专利名称：热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过热风对基板等被加热物进行热处理的热处理装置。
背景技术：
以前，在下述专利文献1中所揭示的热处理装置，应用于液晶显示器(LCDLiquid Crystal Display)或者等离子体显示器(PDPPlasmaDisplay)，有机EL显示器等平板屏显示器(FPDFlat Panel Display)的制作中。热处理装置是预先对玻璃板等基板(被加热物)涂敷特定的溶液，在加热室内收容加热干燥的基板，暴露于导入到加热室内的预定温度的热风中来进行热处理(烧成)的装置。
专利文献1(日本专利)特许第2971771号公报发明内容现有技术的热处理装置具有用于使被加热物出入的开口或者间隙等，其并不是完全密闭的状态，因此，很容易在上述开口或者间隙附近形成较低的温度。因此，伴随着热处理的进行而使涂敷在基板上的特定溶液等汽化而产生的生成气体，在开口或者间隙附近被冷却并固化，形成所谓的升华物。升华物呈粒子状或者焦油状，其不仅污染热处理装置的内部并降低被加热物的质量，而且还存在当被加热物出入时而向热处理装置的外部泄漏的问题。
通常，热处理装置被设置在清净度较高的清洁室等内。因此，如现有技术的热处理装置那样，若升华物从热处理装置泄漏，则甚至还存在降低清洁室的清净度的问题。
鉴于上述的问题，在上述专利文献1中公开的热处理装置是这样构成即，通过使热处理装置内维持在比热处理装置的设置气氛压力低一些的低压，来防止热处理装置内的空气或者生成气体向外部泄漏。在作成这种结构的情况下，虽然对所谓的升华物从热处理装置向外部排出的问题具有一定的效果，然而，因为从用于使被加热物出入的开口或者间隙而流入的空气的影响，所以多少都存在产生升华物的可能。
此外，在上述专利文献1中公开的热处理装置中，因为受流入装置内的空气的影响，而存在在加热室内产生温度不均匀的可能性。因此，对于在上述专利文献1中所公开的热处理装置来说，在用于被加热物出入的开口附近，不得不另外设置用于吸引捕集从加热室一侧将要向外部泄漏的生成气体以及从外部向加热室一侧流入的空气的机构，从而存在使装置的结构复杂化的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种结构比较简单、并能够抑制伴随着基板的热处理所产生的生成气体被冷却而产生所谓的升华物的热处理装置。
因此，提供的用于解决上述问题的本发明，其特征在于包括供给热风的热风供给部件、以及导入在该热风供给部件中产生的热风并通过该热风来对被加热物进行加热的加热室，在伴随着被加热物的加热而产生的生成气体流动区域内，配置有使所述生成气体氧化分解的生成气体分解部件。
在本发明的热处理装置中，通过从热风供给部件向加热室供给的热风对被加热物进行加热而产生的大部分生成气体，在生成气体分解部件内被氧化分解。因此，在本发明的热处理装置中，在生成气体分解部件的下游一侧流动的大部分气体是经生成气体的分解而产生的分解气体，其生成气体的浓度非常低。因此，在本发明的热处理装置中，可以抑制生成气体成为固体状或者成为焦油状的所谓升华物的产生。
而且，在本发明的热处理装置中，由于在生成气体分解部件中使生成气体氧化分解，所以产生反应热。因此，在上述的结构中，通过生成气体分解部件的气体因上述反应热而被加热，并形成高温，并从加热室排出。因此，在本发明的热处理装置中，即使万一生成气体的一部分在生成气体分解部件中未能被分解而残留下来，也几乎不会发生使该生成气体成为固体状或者焦油状的升华物的情况。
这里，在本发明的热处理装置中，在生成气体分解部件中使生成气体氧化分解，由分解反应时所产生的反应热使排出到生成气体分解部件的下游一侧的气体升温。因此，在本发明的热处理装置中，在生成气体分解部件的上游一侧和下游一侧，存在环境气体温度的分布改变，因情况而发生被加热物的加热不均匀的可能性。
因此，基于这样的理解而提供的本发明，其特征在于包括供给热风的热风供给部件、以及导入在该热风供给部件中产生的热风并通过该热风来对被加热物进行加热的加热室，在该加热室的内部具有配置被加热物的被加热物配置区域，在该被加热配置区域的热风的流动方向下游一侧，在伴随着被加热物的加热而产生的生成气体流动区域内，配置有使所述生成气体氧化分解的生成气体分解部件。
