一种电镀槽自动加料装置的制作方法

本实用新型涉及电镀设备技术领域，特别是涉及一种电镀槽自动加料装置。

背景技术：

在电镀工艺过程中，待镀工件需要浸入电镀槽内的电镀液中，随着电镀液对待镀工件进行电镀处理，电镀液会被逐渐消耗掉，当电镀液被消耗到一定程度时，将不具备对待镀工件进行电镀处理的能力，因此需要定期停机并在电镀槽中补充新的电镀液。由于电镀用化学品大多都属于危险化学品，一般使用化学品桶进行包装储存，对人体伤害较大，传统的添加方式大多是采用量桶量取所需的药水量，然后通过人工方式向电镀槽内注入电镀液，这种添加药水的方式很容易导致药水溅出浪费、对人体造成伤害。现有的电镀药水添加装置多采用药水添加箱，该药水添加箱通过管道及定量泵连通于电镀槽，多依靠PLC控制定量泵的方式实现对电镀液添加量的控制，当定量泵出现故障或年久失修导致定量泵功率变小或者被异物堵塞时，易使得定量泵的添加量达不到要求，最终导致药水添加量失调，影响生产品质，定量泵内具有大量电镀液而难以更换维修，另外，现有技术中对药水添加箱内注入和更换电镀液时，通常采用人工方式，由于半导体用化学品大多都属于危险化学品，即使在使用专用工具的条件下，更换化学品桶对于操作人员来说也是一项费时费力的工作。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种电镀槽自动加料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种电镀槽自动加料装置，包括电镀槽、化学桶、化学泵、化学管、进液主管、进液支管、支管阀、连接组件、清洗桶、清洗泵、清洗管、排液管、第一抽真空器、第一抽空管、第二抽真空器和第二抽空管，电镀槽顶部设置有与化学桶底部连通的化学管，电镀槽底部设置有与清洗桶顶部连通的清洗管，化学桶顶部连通有进液主管，进液主管远离化学桶的一端连通有若干进液支管，每个进液支管远离进液主管的一端对应设有连接组件，每个进液支管上设置有支管阀，清洗桶底部连通有排液管，化学管上设置有化学泵，清洗管上设置有清洗泵，第一抽真空器连接有与化学桶顶部相连通的第一抽空管，第二抽真空器连接有与清洗桶顶部相连通的第二抽空管。

第一抽空管和第二抽空管上分别设置有控制管道接通或截断的抽气阀，第一抽空管上抽气阀与化学桶之间还设置有第一抽气组件，第一充气组件包括惰性气体发生器、与惰性气体发生器连通的第一充气管和控制第一充气管接通或截断的第一电磁阀，第一充气管连通第一抽空管。第二抽空管上抽气阀与化学桶之间还设置有第二抽气组件，第二充气组件包括第二充气管和控制第二充气管接通或截断的第二电磁阀，第二电磁阀设置于第二充气管上，第二充气管连通第二抽空管。第一抽真空器和第二抽真空器用于抽真空，第一抽真空器抽真空时关闭化学阀，打开第一抽空管上的抽气阀并且关闭第一电磁阀，从而使第一抽空管保持接通状态，第一充气管保持截断状态，第一抽真空器抽真空使化学桶内部气体减少，化学桶内气压降低，化学桶内产生的负压可将化学品桶内的容液抽到化学桶内；关闭第一抽空管上的抽气阀并且打开第一电磁阀，通过第一充气管将惰性气体充入到化学桶内。第二抽真空器抽真空时打开第二抽空管上的抽气阀并且关闭第二电磁阀，从而使第二抽空管保持接通状态，第二充气管保持截断状态，第二抽真空器抽真空使清洗桶内部气体减少，清洗桶内气压降低，清洗桶内产生的负压可将电镀槽内的电镀液抽到清洗桶内；关闭第二抽空管上的抽气阀并且打开第二电磁阀，通过第二充气管将气体充入到清洗桶内。

进一步地，第二充气管远离第二抽气管的一端连接有外界大气连通或气体过滤装置或惰性气体发生装置中的一种。通过第一抽真空器在化学桶内形成负压与化学阀的配合，可以将化学品桶内的电镀液抽到化学桶内，通过第二抽真空器在清洗桶内形成负压与清洗阀的配合，可以将电镀槽内的电镀液抽到清洗桶内，实现避免定量泵直接设置于电镀槽中从而接触电镀液，防止当定量泵出现故障或被异物堵塞时难以更换，并且可用第一抽气管和第二抽气管的抽气管路将向相关容器中充气，无需在相关容器上另外单独设置充气管路。进液主管连通有若干进液支管，每个进液支管远离进液主管的一端对应设有连接组件，通过多个连接组件可同时向化学桶中添加多种化学品。

