一种新型多晶硅片清洗机的制作方法

文档序号:12416636阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种新型多晶硅片清洗机,属于机械技术领域。它解决了现有的清洗机清洗效果不佳的问题。本新型多晶硅片清洗机包括底板和设于底板上的圆板,圆板下侧设有多个喷头,圆板和底板之间设有储液桶,储液桶顶部敞口、底部封闭,底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件,储液桶顶壁能与圆板下端面相抵并将储液桶顶部敞口封闭,储液桶内固定有呈锥形的支撑筒,支撑筒直径向下逐渐减小,支撑筒上端口处制有向外的翻边,翻边上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽,凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。本新型多晶硅片清洗机具有清洗效果好的优点。

技术研发人员:钱其峰;徐国华;钱鹏飞;陆亚杰
受保护的技术使用者:浙江芯能光伏科技股份有限公司
文档号码:201620767686
技术研发日:2016.07.18
技术公布日:2016.12.14

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