专利名称：微粒子分离处理系统及旋风型离心分离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及除去杂质获得高纯度的微粒子、溶液的微粒子分离处理系统及旋风型离心分离装置。
背景技术：
例如，在药品、化学制品、半导体、功能材料等的生产过程中，有时过滤包含在溶液中的特定的微粒子，并获得微粒子。此外，在机械加工中，一面从供给箱供应切削液，一面进行切削加工，将含有微细粉末状的切削碎屑的切削液供应给过滤装置，用该过滤装置除去切削碎屑，将切削液返回到供给箱(例如，日本专利特开2001-137743号公报)。
这样，由于通过过滤获得包含在溶液中的特定的微粒子，从切削液中过滤除去切削碎屑，在处理路径中，容器、配管等的杂质附着在微粒子上，要想制成规定纯度的微粒子及切削液等溶液，是有限度的。因此，例如，通过将过滤装置和离子交换装置等组合，可以提高纯度，但由于另外设置离子交换装置，所以，存在着结构复杂，成本增高的问题。
发明内容
本发明鉴于这些事实，其目的是提供一种以简单的结构，并且以低成本可以获得高纯度的微粒子、溶液的微粒子分离处理系统及旋风型离心分类装置。
为了解决前述课题，并且达到目的，本发明的结构如下。
第一个技术方案的微粒子分离处理系统，其特征在于，它包括贮存溶液的贮存箱，使前述贮存箱的溶液循环的溶液循环路径，配置在前述溶液循环路径上、将溶液中的微粒子分离的旋风型离心分离装置，
前述旋风型离心分离装置具有与前述贮存箱的溶液出口侧连通的导入通路，与前述贮存箱的溶液入口侧连通的流出通路，从前述导入通路供应含有微粒子的溶液，以预定流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，从前述流出通路将分离了微粒子的溶液排出，并使前述漩涡减速，使被分离出来的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置上配置有电极棒，在前述电极棒和前述粒子捕集箱的电极上外加电位，从而进行电分离。
在该第一个技术方案中，在使贮存箱的溶液循环的溶液循环路径中，配备将溶液中的微粒子分离的旋风型离心分离装置，用该旋风型离心分离装置的旋风部使漩涡减速，从而使分离出来的微粒子沉降，同时，通过连通孔使在旋风部沉降的微粒子沉淀到捕集箱中，通过在配置于粒子捕集箱的中心位置的电极棒、和粒子捕集箱的电极上外加电位，溶液中的杂质离子通过在电场的影响下移动的电泳附着在电极棒或电极上，减轻对微粒子的表面的附着，用简单的结构，并且低的成本，可以获得高纯度的微粒子、或溶液。
此外，其特征在于，向前述电极棒付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，向前述粒子捕集箱的电极付与和前述微粒子的电荷相反的电荷，从而进行电分离。通过向前述电极棒付与将前述微粒子的电荷相同的电荷，向前述粒子捕集箱的电极上付与于前述微粒子的电荷相反的电荷，进行电分离，利用溶液中的杂质离子在电场的影响下移动的电泳，附着在粒子捕集箱的面积大的电极上，减轻向微粒子的表面的附着，用简单的结构，并且低的成本，就可以获得高纯度的微粒子或溶液。
此外，其特征在于，在前述溶液循环路径上，配备利用溶液进行工作或者作业的各种装置，可以利用高纯度的溶液进行工作或作业。
此外，其特征在于，将前述电极棒的上端部延长到前述旋风部的下部，使从溶液流速慢的旋风部的下部到粒子捕集箱的微粒子从中心位置向外侧移动，附着到旋风部的下部及粒子捕集箱上或者防止飞散，可以高效率地将微粒子捕集到粒子捕集箱内。
其特征在于，在前述电极棒的上端部设置圆锥电极部，使该圆锥电极部处于面临前述连通孔的位置处，可以防止从溶液流速慢的旋风部的下部沉淀到粒子捕集箱内的微粒子从连通孔浮起。
此外，其特征在于，前述旋风部具有位于上方的圆筒部，与该圆筒部连接、向下方被收缩的锥部，并且使前述电极棒的长度大于前述圆筒部的直径，增大电极棒产生的电荷，使微粒子从旋风部的下部向粒子捕集箱移动，并且防止飞散，可以高效率地将微粒子捕集到捕集箱内。
此外，其特征在于，前述粒子捕集箱的电极与前述电极棒的间隔，不小于前述连通孔的直径，通过粒子捕集箱的电极和电极棒的间隔超过连通孔的直径、粒子捕集箱的电极和电极棒的间隔狭窄，可以保持使微粒子从旋风部的下部向粒子捕集箱移动，防止飞散，可以高效率地将微粒子捕集到粒子捕集箱内。这时，当比连通孔的直径狭窄时，将微粒子捕集到捕集箱内的空间消失，当间隔超过连通孔的直径时，可以确保捕集空间。
