1.一种非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于，其至少包含有：
一机体；
一载台模块，其设于机体上，供承载一待清洁的光罩或晶圆；
至少一超音波清洁模块，其设于机体上，该至少一超音波清洁模块与该载台模块上待清洁光罩或晶圆的表面能够相对位移，该超音波清洁模块包含有一对应待清洁光罩或晶圆表面的清洁头、一高压产生模块与一真空鼓风模块，该清洁头具有一连通高压气体产生模块的压力腔，且该清洁头对应至少一连通真空鼓风模块的真空腔，再者该清洁头具有一对应光罩或晶圆表面的工作表面，该工作表面上具有至少一连接真空腔的吸入槽孔，该清洁头的工作表面上具有至少一连接压力腔、且设于该至少一吸入槽孔所围范围内的喷射槽孔。
2.根据权利要求1所述的非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于：该清洁头在压力腔邻近喷射槽孔处两侧分别设有至少一空气振荡波产生器。
3.根据权利要求1所述的非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于：该清洁头的工作表面与前述载台模块上的作业光罩或晶圆的表面间距为0.1mm～3.5mm，而该吸入槽孔的宽度为0.8mm～8mm，该喷射槽孔的宽度为0.5mm～5mm。
4.根据权利要求1所述的非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于：该机体具有一工作台面，该工作台面能够通过一滑轨组安装该载台模块，且机体在工作台面上设有一立架，用以供该超音波清洁模块安装，使载台模块相对超音波清洁模块线性位移。
5.根据权利要求1所述的非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于：该超音波清洁模块的高压产生模块与真空鼓风模块在管路中分别具有一过滤件，供过滤空气中的微尘。