流体输送装置以及具备了该流体输送装置的燃料电池的制作方法

专利名称：流体输送装置以及具备了该流体输送装置的燃料电池的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过使振动板在超声波域内振动来输送流体的流体输送 装置以及具备了该流体输送装置的燃料电池。
背景技术：
近年来， 一直研究在便携式电话等小型电子设备中搭载燃料电池作为 电源的方法。
燃料电池由于能量转换效率高且不会因发电反应而产生有害物质，因 此作为各种电气设备的能源而受到重视。在燃料电池中，在电解质膜的两
侧配置空气极以及燃料极而构成膜 电极接合体(MFA)，向MEA的空气 极侧供给空气或氧等氧化性气体，并且在气体或液体状态下向MEA的燃 料极侧供给甲醇等燃料，由此进行发电。
为了在小型电子设备中搭载燃料电池，需要小型化向燃料电池的空气 极和燃料极供给空气和燃料的流体输送装置。
目前，作为小型的流体输送装置，提出了利用表面弹性波进行流体的 输送的装置(例如，参照日本国公开特许公报2004-14192号)、利用团扇 状的部件的振动进行流体的输送的装置(例如，参照日本国公开特许公报 2004-214128号以及日本国特许公报2002-184430号)、利用隔膜型压电振 子进行流体的输送的装置(例如，参照日本国公开特许公报昭63-162980 号)、利用声波进行流体的输送的装置(例如，参照日本国公开特许公报 昭63-72295号)等。
然而，现有的任意一种流体输送装置，在小型化到能够与燃料电池一 起搭载在小型电子设备的程度上存在困难，不能实用化。

发明内容
本发明的目的在于提供一种与现有技术相比小型且结构简单的流体输送装置。
因此，本发明者们为了实现上述目的而致力研究的结果是，在超声波泵中获得启发，而在小型流体输送装置的开发中取得了成功。
例如，如图31所示，超声波泵是这样一种结构，即，在液槽(100)
中浸渍圆筒状喷嘴(101)的前端部，并且将该喷嘴(101)的基端部与超声波振动装置(103)连结而构成，通过对喷嘴(101)施加垂直方向的超声波振动，而将液槽(100)中的液体从喷嘴(101)吸起，通过与喷嘴(101)的前端部对置配置板(102)，并设置间隙G来获得更大的喷出量(例如，参照Japanese Journal of Applied Physics Vol.43 No.5 B，2004 "An UltrasonicSuction Pump with No Physically Moving Parts" 、 Japanese Journal of AppliedPhysics Vol.44 No.6 B,2005 "Characteristics of Ultrasonic Suction PumpWithout Moving Parts" 、 Science Direct Ultrasonics 44(2006))。
在本发明的第一流体输送装置中，面向规定的流路设置振动板，并且流路形成板夹设在该流路中，在该流路形成板上开设至少一个流路孔，在所述振动板和所述流路形成板之间设置间隙，使所述振动板在超声波域内振动时在所述振动板和流路形成板之间产生静压，在该静压的作用下输送流体。
本发明者们实验性地确认了以下现象在所述本发明的第一流体输送装置中，若使振动板在超声波域内振动，则在流路内流体从面向振动板的流路孔的入口侧向与振动板相反的出口侧流动。认为其原理与图31所示
的上述超声波泵基本相同，本发明的所述间隙相当于图31所示的超声波泵的间隙G。
即考虑有，在振动板的振动的作用下所述间隙变动，振动的一个周期内，在间隙变小的半周期中，流体收縮且弹性系数变大，与此相对，在间隙变大的半周期中，流体膨胀且弹性系数变小，因此在间隙变小的半周期和间隙变大的半周期内，伴随着振动的动压变化的波形产生差异，其结果是，在时间平均值产生有限的静压，在该静压的作用下将流体向一个方向输送。
具体而言，与所述流路平行或与所述流路正交地设置所述振动板和流路形成板。另外，具体而言，所述振动板和流路形成板之间的间隙设定为小于和隔着流路形成板设置在与振动板相反侧的流路壁之间的间隙。
由此，在流路形成板的流路孔中流体从面向振动板的入口向面向所述流路壁的出口流动。
另外，在所述振动板上朝向所述流路形成板的流路孔突出设置有突片。
由此，能够促进流体从流路形成板的流路孔的入口向出口的流动。
