一种塑封压机的高精度真空压力控制装置的制作方法

本实用新型涉及集成电路封装领域，尤其是一种塑封压机的高精度真空压力控制装置。

背景技术：

自动封装设备是适用于多种不同产品类型的塑封设备，针对dfn、qfn等大面积基板类的产品封装时，在产品塑封的注塑阶段，模具内的真空度不达标，很可能会导致塑封产品内产生空洞和气泡，从而造成产品缺陷报废，所以模具真空压力控制是影响塑封产品成败的关键因素。目前，压力控制装置通常都有下列缺点：一、设备中没有真空压力调节装置，负压值无法精确控制；二、每个模架都配置一个真空泵，真空泵的数量偏多，生产时噪音大；三、真空压力控制容易受外界干扰。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决现有压力控制装置的诸多问题。

本实用新型采用的技术方案是：一种塑封压机的高精度真空压力控制装置，包括气源和真空泵，它还包括真空检测表、a/d模块、plc单元、d/a模块、手动调压阀、电气比例阀、真空泵电磁阀、真空发生器、真空发生器电磁阀、真空破坏电磁阀、第一气路、第二气路、第三气路和过滤器，所述真空破坏电磁阀设置在第一气路上，气源、真空发生器和真空发生器电磁阀串联在第二气路上，所述真空泵、过滤器和真空泵电磁阀串联在第三气路上，所述第一气路、第二气路和第三气路交汇后并为一路、手动调压阀、电气比例阀和真空检测表位于合并后的气路上，所述第一气路远离气路交汇处的一端连接在气源和真空发生器之间的第二气路上。

本实用新型的有益效果是：1、只需要一个真空泵，通过各压机的电磁阀控制，依次给各压机提供真空负压，不需要为每个压机安装独立的真空泵。

2、对每个模架，可以设置两套真空压力调节装置，分别控制模架的上模型腔真空和下膜型腔真空。通过plc单元的控制，在合模前，开启下模型腔真空，确保产品被平整的吸附在下模上，避免合模时框架翘曲变形导致的产品异常；在合模后，开启上模型腔真空，通过参数设置，上模的真空度小于下膜真空度，确保产品不会被上模真空吸起造成产品异常。

3、在合模后，模架内部存在较多的空气，在此阶段通过程序控制，引入真空泵产生的极高负压进行快速排气，当模具内部真空度到达设定值后，只需要很小的排气量就能维持模架内的真空，此时可以关闭真空泵的负压接入，启动真空发生器，以此产生的负压来维持模架内的真空度。

4、真空泵只在快速排气阶段接入对应的模架，当对应的模架到达设定的真空度后，真空泵的负压回路会被断开，以此来保证真空泵产生的负压值一直保持在较高的水平。

5、真空回路中增加手动调节阀，通过手动调节，可以对回路中的真空度进行限制，避免过高的真空对器件造成影响。

6、在模架真空回路中，负压表用于检测模架中的真空度，检测值通过a/d转换模块接入plc单元，plc单元将真空的检测值和真空的设定值进行运算处理，通过d/a转换模块控制电气比例阀调节真空管路中的负压的流量，从而达到模架真空度的精确控制。

7、在产品完成固化时，关闭真空发生器的负压输出，接入外部气源，破坏模架内的真空度，避免产品吸附在模具的型腔中，无法取走。

附图说明

图1为本实用新型真空空气路框图。

图2为本实用新型电气控制框图。

图中所示：第一气路1、第二气路2、第三气路3、手动调压阀4、气源5、真空泵6、过滤器7、模架8、压机单元9、真空检测表10、a/d模块20、plc单元30、d/a模块40、电气比例阀50、真空泵电磁阀60、真空发生器70、真空发生器电磁阀80、真空破坏电磁阀90。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型做进一步的说明。