第一抽真空器和第二抽真空器主要起抽出容器内的气体的作用，抽真空器可以根据实际安装需要采用本领域技术人员所公知的连接方式安装在管道上，本领域技术人员应该注意的是，本实用新型并未对所述抽真空器的材料及结构进行具体限定，所述抽真空器可以采用本领域技术人员所公知的适合用于抽出化学桶或清洗桶中的气体的任何真空机，只要能够满足第一抽真空器和第二抽真空器用于抽真空的功能即可，例如，本实用新型可以采用内抽式真空机或外抽式真空机作为抽真空器使用。

连接组件包括连接头、液体导孔、气压输入孔、导管、惰性气体发生器、突出部、圆筒、弹簧、吸盘盖、穿孔、环形凹槽、抽真空孔、环状吸盘、抽气管和抽气泵，连接头上贯穿设置有供进液支管穿设的液体导孔及气压输入孔，导管穿设于气压输入孔中，连接头下端面沿轴向延伸有圆柱状突出部，突出部设有螺纹，连接头上端面沿液体导孔边缘延伸有圆筒，吸盘盖中部开设有穿孔，吸盘盖套设于圆筒上，吸盘盖与连接头之间的圆筒上套设有弹簧，吸盘盖底面设置有环形凹槽，凹槽中设有供抽气管贯穿的抽真空孔，环状的凹槽中固定设置有环状吸盘，环状吸盘的顶端设有气管通孔和抽气管，抽气管一端与抽气泵相连接，抽气管另一端与气管通孔相连接。

进液支管可沿液体导孔做适当上下移动及作360度旋转，以使进液支管延伸长度及调整进液支管与化学品桶底部的距离，将吸盘盖套设于化学品桶上方的盖口四周，启动抽气泵使环状吸盘中的气压降低，当环状吸盘中的空气被抽出时，气体即在抽气泵的作用下经由抽气管而往外排出，环状吸盘形成相当大的吸力，使吸盘套能吸在化学品桶上，连接头因弹簧的压力而紧贴于化学品桶的盖口上以形成闭合状态，突出部设有螺纹，可同时向化学桶中添加多种化学品。优选地，化学品桶的盖口内壁开设有内螺纹，该内螺纹与突出部的螺纹螺纹配合。

抽气管靠近抽气泵的一端设置有调压阀，抽气管上还设置有用于控制抽气管接通或截断的抽气阀。

调压阀主要用于调节抽气管中的压力，保证环状吸盘内的压力在正常工作范围内，抽气阀用于接通或截断抽气管中的气体，抽气阀进一步保证环状吸盘内的压力稳定。

第一抽空管上设置有第一真空调压阀和第一真空过滤器，第一真空过滤器设置于第一真空调压阀与化学桶之间，第二抽空管上设置有第二真空调压阀和第二真空过滤器，第二真空过滤器设置于第二真空调压阀与清洗桶之间。

第一抽空管上设置有第一压力表，第一压力表设置于第一真空调压阀和电镀槽之间，第二抽空管上设置有第二压力表，第二压力表设置于第二真空调压阀和电镀槽之间。

化学桶上设置有化学桶盖，化学桶盖呈圆锥状，化学桶盖与化学桶法兰连接。

化学桶上开设有圆锥孔，伸入圆锥孔内的化学桶盖的外壁与圆锥孔的内壁紧密贴合，增大接触面积，提高了稳定性，使得化学桶盖可稳定放置，在运输过程中不易倾斜翻转。

化学桶盖上设置有激光测距仪，化学桶内放置有反光浮板，激光测距仪布置于反光浮板正上方，反光浮板呈板状，反光浮板传与化学桶同轴设置，激光测距仪布置在化学桶中心线的同心圆上。

通过激光测距仪的测距功能测量出与激光测距仪与反光浮板之间的距离，该距离数据加上反光浮板的厚度即为液面和激光测距仪的距离，化学桶桶底和激光测距仪的距离与液面和激光测距仪的距离的差值为化学桶的液位。避免化学桶侧面设置刻度检测手段相比，具有检测快速、准确，能有效避免现有检测工具或因工作人员操作不当导致测量误差较大的优点。