第二个技术方案的旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的溶液，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置配置有电极棒，
在前述电极棒上，付与和前述微粒子的电荷相同的电荷。在该第二个技术方案中，通过在粒子捕集箱的中心位置配置电极棒，在电极棒上付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，在溶液流速慢的粒子捕集箱中，可以使微粒子从中心位置向外侧移动，向粒子捕集箱的内壁附着，或者防止其飞散，可以高效率地将微粒子捕集到粒子捕集箱内。
第三个技术方案的旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的溶液，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的电极上，付与和前述微粒子的电荷相反的电荷。在该第三个技术方案中，通过向粒子捕集箱电极上付与和微粒子的电荷相反的电荷，在溶液流速慢的粒子捕集箱中，使微粒子从中心位置向外侧移动、向粒子捕集箱的内壁上的附着，或者防止飞散，可以高效率地将微粒子捕集到粒子捕集箱内。
第四个技术方案的旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的流体，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置配置电极棒，在前述电极棒上付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，在前述粒子捕集箱的电极上付与和前述微粒子的电荷相反的电荷。在该第四个技术方案中，通过在前述粒子捕集箱的中心位置配置电极棒，在前述电极棒上付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，进而在前述粒子捕集箱的电极上付与和前述微粒子的电荷相反的电荷，在溶液流速慢的粒子捕集箱中，使微粒子从中心位置向外侧移动、向粒子捕集箱的内壁附着或者防止飞散，可以高效率地将微粒子捕集到粒子捕集箱内。
图1是微粒子分离处理系统的简略结构图。
图2是另外的实施形式的微粒子分离处理系统的简略结构图。
图3是旋风型离心分离装置的剖视图。
图4是旋风型离心分离装置的俯视图。
图5是旋风型离心分离装置的剖视图。
图6是旋风型离心分离装置的剖视图。
图7是表示比较例和实施例的旋风型离心分离装置的图示。
图8是用数值表示微粒子的纯度的图示。
图9是用圆曲线表示微粒子纯度的图示。
图10是表示向粒子捕集箱上外加的电位对分离性能的影响的图示。
具体实施例方式
下面，对于本发明的微粒子分离处理系统的实施形式进行说明。本发明并不局限于该实施形式。此外，本发明的实施形式，表示发明的优选的形式，本发明的用语并不限定于此。
本实施形式的微粒子分离处理系统，在药品、化学制品、半导体、功能性材料等的生产过程中，在分离包含在溶液中的特定的微粒子的情况下，可以选择性地获得纯度高的微粒子。此外，还广泛应用于除去溶液中的杂质离子。
图1中表示本实施形式的微粒子分离处理系统的一个例子。图1是微粒子分离处理系统的简略结构图。本实施形式的微粒子分离处理系统100包括贮存溶液的贮存箱101，使贮存箱101的溶液循环的溶液循环路径102，配置在溶液循环路径102上、分离溶液中的微粒子的旋风型离心分离装置1。在该溶液循环路径102上，配备循环泵103，利用该循环泵103使溶液循环。
该旋风型离心分离装置1，具有与贮存箱101的溶液出口侧相连通的导入通路5；与贮存箱101的溶液入口侧相连通的流出通路4；从导入通路5供应包含微粒子的溶液，以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，将已分离过微粒子的溶液从流出通路排出，使漩涡减速，使分离出来的微粒子沉降的旋风部2，使在旋风部2沉降的微粒子通过连通孔沉淀的粒子捕集箱3。
在该粒子捕集箱3的中心位置上配置电极棒10，在该电极棒10和粒子捕集箱3的电极11上外加电位，进行电分离。在该微粒子分离装置1中，通过利用旋风部2使漩涡减速，使分离出来的微粒子沉降，同时，将在旋风部2沉降的微粒子通过连通孔沉淀到捕集箱3内，在配置在粒子捕集箱3的中心位置上的电极棒10上付与和微粒子的电荷相同的电荷，在粒子捕集箱3的电极11上，付与和微粒子的电荷相反的电荷，通过溶液中的杂质离子因电场的影响移动的电泳，附着在粒子捕集箱3的面积很大的电极11上，减轻向微粒子的表面上的附着，利用简单的结构，并且以低的成本，可以获得高纯度的微粒子或者溶液。