在其他具体的结构中，在所述流路形成板上开设有多个流路孔，在该多个流路孔中，与位于流路的上游侧的流路孔的内径相比，位于流路的下游侧的流路孔的内径变大。
或者，所述流路形成板和隔着所述流路形成板而设置在与振动板相反的一侧的流路壁之间的间隙，从流路的上游侧向下游侧增大。
由此，能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动。
在更加具体的结构中，所述振动板由声阻抗从流路的流体的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地减少的材质形成。由此，从流路的流体的上游侧向下游侧，通过流路内的流体的振动能量与流路壁的反射率降低。
或者，所述振动板形成为其厚度从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地变薄。由此，从流路的上游侧向下游侧，振动板的振幅变大。
或者，开设在所述流路形成板上的多个流路孔配置为相互的间隔从流路的上游侧向下游侧逐渐变大。
这些具体的结构能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动。
在本发明的第二流体输送装置中，振动板夹设在规定的流路中，在该振动板上开设有至少一个流路孔，在该振动板和与该振动板对置的流路壁之间设置间隙，使该振动板在超声波域内振动时在该振动板和所述流路壁之间产生静压，在该静压的作用下输送流体。
本发明者们实验性地确认了以下现象在所述本发明的第二流体输送装置中，若使振动板在超声波域内振动，则流体在流路内从流路孔的入口
侧向出口侧流动。认为其原理与图31所示的上述超声波泵基本相同，本发明的所述间隙相当于图31所示的超声波泵的间隙G。
即考虑有，在振动板的振动的作用下所述间隙变动，振动的一个周期内，在间隙变小的半个周期中，流体收縮且弹性系数变大，与此相对，在间隙变大的半个周期中，流体膨胀且弹性系数变小，因此在间隙变小的半个周期和间隙变大的半个周期内，伴随着振动的动压变化的波形产生差异，其结果是，在时间平均值内产生有限的静压，在该静压的作用下将流体向一个方向输送。
在具体的结构中，与所述流路平行或与所述流路垂直地设置所述振动板和所述流路壁。
或者，具体而言，所述振动板和流路形成板之间的间隙设定为小于和隔着流路形成板设置在与振动板相反侧的另一方的流路壁之间的间隙。
由此，在振动板的流路孔中流体从面向所述流路壁的入口向面向所述另一个流路壁的出口流动。
另外，在所述流路壁上朝向所述振动板的流路孔突出设置有突片。
由此，促进流体从振动板的流路孔的入口向出口的流动。
在其他具体结构中，在所述振动板上开设有多个流路孔，在该多个流路孔中，与位于流路的上游侧的流路孔的内径相比，位于流路的下游侧的流路孔的内径变大。
或者，所述振动板和隔着所述振动板设置在与所述流路壁相反侧的流路壁之间的间隙从流路的上游侧向下游侧增大。
由此，能够促进流体从流路孔的入口侧向出口侧的流动。
在更加具体的结构中，所述振动板由声阻抗从流路的流体的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地减少的材质形成。由此，从流路的流体的上游侧向下游侧，与流路内的流体的反射率降低。
或者，所述振动板形成为其厚度从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地变薄。由此，从流路的上游侧向下游侧，振动板的振幅变大。
或者，开设在所述流路形成板上的多个流路孔配置为相互的间隔从流路的上游侧向下游侧逐渐变大。
这些具体的结构能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动。
另外，本发明的燃料电池具备所述的流体输送装置，沿着形成于该流体输送装置的流路来设置膜电极接合体。
根据该燃料电池，通过流体输送装置向膜电极接合体供给需要的流体。将该燃料电池搭载在电子设备中，由此实现电子设备的小型化。发明效果
根据本发明，能够实现与现有技术相比小型且结构简单的流体输送装置以及燃料电池。


图1是本发明的第一流体输送装置的剖面图。
图2是第一流体输送装置的流路形成板的水平剖面图。
图3是设有突片的示例的剖面图。
图4是说明在振动板所产生的振动模式的图。
