一种脱胶机药液的预热装置及方法与流程

文档序号:16003825发布日期:2018-11-20 19:48阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开了一种脱胶机药液的预热装置,包括水槽本体、供水系统、温控系统和水位感应系统,水位感应系统通过感应水位向脱胶机发送反馈信息,供水系统接收脱胶机的指令向水槽本体和/或脱胶机药液槽供水,温控系统受脱胶机控制加热,到达设定温度时停止加热。本申请还提供了一种使用脱胶机药液的预热装置进行预热的方法。本发明解决了给脱胶机更换药液时,药液加热时不能使用,单位时间内脱胶完成的硅片量少的技术问题。其有益之处在于,对药液中占比最大的水进行预热,减少了更换药液的等待时间,提高了单位时间内脱胶完成的硅片量;利用脱胶机的指令完成自动配酸或进水;根据不同的硅片产品需求设定最佳酸洗温度。

技术研发人员:樊明仲;张孟军
受保护的技术使用者:山东大海新能源发展有限公司
技术研发日:2018.06.12
技术公布日:2018.11.20
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