此外，也可以向配置在粒子捕集箱3的中心位置的电极棒10上付与和微粒子的电荷相反的电荷，向粒子捕集箱3的电极11上付与和微粒子的电荷相同的电荷，借助溶液中的杂质离子受电场的影响而移动的电泳附着到电极棒10上，可以很容易地进行电极棒10的清扫和更换。
本实施形式的微粒子分离处理系统的另一个例子示于图2。图2是微粒子分离处理系统的简略结构图。本实施形式的微粒子分离处理系统100，包括贮存溶液的贮存箱101；使贮存箱101的溶液循环的溶液循环路径102，配置在溶液循环路径102上、除去溶液中的杂质的旋风型离心分离装置1和各种装置110。该旋风型离心分离装置1和图1具有同样的结构，各种装置110是放电加工机等，利用溶液进行工作或作业，通过配备旋风型离心分离装置1，可以利用高纯度的溶液进行工作或作业。
其次，根据图3及图4说明旋风型离心分离装置1的结构。图3是旋风型离心分离装置的剖视图，图4是旋风型离心分离装置的俯视图。在该实施形式的旋风型离心分离装置1，沿铅直方向具有旋风部2和粒子捕集箱3。旋风部2由树脂等绝缘体或者SUS等导体金属形成。在该旋风部2的上部，在轴心上具有流出通路4，在偏离轴心的位置上具有导入通路5。流出通路4，由贯穿旋风部2的上部的管体6形成，导入通路5，由与旋风部2的上部整体成形的管体7形成。
旋风部2，具有上下两段锥部2a1、2a2，下部锥部2a2经由连通孔8与粒子捕集箱3连通。在该旋风部2，从导入通路5供应含有微粒子90的溶液，以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子90向外侧移动，从流出通路4将把微粒子90分离的溶液排出，使漩涡减速，使分离了的微粒子90沉降。
在该旋风部2沉降分离的微粒子90，通过连通孔8下落并滞留到粒子捕集箱3内。粒子捕集箱3，在下部的排出孔3a上连接有排泄阀9，利用该排泄阀9，排出滞留在粒子捕集箱3中的微粒子90的排泄物。
本实施形式的旋风型离心分离装置1，在粒子捕集箱3的中心位置处，配置电极棒10，该电极棒10从粒子捕集箱3的底盖3b以面对连通孔8的方式向上方延伸。此外，粒子捕集箱3的底盖3b，被安装在粒子捕集箱圆筒3c上，该粒子捕集箱圆筒3c，被安装在旋风部2的下部。该粒子捕集箱圆筒3c由树脂等绝缘体形成，在粒子捕集箱3c的内部，设置金属环的电极11。
外加电压机构12，在电极棒10上付与和微粒子90的电荷相同的电荷，付与粒子捕集箱3的电极11与微粒子90电荷相反的电荷。在本实施形式中，由于包含在溶液中的微粒子90在处理工艺中产生静电从而带负电，所以，向电极棒10上施加负的电位，作为负极付与负的电荷，向粒子捕集箱3的电极11上施加正的电位，作为正极付与正的电荷。
此外，旋风部2，具有与位于上方的圆筒部2c连接的被向下方缩小的锥部2a2，电极棒10的长度L1比圆筒部2c的直径D1大。通过这样设定电极棒10的长度L1，由电极棒10产生的电荷增大，使微粒子90从旋风部2的下部向粒子捕集箱3移动，并且防止其飞散，可以高效率地将微粒子90捕集到捕集箱3内。
此外，粒子捕集箱3的电极11和电极棒10之间的间隔D2，不小于连通孔8的直径D3。该粒子捕集箱3的电极11和电极棒10之间的间隔D2，不小于连通孔8的直径D3。该粒子捕集箱3的电极11和电极棒10的间隔D2狭窄时，可以保持使微粒子从旋风部2的下部向粒子捕集箱3移动，防止飞散，可以高效率地将微粒子90捕集到粒子捕集箱3内。这时，当比连通孔的直径D3狭窄时，将微粒子90捕集到捕集箱3内的空间消失，当间隔D2超过连通孔8的直径D3时，可以确保捕集微粒子的空间。
本实施形式的旋风型离心分离装置1，在旋风部2沉降分离的微粒子90，通过连通孔8下落并滞留在粒子捕集箱3内。在溶液流速慢的粒子捕集箱3内，在中心附近会发生微粒子90的浮起现象，但通过在粒子捕集箱3的中心位置配置电极棒10，在电极棒10上付与和微粒子90的电荷相同的电荷，进而，在粒子捕集箱3的金属环的电极11上付与和微粒子90的电荷相反的电荷，由此使之从中心位置向外侧移动，附着在粒子捕集箱3的金属环电极11的内壁上，或者防止其飞散，可以高效率地将微粒子90捕集到粒子捕集箱3内。
此外，溶液中的杂质离子通过由电场的影响而移动的电泳，附着在粒子捕集箱3的面积大的电极11上，可以减轻杂质向微粒子表面上的附着，利用简单的结构并且低的成本，可以获得高纯度的微粒子或溶液。此外，在这种实施形式中，付与电极棒10和微粒子90的电荷相同的电荷，付与粒子捕集箱3与微粒子的电荷相反的电荷，但，也可以采用至少向任一方付与电荷的结构。
