基板快速均温装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是有关于一种基板快速均温装置，尤指一种可使其气流孔吹出的气流以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低玻璃基板中心降温不均所产生的制程误差，进而使本实用新型达到提升产品良率的功效。
【背景技术】
[0002]常见使用于显示器的玻璃基板，其于显示器制造中某些制程，如曝光、涂布、测长、贴合制程等，会因玻璃基板本身的温度不正确或是温度不均，使得基板产生热胀冷缩现象而产生尺寸偏差、导致制程良率下降的问题。因此于前述对于温度变化较敏感的制程，会特别关切玻璃基板本身的均温性以及温度正确性，常见显示器制程设定温度为23°C ;且要求于上述制程中，玻璃本身的温度误差需控制在±0.2或±0.1°C以内；目前对玻璃均温习用的作法为对玻璃本身吹送一经过温控的清净空气，此空气对基板的作用可为降温或升温，视玻璃本身送至控制气流时的温度是高于或是低于设定温度本身而定，本文中以降温为例，在实际应用中，对于升温或是降温皆有相同的功效。对此，中国台湾专利第1431229号揭露了一种「清净室」，请参阅图1，其包含一空调机10、一循环路11、一高性能过滤器12、至少一给气室13、至少一喷嘴板14、一清净室15以及一基板17，该给气室13连接该高性能过滤器12，且该高性能过滤器12经由该循环路11与该空调机10连接，该喷嘴板14设置于该给气室13下方，且该喷嘴板14具有多个喷嘴140，且该清净室15具有一清净区域16。
[0003]前述「清净室」的揭露，基于此一技术方案虽可使该清净区域16内的该喷嘴板14输出清净空气，且可以自由地选用从该喷嘴板14的该等喷嘴140吹出温控过的清净空气与能调整其风速以及到达距离，其中，当该基板17运送于该清静区域16的该等喷嘴140下方时，其该等喷嘴140为朝下的设置，故请继续参阅图2与图3，其中将进行该基板17的25°C下降至23°C的降温制程，其中曲线为该基板17降温时的中心周围温度，藉由该空调机10的马力输送清净空气至该给气室13，再经由该喷嘴板14向下输送一垂直气流18，该垂直气流18触碰到该基板17以将该基板17的热能带离，但其中由于该垂直气流18触碰到该基板17时，该垂直气流18与该基板17中心周围之间将形成一中心涡流19，该基板17中心周围温度由第I秒至第39秒的时间内，还是无法完整将该基板17中心周围温度降至需求的23°C，由于制程容许降温时间通常低于此时间，此一问题将造成该基板17产生温度不均而导致后续制程的误差，将使产品良率降低。是故，如何针对上述缺失加以改进，即为本案申请人所欲解决的技术困难点所在。
【实用新型内容】
[0004]有鉴于现有的清净室，其利用垂直的喷嘴来输出温控后的清净空气以给予基板作散热，因垂直气流容易产生中心涡流，使其基板无法有效均匀散热，而在基板上产生温度不均，因此本实用新型的目的在于发展一种快速降低玻璃基板中心温度的均温装置。
[0005]为达成以上的目的，本实用新型提供一种基板快速均温装置，其包含:一空调机；一给气室，该给气室经由一循环管路与该空调机相连接，该给气室设置于一无尘室的顶棚或其他适当位置，该给气室内设有一容置空间，且该给气室下方设有一开口 ；以及至少一个气流板，该气流板固设于该给气室下方的该开口处，该气流板上设有多个气流孔，且该每一气流孔与该气流板之间具有一夹角，该夹角的角度小于90度，且该每一气流孔两端分别于该气流板的上表面与下表面形成一进气口与一出气口。
[0006]其中，该多个气流孔为圆柱状、椭圆柱状、长条板状或四边形长柱状，且更具有至少一个滤网，固设于该给气室的该容置空间内。
[0007]藉由本实用新型采用该气流板的该多个气流孔，且该多个气流孔与该气流板的该夹角角度小于90度，其效益在于:避免由该多个气流孔流出的调温清净空气触碰到玻璃基板时产生其空气涡流，使得清净空气能同时顺着一方向流动，将不产生空气涡流，使其迅速将玻璃基板上的热能带离，可达到快速均温，进而使本实用新型可达到提升产品良率的功效。
【附图说明】
[0008]图1为习用的整体图；
[0009]图2为习用的风向示意图；
[0010]图3为习用的基板中心周围温度降温示意图；
[0011]图4为本实用新型第一较佳实施例的整体图；
[0012]图5为本实用新型第一较佳实施例的部分立体示意图；
[0013]图6为本实用新型第一较佳实施例的风向示意图；
[0014]图7为本实用新型第一较佳实施例的玻璃基板中心周围温度降温示意图；
[0015]图8为本实用新型第二较佳实施例的部分立体示意图；
[0016]图9为本实用新型第三较佳实施例的部分立体示意图；
[0017]图10为本实用新型第四较佳实施例的部分立体示意图。
[0018]附图标记说明:
[0019]〔习用〕
[0020]10-空调机；11_循环路；12_高性能过滤器；13_给气室；14_喷嘴板；140_喷嘴；15-清净室；16_清净区域；17_基板；18_垂直气流；19_中心涡流；
[0021]〔本实用新型〕
