技术总结
本实用新型涉及一种非接触式光罩或晶圆洁净装置，其是在一机体上设有一供承载光罩或晶圆的载台模块，且机体内设有一高压产生模块及一真空鼓风模块，又机体上设有至少一与载台模块相对位移的清洁头，该清洁头对应至少一连通真空鼓风模块的真空腔，该清洁头具有一连通高压气体产生模块的压力腔，且该清洁头设有至少一空气振荡波产生器，如此，能利用喷出的高压气体中具有高频空气振荡波的设计破坏微尘的境界层，使微尘与光罩或晶圆表面剥离，再通过真空方式于微尘被高频空气震荡波分离后抽离，由于采用非接触式清洁方式，不致造成刮伤或二次污染，且能有效提升清洁效果。
技术研发人员：陈明生
受保护的技术使用者：特铨股份有限公司
文档号码：201620836621
技术研发日：2016.08.04
技术公布日：2017.02.22