其次，图5表示另外一种实施形式的旋风型离心分离装置的一个例子。图5是旋风型离心分离装置的剖视图。该实施形式的旋风型离心分离装置1，与图3及图4的实施形式相同的结构，付与相同的标号，省略其说明。
该实施形式的旋风型分离装置1，将电极棒10的上端部10a延长到旋风部2的下部。通过将该电极棒10的上端部10a延长到旋风部2的下部，使从溶液流速慢的旋风部的下部到粒子捕集箱3的微粒子90从中心位置向外侧移动，使之向旋风部2的下部及粒子捕集箱3的内壁上附着，或者防止其飞散，可以高效率的将微粒子90捕集到粒子捕集箱3内。
其次，另外一种实施形式的旋风型离心分离装置1的一个例子，示于图6。图6是旋风型离心分离装置的剖视图。该实施形式的旋风型分离装置1，与图3及图4的实施形式相同的结构，付与相同的标号，省略其说明。
该实施形式的旋风型分离装置1，在电极棒10的上端设置圆锥电极部13，使该圆锥电极部13位于面对连通孔8的位置处，借助圆锥电极部13，可以防止沉淀在粒子捕集箱3内部的微粒子从连通孔8上浮。
实施例在图1所示的微粒子分离处理系统中，利用图7(a)所示的没有电极的与图3及图4相同结构的旋风型离心分离装置，图7(b)所示的图1和图2的旋风型离心分离装置，图7(c)所示的图5的旋风型离心分离装置，图7(d)所示的图6的旋风型离心分离装置，作为含有微粒子的溶液，利用含有硅石粒子的离子交换水的分散介质作为试料，进行杂质在硅石粒子上附着的测定。
其测定结果示于图8及图9。图8是相对于二氧化硅原料粉末的硅石(Si)100％，图7(a)所示的没有电极、在图7(b)所示的标准电极外加50V电压、向图7(c)所示的延长电极外加50V电压、向图7(d)所示的圆锥电极外加50V电压下，进行分离处理的情况下，用数值表示的各个粗粉末、微细粉末的组成，图9用圆曲线表示。
在图7(a)所示的没有电极时，粗粉末为硅石(Si)100％(图9(a))，微细粉末为在硅石(Si)99.348％上附着大量的钙(Ca)、铁(Fe)，镍(Ni)，锌(Zn)，锆(Zr)等杂质(图9(b))。在微细粉末上杂质的附着非常显著。
在图7(b)所示的标准电极外加50V电压时，粗粉末为在硅石(Si)99.8％上附着铁(Fe)，镍(Ni)(图9(c))，微细粉末为硅石(Si)99.901％，只稍稍附着铁(Fe)(图9(d))。微细粉末和粗粉末几乎没有差别，在微细粉末上几乎看不到杂质的附着。
在图7(c)所示的延长电极上外加50V电压，粗粉末为硅石(Si)100％(图9(e))，微细粉末也为硅石(Si)100％(图9(f))，粗粉末和微细粉末均没有附着杂质。
图7(d)所示的圆锥电极上外加50V电压时，粗粉末为硅石(Si)99.885％，附着铁(Fe)(图9(g))，微细粉末为硅石(Si)99.969％，附着锆(Zr)的杂质(图9(h))。粗粉末和微细粉末没有显著的差别。
此外，测定了试料粉末体的硅石粒子的分离效率。其结果示于图10。图10所示的测定条件如下。
试料粉末体硅石粒子分散介质离子交换水分散介质的温度T34℃分散介质的流量Q420l/h分散介质的浓度Cp0.2wt％进入侧和流出侧的压力差ΔP0.2Kg/m2pH7在图8及图9所示的测定结果中，与图7(a)所示的没有电极的与图3及图4的结构相同的旋风型离心分离装置相比，图7(b)所示的图3及图4的旋风型离心分离装置、图7(c)所示的图5的旋风型离心分离装置、图7(d)所示的图6的旋风型离心分离装置，可以分离分散介质的小粒径，并且提高分离效率。特别是，图7(d)所示的图6的旋风型离心分离装置，可以分离分散介质的小粒径，并且特别可以提高分离效率，获得好的结果。
权利要求
1.一种微粒子分离处理系统，其特征在于，它包括贮存溶液的贮存箱，使前述贮存箱的溶液循环的溶液循环路径，配置在前述溶液循环路径上、将溶液中的微粒子分离的旋风型离心分离装置，前述旋风型离心分离装置具有与前述贮存箱的溶液出口侧连通的导入通路，与前述贮存箱的溶液入口侧连通的流出通路，从前述导入通路供应含有微粒子的溶液，以预定流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，从前述流出通路将分离了微粒子的溶液排出，并使前述漩涡减速，使被分离出来的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置上配置有电极棒，在前述电极棒和前述粒子捕集箱的电极上外加电位，从而进行电分离。
