专利名称：含氟废水的处理方法与废水处理系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种废水的处理方法与废水处理系统，且特别是涉及一种含 氟废水的处理方法与处理系统。
背景技术：
在工业活动中，例如玻璃的制作、电镀制作、铝和钢的炼制以及半导体 元件的制作等，普遍使用大量的氟化物，因而衍生出含氟废水的处理问题。
为了避免含氟废水中的氟离子(F-)污染环境并且使得流放的工业废水能够符 合政府所订定的废弃物排放标准，业界无不用心钻研相关的处理程序，期使 排放废水对环境的不良影响降至最低。
现有的一种含氟废水的处理技术为化学混凝法(chemical coagulation)。化 学混凝法的原理乃依照含氟废水中的氟离子浓度，于其中添加适当浓度的钙 化合物，使其形成非溶解性的氟化钙(CaF2)化合物。接着，再加入混凝剂 (coagulant)以及助凝剂(flocculant),使氟化钙化合物凝集、沉降后予以分离。
半导体厂于制作处理晶片时，常应用氟酸来进行制作元件表面处理，而
制作所排放的含氟废水多属于浓度变化剧烈的混酸废水，传统的化学加药混 凝程序并不能有效率的处理多变的含氟废水。其缺点分述如下
1. 废水反应机制为过饱和反应，氯化钙加药量大由于含氟废水进流水 质不稳定，加药量必需过量添加，以利增加氟离子与氯化钙产生沉降物机率， 于是后段处理水质残余钙必然偏高。
2. 氟酸系有害污泥产生量大悬浮固体污泥因过量加药而增加，徒然增 加有害事业废弃物清运处理成本。
3. 反应过程中混凝剂以及助凝剂添力。量较不易控制氟酸废水处理程序 中的混凝剂以及助凝剂添加量多寡，视前段反应效率而定。而系统运转亦因 水质的多变性，为了增加分子间碰撞机会，需增加混凝剂及助凝剂加药量。
4. 反应槽体及现场水质监测仪器感应器容易产生表面结垢问题反应槽需不定期清理，且反应槽搅拌机表面也有结晶结构硬化问题，结垢严重者， 影响反应槽体处理效能、缩短处理设备使用年限。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种废水的处理方法，将水质不稳定的含氟废水， 利用控制装置将含氟废水与回收处理水均匀混合成一水质稳定的混合废水， 因此后续处理的反应速率良好，4丐化何物、混凝剂与助凝剂的加药量必然减 少许多。
本发明提供一种散水装置，此散水装置可以将含氟废水与回收处理水均 匀混合成一水质稳定的混合废水，以利于后续的处理步骤，且不需增设额外 的动力设备如搅拌器等。
本发明提供一种废水处理系统，此废水处理系统仅需使用较少的混凝剂 与助凝剂即可有效过滤废水中的污染物、产出较少的污泥量并能有效降低废 水与污泥的运转成本。
本发明再提出一种废水的处理方法。首先，导入含氟废水与回收处理水 至废水调匀槽中，充分混合以得到混合废水。接着，将混合废水导出废水调 匀槽，以进行处理步骤。其中根据含氟废水中的氟离子浓度，控制回收处理 水进入废水调匀槽的流量，以及根据废水调匀槽内混合废水的氟离子浓度， 控制含氟废水进入废水调勻槽的流量。
在本发明的一实施例中，上述的含氟废水与回收处理水是分别经由设置 于废水调匀槽内的多个散水装置而充分混合。
在本发明的 一 实施例中，上述的多个散水装置于废水调勻槽中呈平行排 列设置。
在本发明的一实施例中，上述的散水装置，其包括环状管本体以及多个 散水构件。环状管本体具有一进水口。多个散水构件与环状管本体连通，且 突出于环状管本体表面，这些散水构件上具有多数个开孔。
在本发明的一实施例中，上述的散水装置更包括多个支管，这些支管连 通环状管本体的一部分至另一部分，且这些散水构件也可以设置于这些支管上。
在本发明的一实施例中，上述的这些散水构件以垂直于环状管本体的成 环状的剖面的方式配置。在本发明的一实施例中，上述的这些开孔的孔径约为0.5厘米。
在本发明的一实施例中，上述的处理步骤包括下列各步骤首先，将混 合废水与4丐化合物导入废水反应槽中，使混合废水与钩化合物于废水反应槽
