专利名称：热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对被处理件进行热处理的热处理装置。
背景技术：
以往，公知的热处理装置，是在装有被处理件的热处理部分内，通 过使空气进行循环，加热所述被处理件，对该被处理件进行热处理。
这样的热处理装置常用于例如FPD (平板显示器)制造工序中的光 刻胶和有机薄膜的预烘干工序和后烘干工序。在这些工序中，在对由玻 璃基板等构成的被处理件进行热处理的过程中，光刻胶等材料中所含有 的挥发性成分会气化，产生大量的升华物质，这种升华物质再结晶后， 会产生飞散或附着在热处理装置周围的问题。
作为这种问题的对策，例如，在特开平10-141868号公报中记载了 以下方案吸入外部空气，用加热器进行加热之后，在送入所述热处理 部分内的同时，通过把所述热处理部分内的空气排出去，对所述热处理 部分的内部进行换气。通过这样的换气，就能抑制升华物质的再结晶和 向热处理装置周围附着。
可是，在所述的换气过程中，为所吸入的外部气体加热，需要非常 多的电力，将使整个热处理装置的耗电增加。
发明内容
本发明的目的是提供一种解决上述问题的热处理装置。
本发明的另一个目的是提供一种能使整个热处理装置的耗电降低的 热处理装置。
具体说，本发明的热处理装置包括热处理部件，在被处理件装在 热处理部分内的状态下，通过使所述热处理部分内的空气边循环边加热， 对所述被处理件进行热处理；以及换气装置，通过把外部气体加热后送入到所述热处理部分内，并且把所述热处理部分内的空气排出，对所述 热处理部分内部进行换气，其特征在于，还包括换气量调整装置，使所 述换气装置的换气量在所述热处理部件不对被处理件进行热处理时，比 所述热处理部件对被处理件进行热处理时减少。
此外，本发明的热处理装置包括热处理部分，可以装入被处理件； 加热装置，对空气进行加热，使所述热处理部分内的温度达到能对所述 被处理件进行热处理的温度；以及换气装置，对所述热处理部分内部进 行换气，其特征在于，还包括换气量调整装置，使所述换气装置的换气 量在对所述被处理件进行热处理以外的时间里，比进行热处理时减少。
此外，本发明的热处理装置包括热处理部分，可以装入被处理件； 加热装置，对空气进行加热，使所述热处理部分内的温度达到能对所述 被处理件进行热处理的温度；以及换气装置，对所述热处理部分内部进 行换气，其特征在于，还包括换气量调整装置，在所述被处理件的热处 理结束后，使所述换气装置的换气量减少。
图1是本发明第一实施方式的热处理装置的简要结构图。
图2是第一实施方式的换气量调整装置的框图。
图3是第一实施方式的热处理装置的时序图。
图4是本发明第二实施方式的热处理装置的简要结构图。
图5是第二实施方式的换气量调整装置的框图。
图6是第二实施方式的热处理装置的时序图。
图7是变形例的时序图。
图8是第三实施方式的热处理装置的时序图。
具体实施例方式
下面，参照附图详细说明用于实施本发明的优选实施方式。
图1是本发明第一实施方式的热处理装置1A的结构图。这种热处
理装置1A用于FPD的制造工序中，是设置在净化室内的所谓净化烘箱。
所述热处理装置1A具有装置主体2，装置主体2具有由绝热壁包围 着的空间构成的绝热室20。绝热室20的内部用隔壁24隔成左右两部分。 隔壁24左侧的部分为热处理部分21，隔壁24右侧部分为空调部分23。 在隔壁24上形成开口，在此开口中设置过滤器31。通过这个开口可以让 气体流通。此外，图中虽没有表示，但在装置主体2中还设有连通热处 理部分21内部与空调部分23内部的连通通道。
在所述热处理部分21内部设有工件支承部分22，它可以把多个被 处理件W (以下简称为工件)支承成上下并排的状态。而且，工件W以 支承在该工件支承部分22上的状态装入热处理部分21内。工件W例如 是玻璃基板等。
在所述空调部分23中设有加热器32和送风机33。作为加热装置的 加热器32由于通电而产生热量(焦耳热)，对空调部分23内的空气加 热。送风机33使空调部分23内的空气通过过滤器31后，送入热处理部 分21内。然后，当用送风机33把空气送入热处理部分21内时，热处理 部分21内的空气便通过图中未表示的连通通道返回空调部分23内。返 回到空调部分23内的空气，再一次用加热器32加热。这样，热处理部 分21内的空气在与空调部分23之间进行循环的同时进行加热，于是就 对装在热处理部分21内的工件W进行了热处理。g卩，加热器32和送风 机33通过使热处理部分21内的空气边进行循环边进行加热，从而构成 了对工件W进行热处理的热处理部件3。此外，加热器32能把在热处理 部分21和空调部分23之间循环的空气加热到能对工件W进行热处理的 温度。