在这样的结构中，使配置有被加热物的被加热区域的温度分布稳定化，从而能够可靠地防止被加热物的加热不均匀。
这里，在上述本发明的热处理装置中，其特征在于生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂。
在这样的结构中，能够可靠地使通过被加热物的加热而产生的生成气体分解，能够抑制伴随着生成气体的冷却的固体物或者焦油状物质的产生。
在上述的本发明热处理装置中，也可以是加热室由与热风供给部件连通的上游壁、与其相对的下游壁、以及在相对于上游壁和下游壁交叉方向扩展的间隔壁所包围，下游壁的一部分或者全部由生成气体分解部件所构成。
在本发明的热处理装置中，由于上游壁与热风供给部件连通，所以热风从上游壁一侧导入到加热室，从下游壁一侧流出。在本发明的热处理装置中，因为是由生成气体分解部件构成下游壁的一部分或者全部，所以能够高效率地使伴随着被加热物的加热处理而产生的生成气体分解。
这里，贵金属或者贵金属合金对于各种各样的气体都具有很高的氧化活性。因此，在上述的本发明热处理装置中，生成气体分解部件优选在催化基体上载持有包含贵金属或者贵金属合金的催化剂。
在这样的结构中，能够可靠地使因被加热物的加热而产生的生成气体分解，能够可靠地防止伴随着生成气体的冷却而产生所谓的升华物。
这里，在上述的本发明的热处理装置中，生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂，优选催化基体形成有多条生成气体流路、并呈蜂窝状。
在这样的结构中，能够使生成气体与催化剂充分接触，从而可以高效率地使生成气体分解。
其中，在本发明中，所谓“蜂窝状”指的是形成有多条流路的多孔结构，上述流路的开口形状可以作成三角形或者六角形等多角形，或者是圆形、楕圆形，波纹状等弯曲形状的合适形状。
此外，对于上述的本发明的热处理装置来说，优选生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂，催化基体形成有多条生成气体流路，其厚度在30mm以上80mm以下的范围内。
在这样的结构中，在能够使伴随着被加热物的加热而产生的生成气体充分氧化分解的同时，生成气体分解部件可以防止对生成气体的流动产生很大的抵抗。
上述的本发明的热处理装置优选构成为设置有使在生成气体分解部件中产生的分解气体返回到热风供给部件的循环流路。
在本发明的热处理装置中，通过在生成气体分解部件中使生成气体分解时所产生的分解热的影响，对分解气体或者处于生成气体分解部件附近的空气进行加热。因此，在本发明的热处理装置中，由生成气体的分解热而被加热的分解气体或者空气经由循环流路而被供给到热风供给部件。而且，分解气体或者空气的混合气体在热风供给部件内被加热，作成热风导入到加热室。
在本发明的热处理装置中，因为向热风供给部件供给预先由分解热所加热的分解气体或者空气，所以，为了使这些混合气体加热至规定温度并不需要很大的加热能力。因此，根据本发明，可以提供一种对被加热物的所需加热消耗较低的热处理装置。
本发明的热处理装置由于是对通过加热室并在生成气体分解部件中分解的分解气体再次进行加热而导入到加热室的，所以可以使室外气体的取入量抑制在最低。因此，根据本发明的热处理装置，使导入加热室的热风温度分布均匀化，可以使暴露于热风中的被加热物位置的温度分布的不均匀性抑制在最低限度。
在上述的本发明的热处理装置中，优选生成气体分解部件被设置在室外气体存在流入可能性的部位的生成气体的流动方向上游一侧。
在这样的结构中，可以将因室外气体而使生成气体冷却并成为升华物抑制在最低限度。
此外，在上述的本发明的热处理装置中，优选热风供给部件形成为对包含有在生成气体分解部件中产生的分解气体以及从外部导入的空气的混合气体进行加热，并能够向加热室进行供给的结构。
在本发明的热处理装置中，在生成气体分解部件产生的高温分解气体和假设比该分解气体温度更低的室外气体在预先混合的状态下，被导入到热风供给部件。因此，在本发明的热处理装置中，在导入到热风供给部件的时刻，由分解气体和室外气体构成的混合气体几乎不存在温度偏差。因此，根据本发明，难以产生在热风供给部件内的混合气体的加热不均匀，从而，可以使供给到加热室的热风的温度分布大体均匀化。
上述的本发明的热处理装置，可以合适地应用于在平板形的基板的表面上涂敷有规定液体的被加热物的加热中。