中形成氟化钙。接着，将混合废水与混凝剂导入混凝槽中，以于混合废水中 凝聚氟化钾。然后，将混合废水与助凝剂导入胶凝槽中，搅拌混合废水，以 于混合废水中形成氟化钙胶羽。之后，将混合废水导入污泥沉淀槽中，形成 氟化钾污泥沉淀与排放废水，其中排放废水的一部分作为回收处理水。
在本发明的一实施例中，上述的回收处理水含有约300 800ppm的钙离子。
本发明又提出一种散水装置，其结构如如同上述，于此不再赘述。
本发明再提出一种废水处理系统，其包括废水原水槽、废水调匀槽、废 水反应槽、混凝槽、胶凝槽与污泥沉淀槽。废水调匀槽包括槽体以及至少两 个散水装置，其中这些散水装置配置于槽体中，且这些散水装置的其中一个 连接废水原水槽。这些散水装置的结构如同上述，于此不再赘述。另外，废 水反应槽连接废水调匀槽。混凝槽连接废水反应槽。胶凝槽连接混凝槽。污 泥沉淀槽连接胶凝槽与这些散水装置的其中另 一个。
在本发明的一实施例中，上述的废水处理系统，还可以包括第一泵、第 一侦测器、第一控制装置、第二泵、第二侦测器与第二控制装置。第一泵连 接设置于污泥沉淀槽与废水调匀槽之间。第一侦测器设置于废水原水槽内。 第 一控制装置电性连接第 一泵与第 一侦测器，根据一侦测器的量测结果控制 第一泵。第二泵连接设置于废水原水槽与废水调匀槽之间。第二侦测器"^殳置 于废水调匀槽内。第二控制装置电性连接第二泵与第二侦测器，根据第二侦 测器的量测结果控制第二泵。
在本发明的一实施例中，上述的第 一控制装置与第二控制装置可以整合 于一个控制系统中。
在本发明的 一实施例中，上述的第 一控制装置与第二控制装置分别为比 例积分;f效分控制器。
本发明提出的含氟废水的处理方法与处理系统，不管导入的含氟废水水 质是否稳定，通过废水调匀槽中的散水装置将含氟废水与回收处理水均匀混 合成一水质稳定的混合废水，不但利于后续的处理步骤，还可以有效地减轻 反应槽槽壁的结垢问题、大幅减少钧化合物、混凝剂与助凝剂的使用量、污泥的产生量、减少废水处理成本并能使处理过之含氟废水符合排放标准。
为让本发明之上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并 配合所附图式，作详细说明如下。
图1A是依照本发明的一实施例的废水处理系统的结构示意图;
图1B是废水调匀槽的结构示意图1C是散水装置的断面示意图1D是图1B中A部的放大图。
主要元件符号说明
100:废水处理系统
102:废水原水槽
103:含氟废水输入管路
104:废水调匀槽
105:混合废水输出管路
106:废水反应槽
108:混凝槽
110:胶凝槽
112:污泥沉淀槽
114:污泥浓缩槽
116:污泥饼才几
117:回收处理水输入管路
119:排;^文废水管路
120:管路
122、 128、 134:侦测器
124、 130:泵
126、 132:控制装置
140、 142、 144、 146:注药管路
200:槽体
202、 204:散水装置
300:环状管本体302支管
304散水构件
306密封管
308开孔
310进水口
具体实施例方式
图1A是依照本发明的一实施例的废水处理系统的结构示意图。图IB 为废水调匀槽的结构示意图。图1C是散水装置的断面示意图。图1D是图 1B中A部的放大图。本实施例将以含氟废水为例，说明废水处理系统的结 构。含氟废水例如是氟酸系的工程废水、回收设备再生废水、切割机废水或 逆洗废水等。含氟废水的成分除了氟酸(HF)外，还可以包括磷酸(H3P04)及硫
酸(H2S04)等其他废酸。
请参照图1A,废水处理系统100例如是由废水原水槽102、废水调匀槽 104、废水反应槽106、混凝槽108、胶凝槽110、污泥沉淀槽112、污泥浓 缩槽114与污泥々并才几116所组成。
废水原水槽102是用来储存各种制作使用过后的含氟废水。各制作的所 产生的含氟废水例如经由管路120而注入废水原水槽102当中。废水原水槽 102中例如设置侦测器122。利用侦测器122以侦测废水原水槽102中含氟 废水中的氟离子浓度。
