一种真空高温炉的制作方法

文档序号:12766390阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空高温炉,包括坩埚(2),设置在坩埚(2)下方并环向设置在坩埚(2)外侧的保温层,以及设置在保温层顶部的保温盖(1);其特征在于,所述坩埚(2)与保温层之间设有隔热屏(3),该隔热屏(3)的内侧面为反射面。

2.根据权利要求1所述的真空高温炉,其特征在于,所述高温炉的炉体(10)内设有位于保温层外侧的感应线圈(6)。

3.根据权利要求1所述的真空高温炉,其特征在于,所述隔热屏(3)有多层,优选为3-12层。

4.根据权利要求3所述的真空高温炉,其特征在于,所述隔热屏层与层之间的间距为5mm-50mm,优选为10mm-20mm。

5.根据权利要求1所述的真空高温炉,其特征在于,所述隔热屏(3)由多个弧面元件彼此绝缘排列而整体呈环形,相邻两个弧面元件之间间距为10mm-100mm。

6.根据权利要求1-5之一所述的真空高温炉,其特征在于,所述隔热屏(3)的顶部通过固定夹(12)安装在固定于保温层顶部上的固定架(11)上,该隔热屏(3)的底部通过固定夹固定在保温层底部。

7.根据权利要求6所述的真空高温炉,其特征在于,所述固定夹为U型或V型。

8.根据权利要求1-5之一所述的真空高温炉,其特征在于,所述坩埚(2)的底部通过支柱(7)设置在保温层底部上方。

9.根据权利要求1-5之一所述的真空高温炉,其特征在于,所述坩埚(2)与保温盖(1)之间、坩埚(2)与保温层底部之间均设有保温材料(8)。

10.根据权利要求1-5之一所述的真空高温炉,其特征在于,所述保温层包括高温保温层(4)和低温保温层(5);优选高温保温层为氧化锆层,低温保温层为氧化铝层。

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