风，被从宽度方向y的中央部向两端更可靠地整流并向第二开口47引导。由此，在对伴随风向宽度方向y的中央部的道18a的影响进行抑制时，伴随风从中央部向两端的整流效果进一步提高。

由于长度l2为5mm以上，因此与低于5mm的情况相比，充分确保第二开口47的面积，因此能够更可靠地抑制伴随风的吸引泄漏。此外，更可靠地抑制由以防止伴随风的吸引泄漏的目的而过于提高吸引压力导致的、道18a的上游侧的区域与下游侧的区域的差压变得过大。由于长度l2为80mm以下，因此与大于80mm的情况相比，能够更可靠地维持对道18a的影响较小的上游侧的区域与下游侧的区域的差压。

中央部pc为-40pa以上0pa以下的范围内，侧部压力ps为-300pa以上-10pa以下的范围内，从中央部压力pc减去侧部压力ps而得到的差pc-ps为5pa以上250pa以下的范围内，因此道18a更加稳定化，作为其结果，能够更可靠地得到厚度更均匀的膜11。

在溶液制膜设备10的驱动系统以及送风系统等各设备的运转中，产生机械振动，这些机械振动在间隙cl的空气中放大、或者共振。通过这样的放大或者共振而在间隙cl中产生的非常小的波长的气压波(以下，称为微气压波)，由于延伸设置部件41而被更可靠地抑制向道18a传播，道18a的振动以及道18a的厚度的变化被更可靠地抑制。由此，能够得到厚度更均匀的膜11。此外，对微气压波向道18a传播进行抑制的延伸设置部件41的功能，可以认为是使微气压波衰减的衰减功能以及遮挡的遮挡功能的双方。

延伸设置部件41由弹性率比构成模具19和挡风箱20的金属的弹性率低的材料、例如在本实施方式中由聚四氟乙烯形成，因此在夹着延伸设置部件41的状态下按压模具19和挡风箱20的情况下，间隙cl遍及出口40的长边方向y被延伸设置部件41更可靠地封闭。结果，微气压波向道18a传播被更可靠地抑制，道18a的振动和道18a的厚度的变化被更可靠地抑制。由此，能够更可靠地得到厚度更均匀的膜11。

在流延带22上，流延膜33被来自送风机27a、27b的干燥风干燥，并凝胶化直到被剥取。剥取辊25从流延带22连续地剥取凝胶化为能够搬运的程度的流延膜33，形成带状的膜11。剥取时的流延膜33的溶剂含有率优选为20质量％以上250质量％以下的范围。此外，在本说明书中，溶剂含有率(单位：％)为干量基准的值，具体地说，是在将溶剂的质量设为ms，将流延膜33或者膜11的质量设为mf时，通过{ms/(mf-ms)}×100求出的百分率。

膜11在被向拉幅机13引导的期间，由上述送风装置(未图示)吹风而进行干燥。风的温度优选为20℃以上250℃以下。膜11在拉幅机13中在被搬运的同时进行干燥。在该干燥的期间，通过沿宽度方向延伸而扩大宽度。在延伸后，有时使宽度缩窄。这样的宽度的变化率根据作为目的的例如光学特性等来决定。

从拉幅机13送出的膜11，在存在拉幅机13的把持痕迹的侧端部被切边装置31切除之后，向干燥室15输送。干燥室15通过辊34对膜11进行支撑并且向下游侧输送。通过在环境的温度以及/或者湿度等被调节的干燥室15中通过，由此膜11被进一步干燥。膜11通过在冷却室16中通过，由此例如被冷却到室温。

膜11在被冷却之后，通过滚花赋予辊35在两侧端部赋予滚花。被赋予了滚花的膜11在卷取室17中在卷取芯37卷绕为辊状。

在本例中，通过流延膜33所含有的溶剂的干燥，使流延膜33具有自己支撑性，但不限定于此。例如，也可以通过冷却使流延膜33具有自己支撑性。

[实施例]

[实施例1]～[实施例3]

使用图1所示的溶液制膜设备10来制造膜11，并设为实施例1～3。在各实施例中，使通过pc-大气压求出的差压成为表1的“差压”栏所示的值。此外，所制造的膜11的厚度表示在表1的“厚度”栏。

对于所得到的膜11的厚度的均匀性、以及伴随风的卷入故障，通过以下的评价方法以及评价基准进行了评价。此外，对于厚度的均匀性，如下所述那样，对厚度变动以及周期性厚度变动这2个进行了评价。各评价结果在表1中表示。

(1)厚度的均匀性

(1-1)厚度变动

对于卷绕于卷取机36的各膜11，在长边方向上跨越1m以上的长度，以1mm以下的间距，对宽度方向的中心部的厚度进行了测定。在测定中使用打点式的膜厚计。将所测定的厚度的最大值与最小值之差设为ts。基于以下的评价基准，作为厚度变动进行了评价。a为合格，b以及c为不合格。

a：ts低于0.3μm。

b：ts为0.3μm以上、低于0.7μm的范围内。

c：ts为0.7μm以上。

(1-2)周期性厚度变动

对于各膜11，在长边方向上跨越1m以上的长度，以1mm以下的间距，对宽度方向的中心部的厚度进行了测定。在测定中使用打点式的膜厚计。将所测定的厚度的最大值与最小值之差设为ts。此外，对所得到的厚度的测定值进行频率分析。在频率分析中，基于流延带22的行进速度与频率建立对应。通过该分析，确定出多个具有频率为10hz以上80hz以下的范围的周期性的厚度。从该多个中确定具有最大厚度值的一个，并求出其厚度值tx。然后，将通过tx/ts×100的计算式求出的值作为厚度变化率(单位未％)求出，基于以下的评价基准，作为周期性厚度变动进行了评价。

a：厚度变化率为4％以下。

b：厚度变化率为大于4％、8％以下的范围内。

c：厚度变化率为大于8％、15％以下的范围内。

d：厚度变化率大于15％。

(2)伴随风的卷入故障

通过高速摄像机对流延带22、道18a以及流延膜33进行摄影，在将该摄影的图像放大到5倍以上15倍以下的范围的状态下显示于监视器，通过目视观察对显示图像进行观察。确认在比道18a向流延带22着地的着地线靠下游侧的流延带22与流延膜33之间是否卷入空气，基于以下的评价基准作为伴随风的卷入故障进行了评价。评价基准为以下。

合格：空气未卷入。

不合格：空气卷入。

[表1]

[比较例1]～[比较例8]

将实施例1的挡风箱20置换为其他挡风箱而制造膜，作为比较例1～7。将实施例1的挡风箱20取下而制造膜，作为比较例8。在比较例1、比较例2中，使用了将具备第二开口47的对置板45置换为在沿着出口40的长边方向的整个区域形成有第二开口的对置板的挡风箱。在比较例3～6中，使用没有对置板45的挡风箱。在比较例7中，使用的挡风箱为，作为与流延带22对置的对置板，具备没有开口的板，作为与模具19对置的模具对置板，具有在与模具19对置的对置面20s上形成有开口的板。比较例7的模具对置板上形成的开口的形状以及大小与实施例1的第二开口47相同，开口在模具对置板上分别形成在出口40的长边方向的一端侧和另一端侧。此外，这2个开口形成在模具对置板的流延带22侧的端部、即铅垂方向z的下端。在比较例8中，未使用挡风箱，因此没有求出中央部压力pc的对象位置，因此不能够求出pc-大气压，因此在表1的“差压”栏中记载为“-”。

以与实施例相同的方法以及基准，对所得到的膜的厚度的均匀性以及伴随风的卷入故障进行了评价。结果在表1中表示。