一种硅片清洗池用的自动加药装置的制作方法

文档序号:12489373阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片清洗池用的自动加药装置,包括储药罐(1),其特征在于:所述的装置还包括浓度检测仪(2)、计量泵(3)、控制模块、上喷头(4)和下喷头(5),浓度检测仪(2)的检测端位于清洗池(6)内液面的下方,浓度检测仪(2)的控制端与控制模块的信号输入端连接,控制模块的控制端与计量泵(3)的受控端连接,上喷头(4)位于清洗池(6)内的液面上方且出口端朝向下方,下喷头(5)位于清洗池(6)内的底部且出口端朝向上方,计量泵(3)的进药口与储药罐(1)连通,计量泵(3)的出药口同时与上喷头(4)和下喷头(5)连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗池用的自动加药装置,其特征在于:所述的上喷头(4)和下喷头(5)的数量都是至少为三个,上喷头(4)的出液方向竖直向下且下喷头(5)的出液方向竖直向上,所有的上喷头(4)沿清洗池(6)内壁均匀排布,下喷头(5)与上喷头(4)一一对应且交错设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗池用的自动加药装置,其特征在于:所述的上喷头(4)和下喷头(5)外表面都设置有防腐层,上喷头(4)上防腐层的厚度为0.3~0.5mm,下喷头(5)上防腐层的厚度为0.8~1mm。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗池用的自动加药装置,其特征在于:所述的储药罐(1)内设置有液位计,增设报警器,液位计的控制端与控制模块的信号输入端连接,控制模块的控制端与报警器的受控端连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗池用的自动加药装置,其特征在于:所述的计量泵(3)位于储药罐(1)上方并与储药罐(1)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗池用的自动加药装置,其特征在于:所述的上喷头(4)和下喷头(5)都借助管路与计量泵(3)连通,所有的管路都位于清洗池(6)外侧。

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