专利名称：一种工件干燥装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及到工件的干燥装置，尤其涉及一种对硅块、硅料等工件的干燥装置。
背景技术：
在对工件比如硅块、硅料清洗后，需要再对其进行干燥，为使硅块、硅料等工件快 速干燥并保证在干燥过程中不被二次污染，现有的技术都不能达到快速干燥且不被二次污 染，现有的干燥是将清洗后的工件通过循环吹热空气或氮气实现，由于循环使用的空气或 氮气中有很多尘埃等其它杂质还会再次污染清洗后的工件，对于要求高的工件来说是不允 许有任何污染的。 因此，如何实现工件在干燥中不被二次污染是业内亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型是要解决现有的工件清洗装置不能快速干燥清洗后的工件及在干燥
中会被二次污染的技术问题，提供一种能快速干燥且不会被二次污染的装置。 为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种工件干燥装置，包括容
器和容器内的工件篮，其中所述容器是密闭的容器，该容器上设置有密封盖和真空释放压
力的开关，设置有一抽真空的真空泵与该容器连接，该容器内还设置有多个加热器。 所述加热器为陶瓷红外加热器，密封盖与一驱动气缸连接，一真空压力表与该容
器连接，真空泵与容器之间通过真空波纹管连接，容器上还设置有一气体进入管，该管上设
置有密封开关，所述工件篮放置在两条平行的转轴上，一电动马达与该转轴通过链轮链条连接。 与现有技术相比，本实用新型的容器是密闭的容器，通过抽真空的真空泵将容器 抽成真空，旋转装置带动工件篮上转动，容器内设置有加热器，清洗后的硅块、硅料等工件 在工件篮内转动，工件在真空状态下旋转并被加热，使水分迅速蒸发，干燥快速且在干燥过 程中不会被二次污染，干燥完成后，通过用高纯度的氮气等气体通过容器上设置的气体进 入管充气，减压开盖，保证工件洁净。
以下结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中
图1是本实用新型一实例的连接示意图。
具体实施方式如
图1所示的工件干燥装置，包括容器1和容器内的工件篮2，容器1是密闭的真 空容器，该容器上设置有密封盖3和真空释放压力的开关4，密封盖3是由一驱动气缸打开 和关闭，这样可以使密封盖更加密闭，真空释放压力的开关4与外界相接，可以通过此开关来控制容器内部的压力，用一抽真空的真空泵5将容器1内的空气抽出，使容器成为真空容 器，使硅块、硅料等工件在干燥过程中不被空气的杂质污染，在真空泵5与容器之间连接有 真空波纹管，使连接头可以运动而又不会破坏密封状态，容器1内设置的多个加热器6为陶 瓷红外加热器，通过加热器使工件上的水能快速蒸发，容器1还设置有一真空压力表7，该 真空压力表7可以观察内的压力等情况，根据容器内的情况来控制其压力。 工件篮2放置在容器1内水平设置的两条平行的转轴9上，外部的一电动马达10 与转轴9通过链轮链条连接，电动马达10转动时工件篮2被带动快速旋转其内的工件也同 时快速旋转，工件上的水被甩掉并使水分迅速蒸发，结合上述的加热器，清洗后的工件能快 速干燥。 在容器1上还设置有一条气体进入管8，并在管上设置有一密封开关81，在抽真空 时此开关是关闭的，当工件干燥后，通过此气体进入管8通入高纯度的氮气或其它稀有气 体充气减压开盖，可保证了工件不直接与外部空气接触，同时减少外界对真空容器的压力， 使硅块、硅料等工件不被二次污染，保证工件洁净。 以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术 人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的 范围之内。
权利要求一种工件干燥装置，包括容器(1)和容器内的工件篮(2)，其特征在于所述容器(1)是密闭的容器，该容器上设置有密封盖(3)和真空释放压力的开关(4)，设置有一抽真空的真空泵(5)与该容器连接，该容器内还设置有多个加热器(6)。
2. 根据权利要求1所述的工件干燥装置，其特征在于所述加热器(6)为陶瓷红外加 热器。
3. 根据权利要求2所述的工件干燥装置，其特征在于所述密封盖(3)与一驱动气缸 连接。
4. 根据权利要求3所述的工件干燥装置，其特征在于设置有一真空压力表(7)与该 容器连接。
5. 根据权利要求4所述的工件干燥装置，其特征在于所述真空泵(5)与容器之间通 过真空波纹管连接。
6. 根据权利要求1至5任一项所述的工件干燥装置，其特征在于所述容器(1)上还设置有一气体进入管(8)，该管上设置有密封开关(81)。
7. 根据权利要求6所述的工件干燥装置，其特征在于所述工件篮(2)放置在两条平 行的转轴(9)上，一电动马达(10)与该转轴通过链轮链条连接。
专利摘要本实用新型公开了一种工件干燥装置，包括容器和容器内的工件篮，所述容器是密闭的容器，并在其上设置有密封盖和真空释放压力的开关，一抽真空的真空泵与该容器连接，在容器内设置有多个加热器，密封盖与一驱动气缸连接，所述容器上设置有一气体进入管，该管上设置有密封开关，工件篮放置在两条平行的转轴上。清洗后的工件在真空状态下随工件篮一起旋转并被加热器加热，使水分能迅速蒸发，干燥快速且不会被空气二次污染，保证了工件洁净。
文档编号F26B7/00GK201488477SQ200920134788
公开日2010年5月26日 申请日期2009年8月14日 优先权日2009年8月14日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司