废水原水槽102与废水调勾槽104相连接。废水原水槽102与废水调匀 槽104之间例如是配置一条含氟废水输入管路103,以将含氟废水由废水原 水槽102导入废水调匀槽104。在含氟废水输入管路103上例如配置有泵124。 泵124例如为变频泵。泵124电性连接至控制装置126,控制装置126电性 连接至废水调匀槽104中的侦测器128。控制装置126例如为比例积分微分 控制器(Proportional-Integral-Derivative Controller,以下以PID控制器简称 之)。控制装置126根据侦测计128所测得之混合废水的氟离子浓度，来控 制泵124抽送含氟废水的速度，进而控制含氟废水输入管路103的进流量。
废水调匀槽104与废水反应槽106相连接。废水调勻槽104与废水反应 槽106之间例如是配置一条混合废水输出管路105,以将混合废水由废水调 匀槽104导出至废水反应槽106。混合废水输出管路105是利用溢流(overflow)的方式来进行废水的传送。
接着，请同时参照图1A与图IB以说明本发明的废水调匀槽104的结构。
如图1A与图1B所示，废水调匀槽104是由槽体200、散水装置202与 204、侦测器128所构成。侦测器128配置于槽体200中，用来测量混合废 水的氟离子浓度。散水装置202与204配置于槽体200中，其冲散水装置202 配置于散水装置204上，且散水装置202与204于槽体200中呈平行排列设置。
接着，请同时参照图1B、图1C与图1D,以说明本发明的散水装置的 结构。在图1B与图1C中，由于散水装置202与204的原理构造相同，在 此仅以散水装置202来说明之。
如图1B与图1C所示，散水装置202包括环状管本体300、多个支管 302、多个散水构件304与多个密封管306。散水装置202例如是具有进水口 310,此进水口 310设置于环状管本体300上。支管302连通环状管本体300 的一部分至另一部分，且散水构件304也可以设置于支管302上。密封管306 与散水构件304交错配置在环状管本体300上。散水构件304与环状管本体 300连通，且突出于环状管本体300表面。散水构件304以垂直于环状管本 体300的成环状的剖面的方式配置。
如图1D所示，散水构件304例如是采香菇头设计，其具有多数个开孔 308，且开孔308的孔径约为0.5厘米。开孔308的孔径大小可依照含氟废水 及回收处理水的进流量而设计之。本发明设计的散水装置202与204采上下 层设计，将含氟废水及回收处理水分別经由散水装置202与204均匀混合， 不用额外配置搅拌器于废水调匀槽104中。也就是说，不用增加额外的动力 即可达到让含氟废水及回收处理水充分混合的效果。
接着，请参照图1A,散水装置202的进水口与含氟废水进口管路105 相连接。散水装置204的进水口与回收处理水输入管路117相连接。
含氟废水与回收处理水分别经由散水装置202与位于散水装置202之上 的散水装置204散开后，在槽体200内均匀混合，同时调匀后的混合废水经 由混合废水输出管路105导入废水反应槽106。
本发明以两个散水装置202与204的配置来说明之，其中散水装置204 配置于散水装置202之上，但并不用以限定本发明。散水装置的配置数目以两个或多个，以平行交错的方式配置在槽体200中。
另外，废水调匀槽104与污泥沉淀槽112相连接。废水调匀槽104与污 泥沉淀槽112之间例如配置一条回收处理水输入管路117,以将回收处理水 由污泥沉淀槽112导入废水调匀槽104。回收处理水输入管路117上配置有 泵130。泵130例如为变频泵。泵130电性连接至控制装置132。控制装置 132例如为PID控制器。控制装置132电性连接配置于废水原水槽102中的 侦测计122。控制装置132根据侦测计122所测得的合氟废水的氟离子浓度， 来控制泵130抽送回收处理水的速度，进而控制回收处理水输入管路117的 进流量。
在上述说明中，本发明以两个控制装置26与32的配置来说明之，但 并不用以限定本发明。此两个控制装置126与132也可以整合于一个控制系 统(未绘示)中。