发明的效果根据本发明，可以提供一种结构比较简单、并可使因被加热物的热处理时所产生的有机气体的升华物的发生量以及热处理所需的耗电量抑制在最低限度的热处理装置。
图1是示出作为本发明一实施方式的热处理装置的正视图。
图2是示出图1所示的热处理装置的内部构造的一部分的剖视立体图。
图3是示出图1所示的热处理装置的内部构造的简要平面图。
图4(a)是概念地示出图1所示的热处理装置的热风供给部件和热风室之间位置关系的立体图，(b)是(a)所示的催化壁的A部放大图，(c)是对(b)所示的催化壁的主要部分的放大立体图。
图5是示意地示出在图1所示热处理装置内空气以及混合气体流的概念图。
图6是示出图1所示热处理装置的变形例的概念图。
符号说明5基板处理部，11空气调整部，12热处理室(加热室)，14热风供给部件，16空气合流部，17通风道，40催化壁(生成气体分解部件)，47贯通孔(流路)，48催化基体，49催化剂，70生成气体分解部件。
具体实施例方式
接着，参照附图的同时，对作为本发明的一实施方式的热处理装置加以详细地说明。图1是示出作为本发明的一实施方式的热处理装置的正视图。图2是示出图1所示的热处理装置内部构造的一部分的剖视立体图。图3是示出图1所示的热处理装置内部构造的简要平面图。图4(a)是概念地示出图1所示的热处理装置的热风供给部件和热处理室之间的位置关系的立体图，(b)是(a)所示出的催化壁的A部放大图，(c)是(b)所示出的催化壁主要部分放大的立体图。图5是示意地示出图1所示的热处理装置内的空气以及混合气体流的概念图。图6是示出图1所示的热处理装置的变形例的概念图。
在图1中，1是本实施方式的热处理装置。热处理装置1构成为在金属制的箱形主体盒2的下方设置有机器收容部3，在其上方设置有基板处理部5。机器收容部3内置有将电力供给到基板处理部5的电源装置(未图示)、以及控制基板处理部5的工作的控制装置(未图示)等。
基板处理部5，如图1和图2所示，在正面一侧具有用于由未图示的自控机械臂等载移装置来使基板W出入的换装口6，在背面一侧设置有维修时所使用的门7。在换装口6上安装有与汽缸8的动作连动而开闭的快门10。
基板处理部5，如图2和图3所示，在中心具有热处理室12(加热室)，作成为通过空气调整部11而包围其周围的结构。空气调整部11通过由隔热材料构成的周壁13a～13d来包围四周。空气调整部11用于将空气加热到规定温度并将其吹入到热处理室12内，同时，使从热处理室12排出的空气在上游一侧循环。
若进一步具体地说明，则如图2和图3所示，空气调整部11大体分为热风供给部件14、通风道17以及机器室18。热风供给部件14具有对空气等进行加热的加热功能、以及将加热的空气等送入到热处理室12内的送风功能。此外，在热风供给部件14和热处理室12的边界部分上设置有用于净化空气等的过滤器21。
在热风供给部件14附近，在热处理室12的正面一侧以及背面一侧，具有空气合流部16、16。空气合流部16、16分别与通风道17连通。空气合流部16具有将从室外气体导入口(未图示)导入的空气和从通风道17流入的气体进行合流，作为用于混合这些气体的预混合空间的功能。
通风道17是沿着形成热处理室12的大部分下游壁20b的催化壁40(生成气体分解部件)以及间隔壁41、43而形成的空间。通风道17是以包围热处理室12的周围的方式而配置的空气流路，，形成了使从热处理室12排出的空气返回到空气合流部16的空气流路。
热处理室12是由上游壁20a和下游壁20b，以及在相对其交叉的方向扩展的间隔壁41、43所包围的空间。上游壁20a、下游壁20b以及间隔壁41、43都具从基板处理部5的顶板45到底面46的高度。热处理室12经由构成上游壁20a的过滤器21的开口而与热风供给部件14连通。此外，下游壁20b的一部分或者全部由催化壁40构成，经由在催化壁40上设置的贯通孔47而与通风道17连通。
催化壁40，如图4(b)所示，以连续地形成有多个开口形状大体呈三角形的贯通孔47(流路)的、所谓的蜂窝状板体作成催化基体48。贯通孔47作为生成气体的流路而工作，如图4(c)所示，在形成贯通孔47的内壁面47a的表面上分散嵌镶并载持有多个粒子状的催化剂49。催化基体48的材料最好是以不锈钢系合金为主的金属材料，或者是如二氧化硅以及氧化铝等陶瓷材料那样的、即使在热处理室12内的环境温度下也能保持稳定的材料。此外，为了顺利地开始由在形成贯通孔47的内壁面47a上所载持的催化剂49而引起的氧化分解反应，优选催化基体48由热传导性高且热容量小的材料所制成。
