一种高效自动化蓝宝石衬底片碱酸清洗一体机的制作方法

文档序号:11166911阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种高效自动化蓝宝石衬底片碱酸清洗一体机,包括机壳和PLC控制器,机壳一侧设有提升机构,机壳内设有若干槽体,若干槽体依次为上料槽、第一清洗槽、第一碱洗槽、第一溢流槽、第二碱洗槽、第一喷淋槽、第二溢流槽、酸洗槽、第二喷淋槽、第二清洗槽和下料槽,酸洗槽连接有硫酸储蓄槽和过氧化氢储蓄槽,硫酸储蓄槽和过氧化氢储蓄槽外分别设有第一液位控制器支架和第二液位控制器支架,第一液位控制器支架和第二液位控制器支架上设有若干液位传感器;本发明可自动化控制同机进行碱洗和酸洗,避免周转沾污,降低液耗,一次成品率高,利于提高加工效率和产品质量。

技术研发人员:秦俊;杨华;蔡金荣
受保护的技术使用者:江苏吉星新材料有限公司
技术研发日:2017.06.15
技术公布日:2017.10.03
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