图5是表示使流路孔的内径变化的示例的剖面图。
图6是表示使出口侧的间隙向下游增大的示例的剖面图。
图7是说明在圆形的振动板所产生的振动模式的图。
图8是表示在振动板产生疏密波的示例的剖面图。
图9是表示将流路形成板与流路垂直地设置的结构例的垂直纵剖面图。
图IO是该结构例的垂直横剖面图。图11是该结构例的水平剖面图。
图12是表示与振动板以及压电元件相关的其他结构例的水平剖面图。图13是表示流入口的位置的剖面图。
图14是在流路的下游侧配置流体输送装置的主要部分的示例的剖面图。
图15是本发明的第二流体输送装置的剖面图。
图16是第二流体输送装置的振动板的俯视图。
图17是设有突片的示例的剖面图。
图18是说明在振动板所产生的振动模式的图。
图19是表示使流路孔的内径变化的示例的剖面图。
图20是表示使出口侧的间隙向下游增大的示例的剖面图。
图21是说明在圆形的振动板所产生的振动模式的图。
图22是表示在振动板产生疏密波的剖面图。
8图23是表示将振动板与流路垂直地设置的结构例的垂直纵剖面图。
图24是该结构例的垂直横剖面图。
图25是该结构例的水平剖面图。
图26是设有突片的结构例的垂直纵剖面图。
图27是该结构例的水平剖面图。
图28是表示流路孔的形状的剖面图。
图29是表示与振动板以及压电元件相关的其他结构例的水平剖面图。 图30是在流路的下游侧配置流体输送装置的主要部分的示例的剖面图。
图31是现有的超声波泵的剖面图。
符号说明l-MEA， 2-振动板，3-压电元件，4-流路形成板，41-流路 孔，5-框体，7-突片，8-振动板，9-板。
具体实施例方式
以下，根据附图对将本发明实施在燃料电池的流体输送装置的方式具 体地进行说明。
如图1所示，本发明的第一流体输送装置与膜电极接合体(1)(以下， 称为MFA (l))的表面对置，将平板状的振动板(2)平行地设置，从而 在MEA (1)和振动板(2)之间形成流路，并且使流路形成板(4)以平 行的姿势夹设在该流路中。
如图4的(a) (b)所示，在振动板(2)的表面设置压电元件(3)， 从而对振动板(2)施加超声波域的振动。由此，如图4的(a)中虚线所 示的那样，在振动板(2)上、在与所述流路垂直的面内产生弯曲波。
如图2所示，在流路形成板(4)开设有分散到与所述流路的对置面 的整个面上的多个流路孔(41)。另外，如图l所示，流路形成板(4)和 振动板(2)的对置面之间的间隙G1设定为小于流路形成板(4)和MEA (1)的对置面之间的间隙G2。还有，优选流路孔(41)与弯曲波的波腹 的位置对置配置。
由此，如图1中箭头所示的那样，在MEA (1)和振动板(2)之间 的流路中形成流体从振动板(2)侧通过流路形成板(4)的流路孔(41)而向MEA (1)侧流动。
其结果，形成流体沿MEA (1)的表面的流动，从而向MEA (1)的 表面供给流体，MEA (1)进行发电。
图3表示在图1所示的流体输送装置的振动板(2)的表面设有向流 路形成板(4)的各流路孔(41)突出的多个突片(7)的结构，由此，能 够促进流体从振动板(2)侧通过流路形成板(4)的流路孔(41)而向 MEA (1)侧的流动。
其结果，形成流体沿MEA (O的表面的流动，从而向MEA (1)供 给流体，MEA (1)进行发电。
在图5所示的流体输送装置中，流体形成板(4)和MEA (1)的对 置面之间的间隙G1设定为小于流路形成板(4)和压电元件(3)的对置 面之间的间隙G2，并且在开设于流路形成板(4)的多个流路孔(42)中， 与位于流路的上游侧的流路孔(42)的内径相比，位于下游侧的流路孔(42) 的内径变大。
由此，能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动，从而流量增大。
另外，能够控制流体向MEA (1)侧的排出方向的流动，因此能够有 效地形成流体的流动。
另外，在图6所示的流体输送装置中，振动板(2)以及流路形成板 (4)以倾斜的方式安装，与流路形成板(4)和MEA (1)的对置面之间 的上游侧的间隙G3相比，下游侧的间隙G4较大，且这些间隙G3以及 G4设定为大于流路形成板(4)和振动板(2)的对置面之间的间隙G1。
由此，能够促进流体从上游侧向下游侧的流动，从而流量增大。
另外，能够控制MEA (1)侧的流体向排出方向的流动，因此能够有 效地形成流体的流动。