此外，加热器32不是只在对工件W进行热处理时才工作，在非热 处理时间里也工作。即，即使在没有把工件W装在热处理部分21内时， 也要让加热器32预先进行工作，由此使热处理部分21内的温度能保持 在规定的温度。
吸气管道41连接在所述空调部分23上，排气管道42连接在所述热 处理部分21上。在排气管道42的中段设有风扇(也称为鼓风机)43。
然后，当风扇43工作时，热处理部分21内的空气便通过排气管道42排 出，同时外部气体随之从吸气管道41吸入，并送到空调部分23中。送 到空调部分23内的外部气体，用加热器32进行加热后，通过过滤器31 送到热处理部分21内。这样，就对热处理部分21内部进行了换气。艮P， 吸气管道41、排气管道42、风扇43和加热器32，在把外部气体加热后 送到热处理部分21内的同时，排出热处理部分21内的空气，从而构成 对热处理部分21内部进行换气的换气装置4。而且，加热器32是该换气 装置4和所述的热处理部件3共同使用的。此外，换气装置也可以由吸 气管道41、排气管道42和风扇43构成，加热器32仅仅作为热处理部件 3的一个要素使用。
所述吸气管道41具有导入外部气体的一根导入管道41c，以及从该 导入管道41c分路的两根流入管道41a、 41b。外部气体通过两根流入管 道41a、 41b流入到空调部分23内。此外，也可以不设置导入管道41c， 而由流入管道41a、 41b直接导入外部气体。
在所述流入管道41a、 41b中的一根(图l中的下侧)流入管道41a 中，设有调整风量用的手动调节风门44A，在另一根(图1中的上侧) 流入管道41b中，设有调整风量用的自动调节风门51A。
所述排气管道42具有使热处理部分21内的空气流出的两根流出管 道42a、 42b，以及把在这两根流出管道42a、 42b中流动的空气汇集后向 外部导出的一根导出管道42c。此外，在导出管道42c的中段设有所述风 扇43。
在所述流出管道42a、 42b中的一根(图1中的右侧)流出管道42a 中，设有调整风量用的手动调节风门44B，在另一跟(图1中的左侧) 流出管道42b中，设有调整风量用的自动调节风门51B。
设置在所述流入管道41b中的自动调节风门51A，和设置在所述流 出管道42b中的自动调节风门51B，构成了图2所示的换气量调整装置 5A。该换气量调整装置5A除了具有自动调节风门51A、 51B以外，还 具有用于调整自动调节风门51A、 51B开度的调节风门控制部分52。
所述调节风门控制部分52控制自动调节风门51A、 51B的驱动，以使当所述热处理部件3不对工件W进行热处理时，比对工件W进行热 处理时减少换气装置4的换气量。下面参照图3所示的时序图，具体说 明调节风门控制部分52所进行的控制。
首先，在没有把工件W送入热处理部分21内时，调节风门控制部 分52向关闭流入管道41b和流出管道42b的方向驱动自动调节风门51A、 51B，使自动调节风门51A、 51B成为全关闭状态。此时的换气量只要能 使热处理部分21内的静压保持不变就可以了，而手动调节风门44A、44B 的开度设定为可以确保这样的换气量的程度。此外，此时的自动调节风 门51A、 51B不是一定要处于全部关闭的状态。即，利用与手动调节风 门44A、 44B的关系，可以让流入管道41b或流出管道42b处于稍稍打 开的状态。
在把工件W送入热处理部分21内的时候，调节风门控制部52便向 打开流入管道41b和流出管道42b的方向驱动自动调节风门51A、 51B。 此时，为了防止热处理部分21内的空气温度紊乱，调节风门控制部52 要在规定的时间(例如IO分钟)里，慢慢地使自动调节风门51A、 51B 成为全开的状态。 一旦把工件W送入热处理部分21内，就开始用热处 理部件3进行工件W的热处理。伴随着热处理，挥发成分开始从工件W 蒸发出来，但由于热处理刚开始，它的生成量很少，所以这样也没有问 题。
这里，所谓把工件W送入热处理部分21内的时刻，是指设置在热 处理装置内检测有无工件的例如光电传感器(图中没有表示)之类的工 件检测装置，检测到工件W的时刻。此外，在热处理装置1A组装在FPD 制造工序的生产线上的情况下，也可以从图外的上游装置等得到工件送 入的信号。此外，在这种情况下，也可以如图3中箭头a所示，在把工 件送入的规定时间之前就从上游装置等得到信号，如图3中双点划线所 示，在工件W实际送入的时刻之前，就开始驱动自动调节风门51A、 51B。
