技术总结
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机。自动提拉旋转机械臂包括升降驱动机构、旋转驱动机构以及吊篮；所述旋转驱动机构包括电机以及所述电机驱动的三角旋转齿轴；所述吊篮形成片筐的支撑框，所述电机固定在所述吊篮上，所述三角旋转齿轴穿设在所述吊篮内，片筐能够放置在所述三角旋转齿轴的上方，且片筐内的硅片能够在三角旋转齿轴的作用下转动；所述升降驱动机构与所述吊篮连接，并能够实现吊篮的升降。本实用新型降低了操作员工的劳动强度，更好保证操作的一致性，减少人为因素对产品质量的影响；也避免了操作员工近距离的接触化学试剂，保障了操作员工的安全。
技术研发人员：黄国民;艾伟
受保护的技术使用者：吉林华微电子股份有限公司
技术研发日：2018.12.20
技术公布日：2019.10.18