图7的(a) (b)示出了在圆形的振动板(21)的表面设置环状的压 电元件(31)，如图中的虚线所示的那样对振动板(21)施加弯曲振动的 流体输送装置。根据该流体输送装置，例如如图中的实线箭头所示的那样， 能够产生流体从振动板(21)的外侧向内侧的流动。
另外，图8表示在振动板(2)的侧面设置压电元件(3)，从而在振 动板(2)产生垂直方向的疏密波的结构，由此也同样能够在流路内产生一个方向的流动。
在图9所示的流体输送装置中，覆盖MEA(1)的表面而设置框体(5)， 从而在MEA (1)和框体(5)的对置面之间形成流路，在该流路的端部 与该流路正交地设置振动板(22)，并且在该流路中与该流路正交地设置 流路形成板(43)。在振动板(22)的背面安装有压电元件(32)。
如图IO所示，在流路形成板(43)，在与所述振动板(22)对置的整 个面上开设有多个流路孔(44)。
如图11所示，在所述流体输送装置中，通过对振动板(22)施加弯 曲振动，由此从设于框体(5)的振动板(22)侧的端部的流入口 (省略 图示)通过流路形成板(43)的流路孔(44)向设于框体(5)的另一个 端部的流出口输送流体。
所述流体输送装置并不局限于在振动板(22)上产生一次振动模式的 结构，如图12的(a)所示，在振动板(22)的端部设置压电元件(33)， 从而能够如图中的虚线所示的那样在振动板(22)上产生高次的振动模式。 这里，若构成为在振动板(22)上产生的振动的波腹的位置与流路形成板 (43)的各流路孔(44)对应的结构，则能够有效地输送流体。
另外，如图12的(b)所示，排列多个振动板(23)，且在各振动板 (23)上设置压电元件(33)，由此也能够产生高次的振动模式。这里， 通过使各振动板(23)与流路形成板(43)的各流路孔(44)对置配置， 而能够有效地输送流体。
进而，如图12的(c)所示，也可以采用在振动板(22)的侧面设置 压电元件(33)，从而相对于振动板(22)在与所述流路正交的面内产生 疏密波的结构。
图13是表示在框体(5)开设有流入口 (51)的示例，该流入口 (51) 朝向流路形成板(43)和振动板(22)之间的流路上游部开口。
图14是表示在由框体(52)形成的流路的下游侧设置振动板(24)， 并且在框体(52)上与该振动板(24)对置开设有流路孔(53)的示例， 如此也能够在流路的下游侧配置流体输送装置的主要部分。
如图15所示，在本发明的第二流体输送装置中，与MEA (1)的表 面对置设置框体(54)，在MEA (1)和框体(54)之间形成流路，并且将平板状的振动板(8)以平行的姿势夹设在该流路中。
如图18的(a) (b)所示，在振动板(8)的表面设置压电元件(3), 对振动板(8)施加超声波域的振动。由此，如图18的(a)中虚线所示 的那样，在振动板(8)上，在与所述流路平行的面内产生弯曲波。
如图16所示，在振动板(8)开设有分散到与所述流路对置的整个面 上的多个流路孔(81)。另外，如图15所示，MEA (1)和振动板(8)的 对置面之间的间隙G1设定为小于振动板(8)和框体(54)的对置面之间 的间隙G2。
由此，如图15中箭头所示的那样，在MEA (1)和框体(54)之间 的流路形成从MEA (1)侧通过振动板(8)的流路孔(81)向框体(54) 侧的流体的流动。
其结果，形成流体沿MEA (1)的表面的流动，从而向MEA (1)的 表面供给流体，MEA (1)进行发电。
图17是在图15所示的流体输送装置的MEA (1)的表面设有向振动 板(8)的各流路孔(81)突出的多个突片(7)的结构，由此，能够促进 流体从MEA (1)侧通过振动板(8)的流路孔(81)向框体(54)侧的 流动。
其结果，形成流体沿MEA (1)的表面的流动，从而向MEA (1)的 表面供给流体，MEA (1)进行发电。
在图19所示的流体输送装置中，MEA (1)和振动板(8)的对置面 之间的间隙G1设定为小于振动板(8)和框体(54)的对置面之间的间隙 G2，并且在开设于振动板(8)的多个流路孔(82)中，与位于流路的上 游侧的流路孔(82)的内径相比，位于下游侧的流路孔(82)的内径变大。
由此，能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动，从而流量增大。