接着，请继续参照图1A,废水反应槽106连接废水调勻槽104,其具有 注药管路140。钙化合物会经由注药管路140注入废水反应槽106中，与含 氟废水中的氟离子反应而生成氟化钙的固形物。
混凝槽108连接废水反应槽106,其具有注药管路142与144。混凝剂 (coagulant)以及10。/。盐酸(HCl)或氢氧化钠(NaOH)经由注药管路142与144 注入混凝槽108,与含氟废水进行凝集反应并形成氟化钙胶羽。
胶凝槽110连接混凝槽108，其具有注药管路146。助凝剂(flocculant) 经由注药管路146注入胶凝槽110,经过搅拌并反应后，以使得氟化钙胶羽 能形成更大胶羽，而能够更进一步地凝聚堆积。
污泥沉淀槽112连接胶凝槽110及废水调匀槽104,其具有侦测器134。 侦测器134是用来侦测排放废水的氟离子浓度。污泥沉淀槽112则是用来沉 淀氟化钩污泥，使形成氟化钧污泥沉淀与排放废水。污泥沉淀槽112经由回 收处理水输入管路117连接废水调匀槽104。排放废水是经由排放废水管路 119排出。而一部分的排放废水作为回收处理水导入废水调匀槽104。
污泥浓缩槽114连接污泥沉淀槽112用来降低氟化钙污泥的含水量并减 少污泥的体积。
污泥饼机116连接污泥浓缩槽114。脱水后的氟化钙污泥会传送至污泥 饼机116,制成污泥饼，以利于后续污泥废弃物的运送处理。
在上述实施例中，仅以一个废水反应槽106的配置来说明之，但并不用以限定本发明。废水反应槽的配置数目可以两个或多个，依照实际作业需求 而配置于废水处理系统100中。
接下来，说明本发明所提出的废水处理方法。请参照图1A,本发明是
在废水处理系统100中，于废水原水槽102与废水反应槽106之间设置一个 废水调匀槽104。经由废水原水槽102导入的含氟废水，与经由污泥沉淀槽 112导入的回收处理水，在废水调匀槽104中充份混合后形成混合废水，并 使混合废水具有设定范围的氟离子浓度，以进行后续的处理步骤。
其中，本发明的控制装置126及132根据含氟废水中的氟离子浓度，控 制回收处理水进入废水调匀槽104的流量，以及根据废水调匀槽104内混合 废水的氟离子浓度，控制含氟废水进入废水调匀槽104的流量。然后将含氟 废水与回收处理水分别经由设置于废水调匀槽104内的散水装置202与204 充分混合至定性后，将混合废水控制在一容易的操作范围，再溢流(overflow) 至废水反应槽106处理。散水装置202与204已于上文中详细说明，于此不 再赘述。
经过废水调匀槽104的初步处理之后，混合废水接着导入废水反应槽 106,其具有注药管路140。在一实施例中，钙化合物会经由注药管路MO 注入废水反应槽106中，与含氟废水中的氟离子反应而生成氟化钙的固形物。 其中，4丐化合物例如是氯化钙(CaCl2)或氢氧化钙(Ca(OH)2)
经过废水反应槽106处理后的混合废水，接着导入混凝槽108。混合废 水会分别与经由注药管路142与144所加入的混凝剂(coagulant)以及10%盐 酸(HCl)或氢氧化钠(NaOH)，进行凝集反应并形成氟化钙胶羽。其中，混凝 剂例如是10。/。的铝盐(PAC)或铁盐。而添加盐酸或氢氧化钠以使得含氟废水 的酸^5成值在6至8的范围内，可以让凝集的效果更为明显。
经过混凝槽108处理后的混合废水，接着流进胶凝槽IIO。混合废水会 与经由注药管路144所注入的助凝剂(flocculant)搅拌并反应，以使得氟化钙 胶羽能形成更大胶羽，而能够更进一步地凝聚堆积。在一实施例中，助凝剂 例如是高分子聚合物(polymer),其重量百分比例如是33%。
经过胶凝槽IIO处理后的混合废水，接着进入污泥沉淀槽112。污泥沉 淀槽112是用来沉淀氟化钙污泥，使形成氟化钙污泥沉淀与排放废水。在一 实施例中，污泥沉淀槽112例如是具有一个侦测器134，可以侦测排;故废水 的氟离子浓度。处理过后的排放废水的氟离子浓度应符合废水排放标准(排放标准为氟离子浓度在15 ppm以下)。其中一部分会经由排放废水管路119
排出(drain),另 一部分则作为回收处理水，会经由回收处理水输入管路117
导入废水调匀槽104中再利用。
经过污泥沉淀槽112处理后的氟化钓污泥沉淀，接着进入污泥浓缩槽
