一种几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法与流程

文档序号:13179027阅读:来源:国知局
一种几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法与流程

技术特征:
1.一种几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:a.取经退火处理后的Pt丝,其直径为25微米,长1.5厘米;b.取外径为1毫米,内径为0.2毫米,长度10厘米的硼酸毛细玻璃管,经H2SO4与H2O2以体积比3:1混合的溶液浸泡清洗30分钟,去离子水清洗后,烘箱烘干后备用;c.将步骤a中的Pt丝置于步骤b中的毛细玻璃管内,并使得Pt丝处于毛细玻璃管的中间部位;d.将步骤c中的毛细玻璃管一端封住,置于激光拉制仪中央,另一端连接真空泵,通过控制激光拉制仪的参数,先将毛细玻璃管中间部位细化至内径为50微米;再调整参数如下:HEAT:320~380;FILAMENT:3~4;VELOCITY:12;DELAY:120;PULL:0,时间9秒,使得毛细玻璃管中间部位与其内Pt丝完全贴合;最后调整参数为:HEAT:330~420;FILAMENT:3~4;VELOCITY:15~25;DELAY:120;PULL:0,时间为0.45秒,从中间部位拉断毛细玻璃管,获得两根超微Pt电极;e.将步骤d制得的超微电极置于NarishigeMF-900磨针仪加热丝上方,连接真空泵,提高加热强度值至50,同时逐步逼近超微电极至加热丝上方25微米处停止,超微电极的尖端逐步收缩,当距尖端某位置处玻璃管直径及RG值达到所需大小时,记录下此处与尖端的距离,停止加热,取出超微电极;f.取直径为180微米的NiCr丝,尖端粘少许银胶,在显微镜下从经上述处理后的超微电极的毛细玻璃管尾部插入,与超微电极内Pt丝相连,作为电连接用;g.采用聚焦离子束电镜对上述超微电极进行再加工:先将超微电极水平放置至置物台,电子束下观察电极形貌,根据步骤e中的距离确定距尖端的相应位置为目标切断位置,旋转置物台52°至离子束与超微电极垂直,切换至离子束源,对焦,然后切断上述目标位置,得到平整的圆盘端面,获得Pt圆盘次微米电极。2.根据权利要求1所述的几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法,其特征在于,所述的步骤d中采用LaserPullerP-2000激光拉制仪。3.根据权利要求2所述的几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法,其特征在于,步骤d中将毛细玻璃管中间部分内径细化至50微米,所述的LaserPullerP-2000激光拉制仪的具体参数控制如下:HEAT:310;FILAMENT:4;VELOCITY:14;DELAY:120;PULL:0。
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