技术总结
本发明涉及脉动热管，特指一种具有微/纳复合结构的硅基微型脉动热管。所述微型脉动热管由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片键合而成，所述硼硅酸玻璃片上加工有抽真空/注液孔；所述抽真空/注液孔与半导体硅片上的抽真空/注液微槽道的顶端位置相对应，所述半导体硅片上刻蚀有若干微槽道，所述微槽道表面为碳纳米管束形成的微/纳复合结构。本发明克服了普通微型脉动热管蒸发段易发生“烧干”现象和启动温度过高、启动时间过长等不足，通过改变脉动热管通道截面尺寸和微槽道表面碳纳米管束的形状等可实现提高热管冷却温控性能和承载热负荷的能力。
技术研发人员：屈健;孙芹;袁建平;张若梅;杨学贵
受保护的技术使用者：江苏大学
文档号码：201611150519
技术研发日：2016.12.14
技术公布日：2017.05.10