在把工件W送入热处理部分21内部并经过规定时间之后，到把工 件W从热处理部分21送出的期间内，调节风门控制部分52保持在让自 动调节风门51A、 51B全部打开的状态，以确保规定的换气量。
在由热处理部件3进行的工件W的热处理结束之后，把工件W从
热处理部分21取出来，在把工件W从热处理部分21取出并经过规定的
时间后，换句话说，从所述工件检测装置检测到没有工件时开始经过规
定的时间后，调节风门控制部52便向关闭流入管道41b和流出管道42b 的方向驱动自动调节风门51A、 51B，使自动调节风门51A、 51B成为全 关闭状态。此时，为了防止热处理部分21内的空气温度紊乱，或为了把 残留在热处理部分21内的含有挥发成分的空气排出，调节风门控制部分 52要在规定的时间(例如IO分钟)内，使自动调节风门51A、 51B处于 全闭状态。即，在工件W不进行热处理时候的换气量，要比工件W进 行热处理时候的换气量少。此外，也可以根据挥发成分的生成量，在工 件W从热处理部分21中取出来的同时，开始驱动自动调节风门51A、 51B。
这样，在第一实施方式的热处理装置1A中，由于用换气量调整装 置5A抑制非热处理时的换气量，所以在非热处理时，减少了加热器32 用于加热外部气体所需要的电力，从而能降低整个热处理装置的电力消耗。
此外，在第一实施方式中，表示的是分别设置两根流入管道41a、 41b和流出管道42a、 42b，但如果采用带窄缝的调节风门作为自动调节 风门51A、 51B，则可以省掉一根流入管道41a和一根流出管道42a以及 手动调节风门44A、 44B。
下面，参照图4 图6说明本发明第二实施方式的热处理装置1B。 此外，凡是与第一实施方式相同的构成部分都采用同样的附图标记，并 省略其说明。
在第二实施方式的热处理装置1B中，吸气管道41和排气管道42 都分别用一根管道构成，在这两根吸气管道41和排气管道42中，设有 手动调节风门44A、 44B。
热处理装置1B具有换气量调整装置5B，它能使热处理部件3不对 工件W进行热处理时比热处理部件3对工件W进行热处理时减少换气 装置4的换气量。这种换气量调整装置5B具有控制风扇43转速的风扇控制部分53。
如图6所示，所述风扇控制部分53在没有把工件W送入到热处理 部分21内时，使风扇43保持在低转速，在把工件W送入到热处理部分 21内时，在规定的时间(例如IO分钟)内，使风扇43的转速逐渐增大。
此外，与第一实施方式相同，所谓把工件W送入热处理部分21内 的时刻，是指设置在热处理装置内检测有无工件的例如光电传感器(图 中没有表示)之类的工件检测装置，检测到工件W的时刻。此外，在热 处理装置1B组装在FPD制造工序的生产线上的情况下，也可以从上游 装置等得到工件送入的信号，还可以在把工件送入的一定时间之前从上 游装置等得到信号，以便从工件W实际送入之前就开始增加风扇43的 转速。
当把工件W送入热处理部分21中时，就开始用热处理部件3进行 工件W的热处理，在把工件W送入热处理部分21内，并经过规定的时 间之后，到把工件W从热处理部分21取出来之前的期间里，风扇控制 部分53保持风扇43的转速，以确保规定的换气量。
在由热处理部件3所进行的工件W的热处理结束之后，把工件W 从热处理部分21中取出来，风扇控制部分53在工件W从热处理部分21 取出来并经过一定时间之后，在规定的时间(例如IO分钟)内使风扇43 的转速逐渐降低。此外，与第一实施方式相同，也可以在把工件W从热 处理部分21取出来的同时，使风扇43的转速降低。
这样，就能获得与第一实施方式相同的效果。
此外，如图7所示，在没有把工件W送入到热处理部分21中时， 风扇控制部分53便使风扇43停止，或者，也可以在把工件W送入到热 处理部分21之前，使风扇43以低转速转动。或者，如图7中的双点划 线所示，也可以在把工件W送入热处理部分21之前，使风扇43停止， 一旦送入工件W,就驱动风扇43。
下面，说明本发明第三实施方式的热处理装置。这种热处理装置的 图省略了，但它是在第一实施方式的热处理装置1A中的换气量调整装置 5A上，增加第二实施方式的风扇控制部分53。即，换气量调整装置5A 包括调节风门控制部分52和风扇控制部分53。
如图8所示，这样的热处理装置，可以对自动调节风门51A、 51B 和风扇43进行单独控制，也可以进行关联控制。例如，可以同时驱动风 扇43和打开自动调节风门51A、 51B，或在时间上错开双方的驱动。
此外在第一 第三实施方式中，也可以在换气装置的吸气管道41的 中段另外设置加热器，而把吸气管道41直接连接在热处理部分21上。
下面，说明本实施方式的要点。
