一种自支撑掺硼金刚石催化材料的制备方法与流程

文档序号:12635606阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自支撑掺硼金刚石催化材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)将硼或含硼化合物与硅粉按0.1-1.2%的重量百分比混合,硼或含硼化合物与硅粉的尺寸均为10~50纳米;将混合后的硼或含硼化合物与硅粉放入乙醇溶液中,超声振荡,形成分散液,过滤后干燥处理;

(2)将金刚石粉放入乙醇溶液中,超声振荡,形成分散液;金刚石粉的尺寸为10~50纳米;

(3)将步骤(1)干燥后的硼或含硼化合物与硅的纳米混合粉冷等静压成块体,再将步骤(2)的金刚石粉分散液均匀滴在块体上,烘干后再滴,反复2~6次,最后干燥处理得到衬底材料;

(4)将衬底材料放入热丝化学气相沉积设备的衬底架上,待本底真空达1×10-3Torr以上后通入氢气,在100%氢气环境下,进行活化处理,活化处理时热丝温度2000-2400℃,热丝到衬底的距离4-10mm,衬底温度700-950℃,真空室总压强20-100Torr,活化处理时间20-40min;

(5)活化处理后立即通入甲烷,甲烷与氢气的流量比为0.5-1.5%,反应压力20-100Torr,衬底温度700-950℃;热丝温度2000-2400℃,热丝与衬底距离4-10mm。

2.根据权利要求1所述的一种自支撑掺硼金刚石催化材料的制备方法,其特征在于,所述热丝材料是直径0.4-1mm的金属钨或钽或铌。

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