全封闭石英晶片清洗机的制作方法

文档序号:20109983发布日期:2020-03-17 18:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:其包括机箱(1),所述机箱(1)中设置有漏水板(2)、废水回收模块(3)及三个顶升机构(4),所述漏水板(2)上设置有药剂清洗水池(5)、喷洗水池(6)及清水水池(7),所述废水回收模块(3)位于所述漏水板(2)的下方,且与所述药剂清洗水池(5)、所述喷洗水池(6)及所述清水水池(7)配合,所述顶升机构(4)的下端配合设置有晶片放置篮(8),三个所述晶片放置篮(8)分别与所述药剂清洗水池(5)、所述喷洗水池(6)及所述清水水池(7)配合。

2.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述药剂清洗水池(5)及所述清水水池(7)均为溢流池。

3.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述喷洗水池(6)包括水槽及若干个喷头(9),若干个所述喷头(9)均匀设置在所述水槽的两侧。

4.根据权利要求2所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述废水回收模块(3)包括药剂回收池(10)、喷洗回收池(11)及清水回收池(12),所述药剂回收池(10)与第一抽水泵的一端相连通,所述第一抽水泵的另一端与所述药剂清洗水池(5)相连通,所述药剂回收池(10)与所述药剂清洗水池(5)还通过第一出水管相连通,所述喷洗回收池(11)通过所述漏水板(2)与所述喷洗水池(6)相配合,所述清水回收池(12)与第二抽水泵的一端相连通,所述第二抽水泵的另一端与所述清水水池(7)相连通,所述清水回收池(12)与所述清水水池(7)还通过第二出水管相连通。

5.根据权利要求1所述的全封闭石英晶片清洗机,其特征在于:所述清水水池(7)的外部设置有震动板,所述震动板中内嵌有超声波换能器。

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