技术总结
本实用新型公开了一种硅片清洗池用的自动加药装置，属于单晶硅生产设备技术领域，该装置包括储药罐，关键是：所述的装置还包括浓度检测仪、计量泵、控制模块、上喷头和下喷头，浓度检测仪的检测端位于清洗池内液面的下方，浓度检测仪的控制端与控制模块的信号输入端连接，控制模块的控制端与计量泵的受控端连接，上喷头位于清洗池内的液面上方且出口端朝向下方，下喷头位于清洗池内的底部且出口端朝向上方，计量泵的进药口与储药罐连通，计量泵的出药口同时与上喷头和下喷头连通。利用计量泵将储药罐内的药液加入清洗池内，使清洗池内药液的浓度快速恢复到所需的范围内，结构简单，使用方便。
技术研发人员：史志明;李世杰;陈世杰;吴成志;刘晓燕;王聪;柳培灿
受保护的技术使用者：宁晋松宫电子材料有限公司
文档号码：201621209341
技术研发日：2016.11.09
技术公布日：2017.06.06