技术总结
本发明公开了一种全封闭石英晶片清洗机，旨在提供一种清洗效果好的全封闭石英晶片清洗机。本发明包括机箱，所述机箱中设置有漏水板、废水回收模块及三个顶升机构，所述漏水板上设置有药剂清洗水池、喷洗水池及清水水池，所述废水回收模块位于所述漏水板的下方，且与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合，所述顶升机构的下端配合设置有晶片放置篮，三个所述晶片放置篮分别与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合。本发明应用于石英晶片清洗机的技术领域。
技术研发人员：刘兴波
受保护的技术使用者：珠海东锦石英科技有限公司
技术研发日：2019.12.11
技术公布日：2020.03.17