对于催化基体48的开口形状来说，考虑到流路抵抗以及气体相对于载持的催化剂49的接触面积等，以多角形来取代如本实施方式所示的三角形，此外，作成圆形、椭圆形、波浪形等弯曲形状也是可以的。如果从相对于氧化分解反应的催化作用以及通风抵抗的观点出发，催化基体48的厚度(与图4的W相当)优选为30～80mm的程度。在本实施方式，催化基体48的厚度为50mm左右。因此，催化壁40相对于在热处理室12中所产生的生成气体而表现出充分的催化作用，并且对流经热处理室12内的热风不会形成很大的流路抵抗。
承载在催化基体48上的催化剂49用于促进从热处理室12排出的生成气体的氧化分解反应。在本实施方式中，采用铂(Pt)或者钯(Pd)等贵金属或者这些贵金属合金等的、相对于生成气体具有较高催化作用的物质来作为催化剂49。催化剂49相对于在热处理室12中所产生的生成气体，在大约150℃～200℃程度的温度环境下显示出催化活性，在热处理室12达到作为热处理(烧成)温度的230℃～250℃的状态下显示出充分的催化活性。
间隔壁41在相当于设置在基板处理部5上的换装口6的位置上具有开口50。开口50为了使基板W以及自控机械臂出入而被作成最低限度必要的大小和形状。开口50通过以包围开口50周围的方式而设置的防护壁51来与通风道17隔绝，同时，与换装口6连通。因此，流过通风道17内的气体不会经由开口50而侵入到热处理室12内，并且不会经由换装口6而向外部漏出。另一方面，间隔壁43被固定在相当于门7的位置上，构成为根据需要当进行维修等时而能够取出。
如图3所示，在热处理室12的大致中央部上配置有用于载置基板的载置架55。载置架55与公知的现有技术的热处理装置所采用的相同，具有沿着上下方向设置多层用于水平载置基板W的支持层64的结构。
在热处理室12内，如图2和图3所示，设置有用于测量环境温度的温度传感器68。温度传感器68被配置为其前端到达热处理室12的上游一侧的下方。热处理装置1构成为根据温度传感器68的检测温度来使未图示的控制装置反馈控制加热丝35的动作，将热处理室12内的温度调整为规定的温度(在本实施方式中为230～250℃)。
对于本实施方式的热处理装置1来说，在热处理时的气体的流动具有特征。以下，在参照图5所示的概念图的同时，以热处理时的气体流作为重点来对热处理装置1的工作加以说明。
在热处理开始之前，热处理装置1的控制装置(未图示)使构成热风供给部件14的未图示的送风机或者加热器等启动，将被加热的空气导入到热处理室12内。因此，在热处理装置1内，形成了空气流经热处理室12以及通风道17而返回到热风供给部件14的循环流。
如上述所示，当使空气在热处理装置1内进行循环的期间，在热风供给部件14内逐渐地对空气进行加热，使热处理室12内的环境温度达到规定的热处理温度(在本实施方式中为230℃～250℃)。此外，设置在热处理室12的下游端的催化壁40受到了在热处理装置1内循环的空气流等的影响而逐渐形成为高温，当在热处理室12内达到规定热处理温度时，在形成有贯通孔47的内壁面47a上所载持的催化剂49也达到了能够充分发挥催化作用的温度。
若热处理室12的环境温度达到了热处理温度，则配置在热处理装置1的外部的自控机械臂等移载装置上搭载有将要进行热处理的基板W。另一方面，热处理装置1使气缸8动作，从而使封闭换装口6的快门10打开。若快门10打开，则基板W通过自控机械臂而从换装口6水平地插入，并载置在各支持层64上。若基板W载置在载置架55的各支持层64上，则关闭快门10。
如上述所示，搭载在载置架55的支持层64上的基板W，暴露于在热处理室12内流动的热风来进行热处理(烧成)。若基板W进行热处理，则在表面上预先涂敷的溶液气化，从而在高温下产生有机性的生成气体。因此，若热处理开始，则包含有生成气体和空气的混合气体向热处理室12的下游一侧流动。
若包含有生成气体的混合气体到达催化壁40，则流入到在催化基体48上设置的多个贯通孔47内。如上述所示，因为在热处理室12内已经达到了规定的热处理温度，所以载持在催化基体48的内壁面47a上的催化剂49处于相对于生成气体能够充分发挥催化作用的状态。因此，若生成气体通过催化壁40，则因为通过载持在形成有贯通孔47的内壁面47a上的催化剂49而促进生成气体的氧化分解反应()，从而使生成气体分解成二氧化碳和水份。