2.如权利要求1所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，向前述电极棒付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，向前述粒子捕集箱的电极付与和前述微粒子的电荷相反的电荷，从而进行电分离。
3.如权利要求1或2所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，在前述溶液循环路径上，配备利用溶液进行工作或者作业的各种装置。
4.如权利要求1至3中任何一项所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，将前述电极棒的上端部延长到前述旋风部的下部。
5.如权利要求1至4中任何一项所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，在前述电极棒的上端部设置圆锥电极部，使该圆锥电极部处于面临前述连通孔的位置处。
6.如权利要求1至5中任何一项所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，前述旋风部具有位于上方的圆筒部，与该圆筒部连接、向下方被收缩的锥部，并且使前述电极棒的长度大于前述圆筒部的直径。
7.如权利要求1至6中任何一项所述的微粒子分离处理系统，其特征在于，前述粒子捕集箱的电极与前述电极棒的间隔，不小于前述连通孔的直径。
8.一种旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的溶液，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置配置有电极棒，在前述电极棒上，付与和前述微粒子的电荷相同的电荷。
9.一种旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的溶液，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的电极上，付与和前述微粒子的电荷相反的电荷。
10.一种旋风型离心分离装置，其特征在于，它具有供应含有微粒子的溶液、以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态下使微粒子向外侧移动，排出已将微粒子分离的流体，使前述漩涡减速，从而使被分离的微粒子沉降的旋风部，使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔而沉淀的粒子捕集箱，在前述粒子捕集箱的中心位置配置电极棒，在前述电极棒上付与和前述微粒子的电荷相同的电荷，在前述粒子捕集箱的电极上付与和前述微粒子的电荷相反的电荷。
11.如权利要求8或10所述的旋风型离心分离装置，其特征在于，将前述电极棒的上端部延长到前述旋风部的下部。
12.如权利要求8或10所述的旋风型离心分离装置，其特征在于，在前述电极棒的上端部设置圆锥电极部，使该圆锥电极部位于面临前述连通孔的位置处。
13.如权利要求8或10至12中任一项所述的旋风型离心分离装置，其特征在于，前述旋风部具有位于上方的圆筒部，以及与该圆筒部连接而向下方被收缩的锥部，并且使前述电极棒的长度大于前述圆筒部的直径。
14.如权利要求8或10至13中任一项所述的旋风型离心分离装置，其特征在于，前述粒子捕集箱的电极与前述电极棒的间隔，不小于前述连通孔的直径。
全文摘要
本发明提供一种微粒子分离处理系统，其包括贮存溶液的贮存箱；使前述贮存箱的溶液循环的溶液循环路径；配置在前述溶液循环路径上将溶液中的微粒子分离的旋风型离心分离装置；前述旋风型离心分离装置具有与前述贮存箱的溶液出口侧连通的导入通路；与前述贮存箱的溶液入口侧连通的流出通路；从前述导入通路供应含有微粒子的溶液，以预定的流速使之产生漩涡，在离心状态使微粒子向外侧移动，从前述流出通路将分离了微粒子的溶液排出，使前述漩涡减速，使分离出来的微粒子沉降的旋风部；使在前述旋风部沉降的微粒子通过连通孔沉淀的粒子捕集箱；在前述粒子捕集箱的中心位置上配置电极棒，在电极棒和粒子捕集箱的电极上外加电位，以进行电分离。
文档编号B03C3/15GK1605396SQ20041004854
公开日2005年4月13日 申请日期2004年6月7日 优先权日2003年10月10日
发明者吉田英人, 福井国博, 高桥一彰, 中村顺一 申请人:多摩-技术转让机关株式会社