化学管上设置有化学阀，化学阀设置于电镀槽与化学泵之间。

在化学桶中注入电镀液时，使用化学阀截断化学管中的介质，启动第一抽真空器使化学桶内产生的负压使得化学品从化学品桶中吸入化学桶内，关闭第一抽真空器，化学桶内的化学品停止向化学桶中注入。化学阀的作用是接通或截断化学管中的介质，化学阀可以根据实际安装需要采用本领域技术人员所公知的安装方式安装在化学管上，本领域技术人员应该注意的是，本实用新型并未对所述化学阀的材料及结构进行具体限定，所述化学阀可以采用本领域技术人员所公知的适合用于接通或截断化学管中的介质的任何阀门，只要能够满足化学阀用于接通或截断化学管中的介质即可，例如，本实用新型可以采用截止阀、旋塞阀、球阀和蝶阀作为化学阀使用。

清洗管上设置有清洗阀，清洗阀设置于电镀槽与清洗泵之间。

在清洗桶中注入电镀液时，使用清洗阀截断清洗管中的介质，启动第二抽真空器使清洗桶内产生的负压使得电镀液从电镀槽中吸入清洗桶内，关闭第二抽真空器，电镀槽内的电镀液停止注入清洗桶。清洗阀的作用是接通或截断清洗管中的介质，清洗阀可以根据实际安装需要采用本领域技术人员所公知的安装方式安装在清洗管上，本领域技术人员应该注意的是，本实用新型并未对所述清洗阀的材料及结构进行具体限定，所述清洗阀可以采用本领域技术人员所公知的适合用于接通或截断清洗管中的电镀液的任何阀门，只要能够满足清洗阀用于接通或截断清洗管中的介质即可，例如，本实用新型可以采用截止阀、旋塞阀、球阀和蝶阀作为清洗阀使用。

进液主管上设置有流量阀。

流量阀的作用是在阀的进出口压差变化的情况下，利用调节阀芯和阀体间的节流口面积和它所产生的局部阻力对流量进行调节，从而控制执行元件的运动速度。流量阀能够根据设计来设定流量并维持通过的流量恒定，从而维持进液主管管中的流量恒定，流量阀可在水压作用下，自动消除进液主管的剩余压头及化学桶中的压力波动所引起的流量偏差。

本实用新型的有益效果为：通过在化学桶和清洗桶内产生负压将电镀液吸出，抽真空器不会直接接触电镀液，易于更换维修，防止定量泵出现故障或被异物堵塞而难以更换，避免人工操作时直接接触电镀液，避免危害操作者的身体健康。

附图说明

附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1为本实用新型一实施例提供的电镀槽自动加料装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的连接组件的结构示意图；

图中标记：1-电镀槽，2-化学桶，21-化学泵，22-化学管，221-化学阀，23-进液主管，231-流量阀，24-进液支管，241-支管阀，25-化学桶盖，4-清洗桶，41-清洗泵，42-清洗管，421-清洗阀，43-排液管，5-第一抽真空器，51-第一抽空管，6-第二抽真空器，61-第二抽空管，7-滤网，3-连接组件，31-连接头，311-液体导孔，312-气压输入孔，32-突出部，313-圆筒，33-弹簧，34-吸盘盖，341-穿孔，342-环形凹槽，343-抽真空孔，344-环状吸盘，345-抽气管，346-调压阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指如图1所示的上下左右，“内、外”是指具体轮廓上的内与外。“远、近”是指相对于某个部件的远与近。

实施例1

如图1-2中所示，本实用新型一实施例提供的一种电镀槽自动加料装置，包括电镀槽1、化学桶2、化学泵21、化学管22、进液主管23、进液支管24、支管阀241、连接组件3、清洗桶4、清洗泵41、清洗管42、排液管43、第一抽真空器5、第一抽空管51、第二抽真空器6和第二抽空管61，电镀槽1顶部设置有与化学桶2底部连通的化学管22，电镀槽1底部设置有与清洗桶4顶部连通的清洗管42，化学桶2顶部连通有进液主管23，进液主管23远离化学桶2的一端连通有若干进液支管24，每个进液支管24远离进液主管23的一端对应设有连接组件3，每个进液支管24上设置有支管阀241，清洗桶4底部连通有排液管43，化学管22上设置有化学泵21，清洗管42上设置有清洗泵41，第一抽真空器5连接有与化学桶2顶部相连通的第一抽空管51，第二抽真空器6连接有与清洗桶4顶部相连通的第二抽空管61。