[0022]20-空调机；21-给气室；210-容置空间;211_开口 ;22_滤网；23_孔板；230-气流孔；2301-进气P ；2302-出气口 ;231_夹角；24~无尘室;25_循环管路;26_倾斜气流；27-玻璃基板。
【具体实施方式】
[0023]为使贵审查委员能清楚了解本实用新型的内容，仅搭配【附图说明】如下，敬请参阅。
[0024]请参阅图4与图5所示，本实用新型提供一种基板快速均温装置，其包含:一空调机20、一给气室21以及至少一个气流板23。
[0025]该给气室21经由一循环管路25与该空调机20相连接，该给气室21设置于一无尘室24的顶棚或其他适当位置，该给气室21内设有一容置空间210，且该给气室21下方设有一开口 211。于本实施例中，更具有至少一个滤网22，固设于该给气室21的该容置空间210内，以作为过滤外部空气成为清净空气。
[0026]该气流板23固设于该给气室21下方的该开口 211处，该气流板23上设有多个气流孔230，且该每一气流孔230与该气流板23之间具有一夹角231，又该夹角231的角度小于90度，且该每一气流孔230两端分别于该气流板23的上表面与下表面形成一进气口2301与一出气口 2302，于本实施例中，该多个气流孔230为圆柱状。
[0027]请继续参阅图4、图6与图7，其中当一玻璃基板27输送至该无尘室24内进行25°C下降至23°C的降温制程，此时该空调机20抽送空气经由该循环管路25至该给气室21内的该容置空间210，其空气且通过该空调机20控制送风温度为23°C再送至该给气室21，通过该给气室21内的该滤网22形成清净空气，其清净空气再经由该给气室21下方的该开口211输送至该气流板23的该多个气流孔230内，再经由该多个气流孔230吹出一倾斜气流26至该玻璃基板27上，且当该倾斜气流26触碰到该玻璃基板27时，该倾斜气流26整体的气流将顺着同一方向前进，再者，该倾斜气流26碰触到该玻璃基板27时就算产生反方向气体分离，也不会产生涡流的气旋，故该玻璃基板27中心周围温度从第I秒至第39秒内，将迅速由25°C降至趋近23°C的需求，以利后续生产制程。
[0028]请继续参阅图6、图8、图9与图10，其中为了使得该气流板23上的该等气流孔230吹出的清净空气对于该玻璃基板27产生不同的风力强度、散热、均温效果，故该多个气流孔230可为椭圆柱状、长条板状或四边形长柱状，以符合最佳的散热、均温效果。
[0029]综合以上所述，请继续参阅图4与图6所示，藉由本实用新型采用该气流板23的该多个气流孔230，且该多个气流孔230与该气流板23的该夹角231角度小于90度，其效益在于:避免由该多个气流孔230流出的清净空气触碰到该玻璃基板27时产生其空气涡流，使得清净空气能同时顺着一方向流动，将不产生空气涡流，使其迅速将该玻璃基板27上的热能带离，减少其热应力的发生，进而使本实用新型可达到提升产品良率的功效。
[0030]上列详细说明是针对本实用新型的可行较佳实施例的具体说明，该实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，而凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围内。
【主权项】
1.一种基板快速均温装置，其特征在于，其包含: 一空调机； 一给气室，该给气室经由一循环管路与该空调机相连接，该给气室设置于一无尘室，该给气室内设有一容置空间，且该给气室下方设有一开口 ；以及 至少一个气流板，该气流板固设于该给气室下方的该开口处，该气流板上设有多个气流孔，且该每一气流孔与该气流板之间具有一夹角，该夹角的角度小于90度，且该每一气流孔两端分别于该气流板的上表面与下表面形成一进气口与一出气口。
2.如权利要求1所述的基板快速均温装置，其特征在于，该多个气流孔为圆柱状、椭圆柱状、长条板状或四边形长柱状。
3.如权利要求1所述的基板快速均温装置，其特征在于，更具有至少一个滤网，固设于该给气室的该容置空间内。
4.如权利要求1所述的基板快速均温装置，其特征在于，该给气室设置于该无尘室的顶棚。
【专利摘要】本实用新型公开一种基板快速均温装置，其包含一空调机；一给气室，该给气室经由一循环管路与该空调机相连接，该给气室设置于一无尘室内的顶棚或其他适当位置，该给气室内设有一容置空间；以及至少一个气流板，该气流板固设于该给气室下方的该开口处，该气流板上设有多个气流孔，且该每一气流孔与该气流板之间具有一夹角，该夹角的角度小于90度，且该每一气流孔两端分别于该气流板的上表面与下表面形成一进气口与一出气口，使气流经由气孔吹出至基板，可达到基板整体快速均温，并可使基板中心区域均温速度缓慢问题获得显著改善，藉本实用新型可达到提升制程产能速度及提升产品良率的功效。
【IPC分类】F24F1-00, F24F13-28, F24F13-08
【公开号】CN204285631
【申请号】CN201420693102
【发明人】柯安, 李诗雯
【申请人】奇鼎科技股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年11月18日