上述的氧化分解反应伴随着反应热的发生而产生。因此，若在热处理装置1开始热处理，则通过催化壁40的混合气体因为随着生成气体的氧化分解反应的反应热，而在被加热的状态下被排出到通风道17内。将排出到通风道17的混合气体维持在高温状态，同时在基板处理部5的周壁13b、13d和热处理室12的间隔壁41、43之间形成的通风道17、17内流动。
流过通风道17、17的混合气体在维持高温状态的同时而流入形成于热风供给部件14的两侧的空气合流部16，与从热处理装置1的外部导入的室外气体预混合。因此，室外气体通过与混合气体之间的热交换而被进行某种程度的加热。室外气体以及混合气体在热风供给部件14中被加热到预定温度，并被导入到热处理室12内。热处理装置1按照上述顺序使被加热的混合气体在热处理室12内循环，并继续进行基板W的热处理。
如上述所示，在本实施方式的热处理装置1中，由于从热风供给部件14向热处理室12内供给的热风加热基板W而产生的大部分生成气体，被载持在催化壁40上的催化剂49氧化分解。这里，在本实施方式的热处理装置1中，由催化壁40形成了构成热处理室12的下游壁20b的一部分或者全部，同时，采用载持有催化活性相对于有机气体高的铂或者钯等贵金属以及贵金属合金来作为催化壁40。而且，催化壁40形成为采用具有多个贯通孔47的呈蜂窝状的部件作为催化基体48，在形成有各贯通孔47的内壁面47a上载持有催化剂49的结构。因此，流入催化壁40的大部分生成气体通过生成气体的分解而成为以产生的二氧化碳为主要成分的混合气体，所以生成气体的浓度极低。
此外，在热处理装置1中，由在催化壁40中使生成气体氧化分解时所产生的反应热，来对由催化壁40所分解的以二氧化碳为主要成分的混合气体进行加热，并形成高温。因此，在热处理装置1中，在热处理工作中流过通风道17的混合气体的温度较高，例如即使生成气体的一部分在生成气体分解部中未被分解而残留下来，也几乎不会产生升华物。
在热处理装置1中，在催化壁40中进行氧化分解并形成高温的混合气体流过通风道17，在热风供给部件14中与从外部新导入的室外气体混合。此外，热处理装置1是使通过热处理室12并在催化壁40中氧化分解的分解气体再次得到加热而加以利用的，混合气体的大半在装置内循环。因此，热处理装置1为了使供给到热处理室12的混合气体加热至规定温度，只需很少的必要的电力即可，能够在节省能源方面有所贡献。此外，在热处理装置1中，因为在空气合流部16中室外气体与混合气体预混合后被导入到热风供给部件14，所以从热风供给部件14导入到热处理室12的热风几乎不存在温度不均匀的情况，可以不存在偏差地对基板W进行加热。
如上述所示，混合气体因通过催化壁40而被氧化分解并被加热。因此，通过催化壁40之后的混合气体因混合气体的浓度分布或者通过催化壁40某个部位等主要因素而有可能产生规定的温度分布。根据这样的理解，在本实施方式的热处理装置1中，作成了将催化壁40配置在载置有基板W的载置架55的下游一侧的结构。即，对于热处理装置1来说，在进行热处理的地点的混合气体的流动方向的下游一侧的区域内配置催化壁40，在该区域进行氧化分解反应。因此，在本实施方式的热处理装置1中，暴露于基板W的热风的温度分布大体是均匀的，能够无偏差地对基板W进行加热。
如上述所示，对于热处理装置1来说，因为在热处理室12内产生的大部分生成气体在催化壁40中被分解，所以几乎不产生升华物。因此，对于热处理装置1来说，即使继续进行热处理工作也能够维持热处理装置1内的清净，同时，能够防止升华物在快门10或者门7打开的时候向热处理装置1的外部泄漏而污染清洁室等。此外，对于上述的热处理装置1来说，由催化壁40形成位于在基板W上产生的生成气体的流动方向下游一侧的下游壁20b的一部分或者全部，结构非常简单。
对于上述实施方式的热处理装置1来说，在构成热处理室12的下游一侧的壁面的下游壁20b上配置有催化壁40，然而本发明并不局限于此，例如，如图6所示，也可以构成为在通风道17的途中设置具有与催化壁40相同催化作用的生成气体分解部件70。在这种情况下，虽然生成气体分解部件70可以设置在通风道17途中的任何地点，但是，与门7等室外气体有可能流入的部位相比，优选设置在混合气体的流动方向的上游一侧。