如图所示，一种塑封压机的高精度真空压力控制装置，包括气源5和真空泵6，它还包括真空检测表10、a/d模块20、plc单元30、d/a模块40、手动调压阀4、电气比例阀50、真空泵电磁阀60、真空发生器70、真空发生器电磁阀80、真空破坏电磁阀90、第一气路1、第二气路2、第三气路3和过滤器7，所述真空破坏电磁阀设置在第一气路上，气源、真空发生器和真空发生器电磁阀串联在第二气路上，所述真空泵、过滤器和真空泵电磁阀串联在第三气路上，所述第一气路、第二气路和第三气路交汇后并为一路、手动调压阀、电气比例阀和真空检测表位于合并后的气路上，所述第一气路远离气路交汇处的一端连接在气源和真空发生器之间的第二气路上。

本实用新型中真空检测表、a/d模块、plc单元、d/a模块、手动调压阀、电气比例阀、真空泵电磁阀、真空发生器、真空发生器电磁阀、真空破坏电磁阀、第一气路、第二气路、第三气路和模架8均设置在压机单元9上。使用时通过plc单元30控制真空泵电磁阀60打开，引入真空泵的高真空度对模架8进行快速排气，使模架在短时间内迅速的建立真空负压，真空检测表10通过a/d模块20检测负压值到达设定范围后，将信号反馈给plc单元30，plc单元30控制真空泵电磁阀60关闭，确保真空泵的高真空度，随后plc单元30启动真空发生器70动作，产生真空，同时控制真空发生器电磁阀80打开，将真空发生器产生的负压接入模架单元，进行负压保持，真空检测表10通过a/d模块20进行负压检测，并将信号反馈给plc单元30，plc单元30通过d/a模块40控制电气比例阀50，对模架中的真空负压值进行精确调节，确保模架的真空度的精确、稳定，在固化结束时，plc单元30控制真空发生器70和真空发生器电磁阀80关闭，同时plc单元30控制真空破坏电磁阀90打开，引入气源气压进入模架，进行真空破坏，避免产品吸附在模具的型腔中，无法取走。

本领域技术人员应当知晓，本实用新型的保护方案不仅限于上述的实施例，还可以在上述实施例的基础上进行各种排列组合与变换，在不违背本实用新型精神的前提下，对本实用新型进行的各种变换均落在本实用新型的保护范围内。

技术特征：

1.一种塑封压机的高精度真空压力控制装置，包括气源和真空泵，其特征在于：它还包括真空检测表、a/d模块、plc单元、d/a模块、手动调压阀、电气比例阀、真空泵电磁阀、真空发生器、真空发生器电磁阀、真空破坏电磁阀、第一气路、第二气路、第三气路和过滤器，所述真空破坏电磁阀设置在第一气路上，气源、真空发生器和真空发生器电磁阀串联在第二气路上，所述真空泵、过滤器和真空泵电磁阀串联在第三气路上，所述第一气路、第二气路和第三气路交汇后并为一路、手动调压阀、电气比例阀和真空检测表位于合并后的气路上，所述第一气路远离气路交汇处的一端连接在气源和真空发生器之间的第二气路上。

技术总结
本实用新型公开了一种塑封压机的高精度真空压力控制装置，包括气源和真空泵，它还包括真空检测表、A/D模块、PLC单元、D/A模块、手动调压阀、电气比例阀、真空泵电磁阀、真空发生器、真空发生器电磁阀、真空破坏电磁阀、第一气路、第二气路、第三气路和过滤器，所述真空破坏电磁阀设置在第一气路上，气源、真空发生器和真空发生器电磁阀串联在第二气路上，所述真空泵、过滤器和真空泵电磁阀串联在第三气路上，所述第一气路、第二气路和第三气路交汇后并为一路、手动调压阀、电气比例阀和真空检测表位于合并后的气路上，所述第一气路远离气路交汇处的一端连接在气源和真空发生器之间的第二气路上。

技术研发人员：汪辉;曹玉堂;徐善林;汪洋;郭优优
受保护的技术使用者：铜陵富仕三佳机器有限公司
技术研发日：2019.11.28
技术公布日：2020.10.27