第一抽空管51和第二抽空管61上分别设置有控制管道接通或截断的抽气阀，第一抽空管51上抽气阀与化学桶2之间还设置有第一抽气组件，第一充气组件包括惰性气体发生器、与惰性气体发生器连通的第一充气管和控制第一充气管接通或截断的第一电磁阀，第一充气管连通第一抽空管51。第二抽空管61上抽气阀与化学桶2之间还设置有第二抽气组件，第二充气组件包括第二充气管和控制第二充气管接通或截断的第二电磁阀，第二电磁阀设置于第二充气管上，第二充气管连通第二抽空管61。

第一抽真空器5和第二抽真空器6主要起抽出容器内的气体的作用，第一抽真空器5和第二抽真空器6均为DZD-400/S单室真空机。

化学管22上设置有化学阀221，化学阀221设置于电镀槽1与化学泵21之间，化学阀221为截止阀。在化学桶2中注入电镀液时，使用化学阀221截断化学管22中的介质，启动第一抽真空器5使化学桶2内产生的负压使得化学品从化学品桶中吸入化学桶2内，关闭第一抽真空器5，化学桶2内的化学品停止向化学桶2中注入。

清洗管42上设置有清洗阀421，清洗阀421设置于电镀槽1与清洗泵41之间，清洗阀421为蝶阀。在清洗桶4中注入电镀液时，使用清洗阀421截断清洗管42中的介质，启动第二抽真空器6使清洗桶4内产生的负压使得电镀液从电镀槽1中吸入清洗桶4内，关闭第二抽真空器6，电镀槽1内的电镀液停止注入清洗桶4。

第一抽真空器5抽真空时关闭化学阀221，打开第一抽空管51上的抽气阀并且关闭第一电磁阀，从而使第一抽空管51保持接通状态，第一充气管保持截断状态，第一抽真空器5抽真空使化学桶2内部气体减少，化学桶2内气压降低，化学桶2内产生的负压可将化学品桶内的容液抽到化学桶2内；关闭第一抽空管51上的抽气阀并且打开第一电磁阀，通过第一充气管将惰性气体充入到化学桶2内。第二抽真空器6抽真空时打开第二抽空管61上的抽气阀并且关闭第二电磁阀，从而使第二抽空管61保持接通状态，第二充气管保持截断状态，第二抽真空器6抽真空使清洗桶4内部气体减少，清洗桶4内气压降低，清洗桶4内产生的负压可将电镀槽1内的电镀液抽到清洗桶4内；关闭第二抽空管61上的抽气阀并且打开第二电磁阀，通过第二充气管将气体充入到清洗桶4内。

第二充气管远离第二抽气管345的一端与外界大气连通。通过第一抽真空器5在化学桶2内形成负压与化学阀221的配合，可以将化学品桶内的电镀液抽到化学桶2内，通过第二抽真空器6在清洗桶4内形成负压与清洗阀421的配合，可以将电镀槽1内的电镀液抽到清洗桶4内，实现避免定量泵直接设置于电镀槽1中从而接触电镀液，防止当定量泵出现故障或被异物堵塞时难以更换，并且可用第一抽气管345和第二抽气管345的抽气管345路将向相关容器中充气，无需在相关容器上另外单独设置充气管路。进液主管23连通有若干进液支管24，每个进液支管24远离进液主管23的一端对应设有连接组件3，通过多个连接组件3可同时向化学桶2中添加多种化学品。

连接组件3包括连接头31、液体导孔311、气压输入孔312、导管、惰性气体发生器、突出部32、圆筒313、弹簧33、吸盘盖34、穿孔341、环形凹槽342、抽真空孔343、环状吸盘344、抽气管345和抽气泵，连接头31上贯穿设置有供进液支管24穿设的液体导孔311及气压输入孔312，导管穿设于气压输入孔312中，连接头31下端面沿轴向延伸有圆柱状突出部32，突出部32设有螺纹，连接头31上端面沿液体导孔311边缘延伸有圆筒313，吸盘盖34中部开设有穿孔341，吸盘盖34套设于圆筒313上，吸盘盖34与连接头31之间的圆筒313上套设有弹簧33，吸盘盖34底面设置有环形凹槽342，凹槽中设有供抽气管345贯穿的抽真空孔343，环状的凹槽中固定设置有环状吸盘344，环状吸盘344的顶端设有气管通孔和抽气管345，抽气管345一端与抽气泵相连接，抽气管345另一端与气管通孔相连接，吸盘盖34上开设有供气体进出的气体输入空，气体输入孔中可拆卸的放置有密封塞，密封塞与气体输入孔内壁过盈配合。