此外，对于在上述实施方式中所采用的催化壁40来说，虽然是在蜂窝状的催化基体48的贯通孔47内载持有催化剂49，然而本发明并不局限于此，例如也可以采用在由具有金属网等通风性的原材料所制作的盒的内部充填粒状或者丸状的催化剂。在形成为这种结构情况下，也能够可靠地使伴随着基板W的热处理而产生的生成气体氧化分解。在上述实施方式中，因为采用在热处理(烧成)温度为230℃～250℃的环境温度下对生成气体显示出充分的催化活性的铂(Pt)或者钯(Pd)等贵金属或者这些贵金属合金的高价原材料作为催化剂49，所以催化壁40有变得高价的倾向。因此，如果根据热处理时生成的生成气体浓度而使载持在催化壁40上的催外剂49的载持量为最佳化，则可以降低催化剂49的载持量，从而可以进一步降低热处理装置1的制造成本。
权利要求
1.一种热处理装置，其特征在于包括供给热风的热风供给部件、以及导入在该热风供给部件中产生的热风并通过该热风来对被加热物进行加热的加热室，在伴随着被加热物的加热而产生的生成气体流动区域内，配置有使所述生成气体氧化分解的生成气体分解部件。
2.一种热处理装置，其特征在于包括供给热风的热风供给部件、以及导入在该热风供给部件中产生的热风并通过该热风来对被加热物进行加热的加热室，在该加热室的内部具有配置被加热物的被加热物配置区域，在该被加热配置区域的热风的流动方向下游一侧，在伴随着被加热物的加热而产生的生成气体流动的区域内，配置有使所述生成气体氧化分解的生成气体分解部件。
3.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于加热室由与热风供给部件连通的上游壁、与其相对的下游壁、以及在相对于上游壁和下游壁交叉方向扩展的间隔壁所包围，下游壁的一部分或者全部由生成气体分解部件所构成。
4.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂。
5.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于生成气体分解部件在催化基体上载持有包含贵金属或者贵金属合金的催化剂。
6.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂，催化基体形成有多条生成气体流路并呈蜂窝状。
7.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于生成气体分解部件在催化基体上载持有促进生成气体氧化分解的催化剂，催化基体形成有多条生成气体流路，其厚度在30mm以上80mm以下的范围内。
8.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于设置有使在生成气体分解部件中产生的分解气体返回到热风供给部件的循环流路。
9.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于生成气体分解部件被设置在室外气体存在流入可能性的部位的生成气体的流动方向上游一侧。
10.根据权利要求1或者2所述的热处理装置，其特征在于热风供给部件对包含有在生成气体分解部件中产生的分解气体以及从外部导入的空气的混合气体进行加热，并能够将其向加热室进行供给。
11.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于被加热物在平板状的基板的表面上涂敷有规定的液体。
全文摘要
本发明的目的是提一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置(1)包括具有用于向基板处理部(5)供给热风的热风供给部件(14)的空气调整部(11)、以及用于对基板进行热处理的热处理室(12)。热处理装置(1)配置有催化壁(40)，载持有促进在热处理室(12)的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂。因此，热处理装置(1)因冷却生成气体而产生的所谓的升华物的产生量极低。此外，由于在生成气体氧化分解时会产生反应热，所以热处理装置(1)在热处理时加热混合气体只需很少的耗电量。
文档编号F27B5/00GK1737478SQ200510080728
公开日2006年2月22日 申请日期2005年6月30日 优先权日2004年6月30日
发明者矢坂正男 申请人:爱斯佩克株式会社