另外，由于能够控制流体向MEA (1)侧的排出方向的流动，因此能 够有效地形成流体的流动。
另外，在图20所示的流体输送装置中，以倾斜的姿势安装框体(54)， 振动板(8)和框体(54)的对置面之间的间隙大于MEA (1)的振动板 (8)的对置面之间的间隙G1，且与流路的上游侧的间隙G3相比，下游 侧的间隙G4大。
12由此，能够促进流体从流路的上游侧向下游侧的流动，从而流量增大。
另外，也能够控制流体向MEA (1)侧的排出方向的流动，因此能够
有效地形成流体的流动。
图21的(a) (b)表示在具有多个流路孔(84)的圆形的振动板(83) 的表面设置环状的压电元件(31)，且如图中的虚线所示的那样对振动板 (83)施加弯曲振动的流体输送装置。根据该流体输送装置，能够产生例 如从振动板(83)的外周侧向内周侧的流体的流动。
另外，图22示出了在振动板(8)的侧面设置压电元件(3)，相对于 振动板(8)产生垂直方向的疏密波的结构，由此也同样能够在流路内产 生同一方向的流动。
在图23所示的流体输送装置中，覆盖MEA (1)的表面而设置框体 (55)，从而在MEA (1)和框体(55)的对置面之间形成流路，在该流 路的端部与该流路正交地设置板(9)，并且在该流路中，与该流路正交地 设置振动板(85)。在振动板(85)的背面安装压电元件(33)。
如图24所示，在振动板(85)的与所述板(9)对置的整个面上开设 有多个流路孔(86)。
在所述流体输送装置中，通过对振动板(22)施加弯曲振动，从而从 设于框体(55)的板(9)侧的端部的流入口 (省略图示)通过振动板(85) 的流路孔(86)向设于框体(55)的另一端部的流出口输送流体。需要说 明的是，优选流路孔(86)与弯曲波的波腹的位置对置配置。
如图26以及图27所示，若在板(9)设有向振动板(85)的各流路 孔(86)突出的突片(91)，则该结构不受振动板(85)和板(9)的对置 面之间的间隙的大小的限制，从而能够形成流体从板(9)侧通过振动板 (85)的流路孔(86)的流动。
所述流体输送装置并不局限于如图28的(a)所示的那样在振动板(85) 开设圆形的流路孔(86)的结构，如该图的(b)所示开设矩形的流路孔 (87)的结构也能够获得同等的效果。
另外，如图29的(a) (b)所示，只要是在振动板(85)的流路孔(86) 中产生波腹的挠曲振动，在振动板(85)所产生的振动可以是一次模式也 可以是高次模式。进而，如图29的(c)所示，也可以采用在振动板(85)的各流路孔 (86)安装环状的压电元件(34)，从而对振动板(85)施加高次的振动 的结构。
更进一步，如图29的(d)所示，也可以采用在振动板(85)的端面 设置压电元件(33)，从而相对于振动板(85)，在与所述流路正交的面内 产生疏密波的结构。
图30的(a) (b)表示如下示例，即，在由框体(52)形成的流路的 下游侧设置板(92)，并且在框体(52)上，与该板(92)对置安装环状 的振动板(25)，并且在该振动板(25)安装有环状的压电元件(34)，这 样也能够在流路的下游侧配置流体输送装置的主要部分。
根据上述本发明的流体输送装置，通过如下简单的结构来使流体向一 个方向流动，S卩，面向流路设定振动板，并且在流路中形成流路孔，从而 调整该流路孔的入口侧和出口侧的间隙，因此能够通过比现有的流体输送 装置少的部件件数来实现简单结构的流体输送装置，由此，实现流体输送 装置的小型化、薄型化。从而，在搭载了燃料电池的小型电子设备中采用 本发明的流体输送装置，由此实现设备整体的小型化、薄型化。
而且，在本发明的流体输送装置中，能量损耗少，且能够减少消耗功 率，并且由于振动板以非可听带的频率振动，因此能够实现噪声低、且极 其安静的小型电子设备。
还有，应该考虑到所述各实施方式以及结构例在全部的点中只是例 示，但本发明并不局限于此。本发明的范围不局限于上述实施方式以及结 构例示说明，由权利要求书限定，进而包含与权利要求书等同的意思以及 范围内的全部变化。
例如，在图1所示的流体输送装置中，若使振动板(2)的材质构成 为声阻抗从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地减少，则能够更有 效地输送流体。在图15所示的流体输送装置中也同样，若使振动板(8) 的材质构成为声阻抗从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地减少， 则能够更有效地输送流体。
