1.一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：
（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；
（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3～5mm；
（3）启动超声清洗槽，使用频率40～60KHZ的超声，设置超声强度为60W/cm2～80W/cm2，超声震洗15min；
（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，所述氧化铝（AL2O3）的粒径在W80～W120之间。
3.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。