技术特征：
技术总结
一种涂布装置，用于对基板进行涂布，涂布装置包括第一对射式传感器和第二对射式传感器，第一对射式传感器沿第一方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第一坐标信息，第二对射式传感器沿与第一方向垂直的第二方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第二坐标信息。本发明提供一种涂布装置，通过在喷嘴上设置与喷嘴固定连接的第一对射式传感器、与喷嘴活动连接的第二对射式传感，不仅可以对喷嘴进行保护，还能准确定位基板上异物的位置。
技术研发人员：沈楠;汪永佳
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2017.05.25
技术公布日：2017.09.26