114。污泥浓缩槽114是用来降低氟化4丐污泥的含水量并减少污泥的体积。
在一实施例中，污泥浓缩槽114例如是重力式的浓缩槽。脱水后的氟化钙污
泥会传送至污泥饼机116，制成污泥饼，以利于后续污泥废弃物的运送处理。
本发明较传统化学加药混凝程序，优点甚多，除系统处理效能提升外， 整体运转操作费亦可有效降低，兹说明如下
1. 运转范围较广本发明最大特点在于含氟废水与回收处理水的进流量 受程式控制，强迫其进入预处理系统，即废水调匀槽104,分别以特制的散 水装置202与204均匀流入槽中，水质一旦调匀至定性，混合废水的水质几 乎可视为水质稳定态的进流至系统处理，后续反应速率良好，钙化何物加药 量必然减少许多。不论含氟废水进流浓度是高浓度或为低浓度废水，主要定 性反应区皆在功能为预处理的废水调匀槽104。氟离子浓度例如是介于 100-3000 ppm之间的含氟废水均包含于本发明的运转范围。
2. 氟系污泥产生量少系统形成的氟系污泥，其组成分为两种其一来 自于含氟废水与钙化何物反应形成的氟化钙污泥沉淀物；另一种则是因水质 不稳定所造成的后果，必需过量添加化学药剂，混凝剂及助凝剂与含氟废水 中悬浮固体进行化学混凝后，所产生的悬浮固体沉降污泥。本发明的混合废 水进流浓度定性，除与钙化何物反应较完全外，排放废水水质可较容易处理 至理想的排放浓度范围，处理后水质残余钙离子浓度明显降低，大部分的氟 系污泥组成为氟化钧污泥，故系统污泥产生量可明显减少。再者， 一般而言， 排放废水中多多少少会具有未反应的残余钙，本发明将部分的排放废水回收 再利用作为回收处理水导入废水调勾槽104,因回收处理水同样具有未反应 的残余钙，例如是含有约300-800 ppm的钙离子，可将同样导入废水调匀槽 104的含氟废水形同作一预处理步骤，将此少量的残余钙离子充分利用，为 一较为经济且环保的做法。如此一来，最终排放废水的残余钙亦会减少，进 而明显降氟系有害低污泥产生量。
3. 化学药剂加药量减少含氟废水传统化学加药处理程序，其反应机制 为过饱和反应，主因亦是含氟废水进流水质不稳定，导致钙化何物需过量加药，以利增加氟离子与4丐化何物产生沉降物的机率。本发明利用废水调匀槽
104调匀的混合废水水质稳定，与钩化何物反应较完全，4丐化何物用药量便
可相对的减少。另一方面，因为混合废水水质趋于稳定态，系统较不易因水 质起剧烈变化，而需不定时调整混凝剂及助凝剂的加药量，以满足后段氟酸 处理水出流水质，故混凝剂及助凝剂用药量可减少。
4.仪器设备使用期限较长含氟废水进流水质不稳定，监测仪器感应器 所处环境条件冲击大，使用期限大幅缩短。另一方面，因为混合废水与钙化 合物反应较完全，可以改善反应槽体与管线构件的结垢问题，进而延长含氟 废水处理设备的使用年限。
虽然结合以上较佳实施例揭露了本发明，然而其并非用以限定本发明， 任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当 可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围应以附上的权利要求所界定 的为准。
权利要求
1.一种废水的处理方法，包括导入一含氟废水与一回收处理水至一废水调匀槽中，充分混合以得到一混合废水；以及将该混合废水导出该废水调匀槽，以进行一处理步骤，其中根据该含氟废水中的氟离子浓度，控制该回收处理水进入该废水调匀槽的流量，以及根据该废水调匀槽内该混合废水的氟离子浓度，控制该含氟废水进入该废水调匀槽的流量。
2. 如权利要求1所述的废水的处理方法，其中该含氟废水与该回收处理 水是分别经由设置于该废水调匀槽内的多个散水装置而充分混合。
3. 如权利要求2所述的废水的处理方法，其中该些散水装置于该废水调 匀槽中呈平行排列设置。
4. 如权利要求2所述的废水的处理方法，其中各该些散水装置，包括 一环状管本体，该环状管本体具有一进水口；多个散水构件，该些散水构件与该环状管本体连通，且突出于该环状管 本体表面，该些散水构件上具有多数个开孔。