进液支管24可沿液体导孔311做适当上下移动及作360度旋转，以使进液支管24延伸长度及调整进液支管24与化学品桶底部的距离，将吸盘盖34套设于化学品桶上方的盖口四周，启动抽气泵使环状吸盘344中的气压降低，当环状吸盘344中的空气被抽出时，气体即在抽气泵的作用下经由抽气管345而往外排出，环状吸盘344形成相当大的吸力，使吸盘套能吸在化学品桶上，连接头31因弹簧33的压力而紧贴于化学品桶的盖口上以形成闭合状态，突出部32设有螺纹，可同时向化学桶2中添加多种化学品。优选地，化学品桶的盖口内壁开设有内螺纹，该内螺纹与突出部32的螺纹螺纹配合。

抽气管345靠近抽气泵的一端设置有调压阀346，抽气管345上还设置有用于控制抽气管345接通或截断的抽气阀。

调压阀346主要用于调节抽气管345中的压力，保证环状吸盘344内的压力在正常工作范围内，抽气阀用于接通或截断抽气管345中的气体，抽气阀进一步保证环状吸盘344内的压力稳定。

第一抽空管51上设置有第一真空调压阀346和第一真空过滤器，第一真空过滤器设置于第一真空调压阀346与化学桶2之间，第二抽空管61上设置有第二真空调压阀346和第二真空过滤器，第二真空过滤器设置于第二真空调压阀346与清洗桶4之间。

第一抽空管51上设置有第一压力表，第一压力表设置于第一真空调压阀346和电镀槽1之间，第二抽空管61上设置有第二压力表，第二压力表设置于第二真空调压阀346和电镀槽1之间。

化学桶2上设置有化学桶2盖，化学桶2盖呈圆锥状，化学桶2盖与化学桶2法兰连接。

化学桶2上开设有圆锥孔，伸入圆锥孔内的化学桶2盖的外壁与圆锥孔的内壁紧密贴合，增大接触面积，提高了稳定性，使得化学桶2盖可稳定放置，在运输过程中不易倾斜翻转。

化学桶2盖上设置有激光测距仪，化学桶2内放置有反光浮板，激光测距仪布置于反光浮板正上方，反光浮板呈板状，反光浮板传与化学桶2同轴设置，激光测距仪布置在化学桶2中心线的同心圆上。

通过激光测距仪的测距功能测量出与激光测距仪与反光浮板之间的距离，该距离数据加上反光浮板的厚度即为液面和激光测距仪的距离，化学桶2桶底和激光测距仪的距离与液面和激光测距仪的距离的差值为化学桶2的液位。避免化学桶2侧面设置刻度检测手段相比，具有检测快速、准确，能有效避免现有检测工具或因工作人员操作不当导致测量误差较大的优点。

进液主管23上设置有流量阀231。

流量阀231的作用是在阀的进出口压差变化的情况下，利用调节阀芯和阀体间的节流口面积和它所产生的局部阻力对流量进行调节，从而控制执行元件的运动速度。流量阀231能够根据设计来设定流量并维持通过的流量恒定，从而维持进液主管23管中的流量恒定，流量阀231可在水压作用下，自动消除进液主管23的剩余压头及化学桶2中的压力波动所引起的流量偏差。

实施例2

一种电镀槽自动加料装置，包括电镀槽1、化学桶2、清洗桶4、第一抽真空器5、第二抽真空器6，电镀槽1顶部设置有与化学桶2底部连通的化学管22，电镀槽1底部设置有与清洗桶4顶部连通的清洗管42，化学桶2顶部连通有进液主管23，进液主管23远离化学桶2的一端连通有若干进液支管24，每个进液支管24远离进液主管23的一端对应设有连接组件3，每个进液支管24上设置有支管阀241，清洗桶4底部连通有排液管43，化学管22上设置有化学泵21，清洗管42上设置有清洗泵41，第一抽真空器5连接有与化学桶2顶部相连通的第一抽空管51，第二抽真空器6连接有与清洗桶4顶部相连通的第二抽空管61。

