一种新型衬底固定装置的制作方法

本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型衬底固定装置。

背景技术：

在微纳米技术领域，经常要用到衬底。衬底多数有玻璃或陶瓷制备成的薄片，由于衬底较薄，并且容易破碎，在衬底的使用过程中，为了在衬底表面进行加工处理，怎么将衬底快速的固定，并且保证衬底的完整性，是一个急需解决的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种新型衬底固定装置，该新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，特别适用于对柔性衬底的固定，能够有效防止柔性衬底起褶皱，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该新型衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

技术实现要素：

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型衬底固定装置，包括底盘、真空吸孔和衬底固定装置，所述底盘的中部设有多个真空吸孔，所述底盘的周边均有设有6个衬底固定装置，所述衬底固定装置上设有推块、复位弹簧、压片转轴和衬底压片，所述复位弹簧的一端通过复位弹簧固定柱一固定在推块上，所述复位弹簧的另一端通过复位弹簧固定柱二固定在底盘上，所述推块的前端设有压片转轴，所述衬底压片能够绕着压片转轴转动。

本实用新型所涉及的一种新型衬底固定装置，该新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，特别适用于对柔性衬底的固定，能够有效防止柔性衬底起褶皱，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该新型衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一种新型衬底固定装置的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是图1中B处的局部放大图；

其中: 1、底盘；2、真空吸孔；3、衬底固定装置；4、推块；5、复位弹簧；6、复位弹簧固定柱一；7、复位弹簧固定柱二；8、压片转轴；9、衬底压片。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

具体实施例，请参阅图1、图2和图3，一种新型衬底固定装置，包括底盘1、真空吸孔2和衬底固定装置3，所述底盘1的中部设有多个真空吸孔2，所述底盘1的周边均有设有6个衬底固定装置3，所述衬底固定装置3上设有推块4、复位弹簧5、压片转轴8和衬底压片9，所述复位弹簧5的一端通过复位弹簧固定柱一6固定在推块4上，所述复位弹簧5的另一端通过复位弹簧固定柱二7固定在底盘1上，所述推块4的前端设有压片转轴8，所述衬底压片9能够绕着压片转轴8转动。

本实用新型所涉及的一种新型衬底固定装置，该新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，特别适用于对柔性衬底的固定，能够有效防止柔性衬底起褶皱，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该新型衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。