5. 如权利要求4所述的废水的处理方法，其中各该些散水装置更包括多 个支管，该些支管连通该环状管本体的一部分至另一部分。
6. 如权利要求5所述的废水的处理方法，其中该些散水构件更包括设置 于该些支管上。
7. 如权利要求4所述的废水的处理方法，其中该些散水构件以垂直于该 环状管本体的成环状的剖面的方式配置。
8. 如权利要求4所述的废水的处理方法，其中该些开孔的孔径为0.5厘米。
9. 如权利要求1所述的废水的处理方法，其中该处理步骤包括 将该混合废水与一钩化合物导入一废水反应槽中，使该混合废水与该钙化合物于该废水反应槽中形成氟化钙；将该混合废水与一混凝剂导入一混凝槽中，以于该混合废水中凝聚氟化钙；将该混合废水与一助凝剂导入一胶凝槽中，搅拌该混合废水，以于该混合废水中形成氟化钙胶羽；以及将该混合废水导入一污泥沉淀槽中，形成一氟化4丐污泥沉淀与一排放废水，其中该排放废水的一部分作为该回收处理水。
10. 如权利要求1所述的废水的处理方法，其中该回收处理水含有 300 800ppm的4丐离子。
11. 一种散水装置，包括 一环状管本体，该环状管本体具有一进水口；多个散水构件，该些散水构件与该环状管本体连通，且突出于该环状管 本体表面，该些散水构件上具有多数个开孔。
12. 如权利要求11所述的散水装置，其中各该些散水装置更包括多个支 管，该些支管连通该环状管本体的一部分至另一部分。
13. 如权利要求12所述的散水装置，其中该些散水构件更包括设置于该 些支管上。
14. 如权利要求11所述的散水装置，其中该些开孔的孔径为0.5厘米。
15. 如权利要求11所述的散水装置，其中该些散水构件以垂直于该环状 管本体的成环状的剖面的方式配置。
16. —种废水处理系统，包括 一废水原水槽； 一废水调匀槽，包括一槽体；至少两个散水装置，配置于该槽体中，且该些散水装置的其中一个 连接该废水原7jc槽，各该些散水装置，包括一环状管本体，该环状管本体具有一进水口；以及多个散水构件，该些散水构件与该环状管本体连通，且突出于 该环状管本体表面，该些散水构件上具有多数个开孔； 一废水反应槽，连接该废水调匀槽； 一混凝槽，连接该废水反应槽； 一胶凝槽，连接该混凝槽；以及一污泥沉淀槽，连接该胶凝槽与该些散水装置的其中另一个。
17. 如权利要求16所述的废水处理系统，其中各该两个散水装置更包括 多个支管，该些支管连通该环状管本体的一部分至另一部分。
18. 如权利要求17所述的废水处理系统，其中该些散水构件更包括设置 于该些支管上。
19. 如权利要求16所述的废水处理系统，其中该些开孔的孔径为0.5厘米。
20. 如权利要求16所述的废水处理系统，更包括一第一泵，连接设置于该污泥沉淀槽与该废水调匀槽之间； 一第一侦测器，设置于该废水原水槽内；一第一控制装置，电性连接该第一泵与该第一侦测器，根据该一侦测器 的量测结果控制该第一泵；一第二泵，连接设置于该废水原水槽与该废水调匀槽之间； 一第二侦测器，设置于该废水调匀槽内；以及一第二控制装置，电性连接该第二泵与该第二侦测器，根据该第二侦测 器的量测结果控制该第二泵。
21. 如权利要求20所述的废水处理系统，其中该第一控制装置与该第二 控制装置整合于一控制系统中。
22. 如权利要求20所述的废水处理系统，其中该第一控制装置与该第二 控制装置分别为比例积分微分控制器。
23. 如权利要求16所述的废水处理系统，其中该些散水构件以垂直于该 环状管本体的成环状的剖面的方式配置。
全文摘要
本发明公开一种含氟废水的处理方法与废水处理系统。所述含氟废水的处理方法首先，导入含氟废水与回收处理水至废水调匀槽中，充分混合以得到混合废水。接着，将混合废水导出废水调匀槽，以进行处理步骤。其中根据含氟废水中的氟离子浓度，控制回收处理水进入废水调匀槽的流量，以及根据废水调匀槽内混合废水的氟离子浓度，控制含氟废水进入废水调匀槽的流量。
文档编号C02F1/52GK101565227SQ200810095459
公开日2009年10月28日 申请日期2008年4月23日 优先权日2008年4月23日
发明者宋坤森, 林志鸿, 黄政忠 申请人:力晶半导体股份有限公司