(1) 在本实施方式中，由于利用换气量调整装置抑制非热处理时的 换气量，所以可以减少非热处理时换气装置用于加热外部气体所需要的 电力，从而能降低热处理装置整体的电力消耗。
(2) 在本实施方式中，所述换气装置具有吸入外部气体的吸气管道 和排出所述热处理部分内的空气的排气管道，所述换气量调整装置，具 有分别设置在所述吸气管道和排气管道中的调整风量用的自动调节风门 以及调节风门控制部分。该调节风门控制部分在所述热处理部件对被处 理件进行热处理时，向打开所述吸气管道和排气管道的方向驱动所述自 动调节风门，在所述热处理部件不对被处理件进行热处理时，向关闭所 述吸气管道和排气管道的方向驱动所述自动调节风门。
(3) 在本实施方式中，所述换气装置具有排出所述热处理部分内的 空气的排气管道以及设置在所述排气管道中段的风扇，所述换气量调整 装置具有风扇控制部分，该风扇控制部分在所述热处理部件对被处理件 进行热处理时，使所述风扇的转速增加，而在所述热处理部件不对被处 理件进行热处理时，使所述风扇的转速降低。
(4) 在本实施方式中，具有与所述热处理部分隔开的空调部分，所 述热处理部件一边使所述热处理部分内的空气在与所述空调部分之间进 行循环， 一边对它进行加热。
(5) 在本实施方式中，借助于换气量调整装置抑制非热处理时的换 气量，所以可以减少非热处理时用于加热外部气体所需要的电力，从而 能降低整个热处理装置的电力消耗。
权利要求
1.一种热处理装置，包括热处理部件，在被处理件装在热处理部分内的状态下，通过使所述热处理部分内的空气边循环边加热，对所述被处理件进行热处理；以及换气装置，通过把外部气体加热后送入到所述热处理部分内，并且把所述热处理部分内的空气排出，对所述热处理部分内部进行换气，其特征在于，还包括换气量调整装置，使所述换气装置的换气量在所述热处理部件不对被处理件进行热处理时，比所述热处理部件对被处理件进行热处理时减少。
2. 根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述换气装置具有吸入外部气体的吸气管道、以及把所述热处理部分内的空气排出的排气管道；所述换气量调整装置具有调整风量用的自动调节风门，分别设置在所述吸气管道和排气管道中；以及调节风门控制部分，在所述热处理部件对被处理件进行热处理 时，向打开所述吸气管道和排气管道的方向驱动所述自动调节风门，在 所述热处理部件不对被处理件进行热处理时，向关闭所述吸气管道和排 气管道的方向驱动所述自动调节风门。
3. 根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于， 所述换气装置具有把所述热处理部分内的空气排出的排气管道、以及设置在所述排气管道中段的风扇；所述换气量调整装置具有风扇控制部分，在所述热处理部件对被处 理件进行热处理时，使所述风扇的转速增加，在所述热处理部件不对被 处理件进行热处理时，使所述风扇的转速降低。
4. 根据权利要求1至3中任意一项所述的热处理装置，其特征在于， 还包括与所述热处理部分隔开的空调部分， 所述热处理部件一边使所述热处理部分内的空气在与所述空调部分 之间进行循环， 一边对空气进行加热。
5. —种热处理装置，包括热处理部分，可以装入被处理件；加热 装置，对空气进行加热，使所述热处理部分内的温度达到能对所述被处 理件进行热处理的温度；以及换气装置，对所述热处理部分内部进行换 气，其特征在于，还包括换气量调整装置，使所述换气装置的换气量在对所述被处理 件进行热处理以外的时间里，比进行热处理时减少。
6. —种热处理装置，包括热处理部分，可以装入被处理件；加热 装置，对空气进行加热，使所述热处理部分内的温度达到能对所述被处 理件进行热处理的温度；以及换气装置，对所述热处理部分内部进行换 气，其特征在于，还包括换气量调整装置，在所述被处理件的热处理结束后，使所述 换气装置的换气量减少。
全文摘要
本发明提供一种热处理装置，其包括热处理部件，在把被处理件装入到热处理部分内的状态下，通过使所述热处理部分内的空气边循环边加热，来对所述被处理件进行热处理；换气装置，通过把外部气体加热后送入到所述热处理部分内，并且把所述热处理部分内的空气排出，对所述热处理部分内部进行换气；以及换气量调整装置，使所述换气装置的换气量在所述热处理部件不对被处理件进行热处理时比所述热处理部件对被处理件进行热处理时减少。这种热处理装置能降低整个热处理装置的电力消耗。
文档编号F27D7/00GK101173840SQ20071014586
公开日2008年5月7日 申请日期2007年9月4日 优先权日2006年9月13日
发明者长野由龟雄 申请人:爱斯佩克株式会社