另外，在图1所示的流体输送装置中，若使振动板(2)的厚度构成 为从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地变薄，则能够更有效地输送流体。在图15所示的流体输送装置中也同样，若使振动板(8)的厚度 构成为从流路的上游侧向下游侧连续性地或阶段性地变薄，则能够更有效 地输送流体。
另外，在图1所示的流体输送装置中，若使流路形成板(4)的多个 流路孔(41)之间的间隔构成为从流路的上游侧向下游侧逐渐变大，则能 够更有效地输送流体。在图15所示的流体输送装置中也同样，若使振动 板(8)的多个流路孔(81)之间的间隔构成为从流路的上游侧向下游侧 逐渐变大，则能够更有效地输送流体。
进而，本发明的燃料电池能够用作便携式电话、用于对便携式电话进 行充电的充电器、摄像机等AV设备、携带用游戏机、导航装置、便携式 清洁器、家庭用发电器、工业用发电器、汽车、机器人等所有的电子设备 的电源。
权利要求
1.一种流体输送装置，其特征在于，面向规定的流路设置振动板，并且流路形成板夹设在该流路中，在该流路形成板上至少开设一个流路孔，在所述振动板和流路形成板之间设置间隙，使所述振动板在超声波域内振动时在所述振动板和流路形成板之间产生静压，在该静压的作用下输送流体。
2. 根据权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于，与所述流路平行地设置所述振动板和流路形成板。
3. 根据权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于， 所述振动板和流路形成板之间的间隙设定为小于和隔着流路形成板设置在与振动板相反侧的流路壁之间的间隙。
4. 根据权利要求2或3所述的流体输送装置，其特征在于， 在所述振动板上朝向所述流路形成板的流路孔突出设置有突片。
5. 根据权利要求2 4中任一项所述的流体输送装置，其特征在于， 在所述流路形成板上开设有多个流路孔，在该多个流路孔中，与位于流路的上游侧的流路孔的内径相比，位于流路的下游侧的流路孔的内径变 大。
6. 根据权利要求l所述的流体输送装置，其特征在于， 与所述流路正交地设置所述振动板和流路形成板。
7. —种流体输送装置，其特征在于，振动板夹设在规定的流路中，在该振动板上开设有至少一个流路孔， 在该振动板和与该振动板对置的流路壁之间设置间隙，使该振动板在超声 波域内振动时在该振动板和所述流路壁之间产生静压，在该静压的作用下 输送流体。
8. 根据权利要求7所述的流体输送装置，其特征在于， 与所述流路平行地设置所述振动板和所述流路壁，所述振动板和所述流路壁之间的间隙设定为与隔着振动板设置在与所述流路壁相反侧的流 路壁之间的间隙不同。
9. 根据权利要求8所述的流体输送装置，其特征在于，在设置于所述振动板的两侧的两个流路壁内，在与所述振动板的间隙 小的流路壁上朝向所述振动板的流路孔突出设置有突片。
10. 根据权利要求8所述的流体输送装置，其特征在于，在所述振动板上开设有多个流路孔，在该多个流路孔中，与位于流路 的上游侧的流路孔的内径相比，位于流路的下游侧的流路孔的内径变大。
11. 根据权利要求7所述的流体输送装置，其特征在于， 与所述流路正交地设置所述振动板和所述流路壁。
12. —种燃料电池，其特征在于，具备权利要求1~11中任一项所述的流体输送装置，沿着形成于该流 体输送装置的流路而设置膜电极接合体。
全文摘要
本发明提供一种与现有技术相比小型且构造简单的流体输送装置。在本发明的流体输送装置中，面向规定的流路设置振动板(2)，并且在流路形成板(4)夹设在该流路中，在该流路形成板(4)上至少开设一个流路孔(41)，在振动板(2)和流路形成板(4)之间设置间隙，使振动板(2)在超声波域内振动时在振动板(2)和流路形成板(4)之间产生静压，在该静压的作用下输送流体。
文档编号F04D33/00GK101663490SQ20088000966
公开日2010年3月3日 申请日期2008年3月18日 优先权日2007年3月30日
发明者中川龙幸, 中村健太郎, 木原均, 西川诚人 申请人:三洋电机株式会社