第一抽空管51和第二抽空管61上分别设置有控制管道接通或截断的抽气阀，第一抽空管51上抽气阀与化学桶2之间还设置有第一抽气组件，第一充气组件包括惰性气体发生器、与惰性气体发生器连通的第一充气管和控制第一充气管接通或截断的第一电磁阀，第一充气管连通第一抽空管51。第二抽空管61上抽气阀与化学桶2之间还设置有第二抽气组件，第二充气组件包括第二充气管和控制第二充气管接通或截断的第二电磁阀，第二电磁阀设置于第二充气管上，第二充气管连通第二抽空管61。

第一抽真空器5和第二抽真空器6主要起抽出容器内的气体的作用，第一抽真空器5和第二抽真空器6均为DZD-400/S单室真空机。

化学管22上设置有化学阀221，化学阀221设置于电镀槽1与化学泵21之间，化学阀221为截止阀。在化学桶2中注入电镀液时，使用化学阀221截断化学管22中的介质，启动第一抽真空器5使化学桶2内产生的负压使得化学品从化学品桶中吸入化学桶2内，关闭第一抽真空器5，化学桶2内的化学品停止向化学桶2中注入。

清洗管42上设置有清洗阀421，清洗阀421设置于电镀槽1与清洗泵41之间，清洗阀421为蝶阀。在清洗桶4中注入电镀液时，使用清洗阀421截断清洗管42中的介质，启动第二抽真空器6使清洗桶4内产生的负压使得电镀液从电镀槽1中吸入清洗桶4内，关闭第二抽真空器6，电镀槽1内的电镀液停止注入清洗桶4。

第二充气管远离第二抽气管345的一端连接有活性炭过滤装置。

实施例3

一种电镀槽自动加料装置，包括电镀槽1、化学桶2、清洗桶4、第一抽真空器5、第二抽真空器6，电镀槽1顶部设置有与化学桶2底部连通的化学管22，电镀槽1底部设置有与清洗桶4顶部连通的清洗管42，化学桶2顶部连通有进液主管23，进液主管23远离化学桶2的一端连通有若干进液支管24，每个进液支管24远离进液主管23的一端对应设有连接组件3，每个进液支管24上设置有支管阀241，清洗桶4底部连通有排液管43，化学管22上设置有化学泵21，清洗管42上设置有清洗泵41，第一抽真空器5连接有与化学桶2顶部相连通的第一抽空管51，第二抽真空器6连接有与清洗桶4顶部相连通的第二抽空管61。

第一抽空管51和第二抽空管61上分别设置有控制管道接通或截断的抽气阀，第一抽空管51上抽气阀与化学桶2之间还设置有第一抽气组件，第一充气组件包括惰性气体发生器、与惰性气体发生器连通的第一充气管和控制第一充气管接通或截断的第一电磁阀，第一充气管连通第一抽空管51。第二抽空管61上抽气阀与化学桶2之间还设置有第二抽气组件，第二充气组件包括第二充气管和控制第二充气管接通或截断的第二电磁阀，第二电磁阀设置于第二充气管上，第二充气管连通第二抽空管61。

第一抽真空器5和第二抽真空器6主要起抽出容器内的气体的作用，第一抽真空器5和第二抽真空器6均为DZD-400/2S双室真空机。

化学管22上设置有化学阀221，化学阀221设置于电镀槽1与化学泵21之间，化学阀221为截止阀。在化学桶2中注入电镀液时，使用化学阀221截断化学管22中的介质，启动第一抽真空器5使化学桶2内产生的负压使得化学品从化学品桶中吸入化学桶2内，关闭第一抽真空器5，化学桶2内的化学品停止向化学桶2中注入。

清洗管42上设置有清洗阀421，清洗阀421设置于电镀槽1与清洗泵41之间，清洗阀421为蝶阀。在清洗桶4中注入电镀液时，使用清洗阀421截断清洗管42中的介质，启动第二抽真空器6使清洗桶4内产生的负压使得电镀液从电镀槽1中吸入清洗桶4内，关闭第二抽真空器6，电镀槽1内的电镀液停止注入清洗桶4。

第二充气管远离第二抽气管345的一端连接有第二惰性气体发生装置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。