专利名称：一种真空泵水冷结构的制作方法
技术领域：
本发明属于真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵水冷结构。
背景技术：
干式真空泵是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。由于由普通的油封机械泵、扩散泵所组成的真空系统易于向真空室中返油，真空室中的油分子会在硅片晶体上沉积，使硅晶体成为废品。所以这样的真空系统在半导体工业、电子工业中的应用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。由于在半导体工艺中，使用的气体往往都是比较高的温度。高温气体经过反应腔进入泵体内部，最后经泵的排气口排出。因此气体将部分热量传给了干泵，同时由于多级干泵自身也不断压缩气体，产生大量热量，这些热量也有很大一部分传导到泵体上。经过多方面的热量传导干泵自身的温度就比较高，使得泵体内部的零部件由于高温而变形，这对泵自身的寿命以及人员安全都造成威胁。因此通过对泵体的冷却从而达到保护泵自身及使用人员的安全成为亟待解决的问题。发明的内容针对上述问题，本发明的目的在于提供一种真空泵水冷结构。该真空泵水冷结构极大地增加了冷却水与泵体的接触面积，从而增强了冷却效果。为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案:一种真空泵水冷结构，包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔体，所述进气腔体、多级腔体及排气腔体上均设有水流通道，各相邻腔体上的水流通道相通；所述水流通道的进水口设在进气腔体上，回水口设在排气腔体上。所述进气腔体的下部设有泄水口。所述进水口设在进气腔体的下部。所述回水口设在排气腔体的上部。所述水流通道在各腔体上围绕一周。所述多级腔体包括依次相连的一级腔体、一级隔板、二级腔体、三级腔体、四级腔体。所述一级腔体、一级隔板、二级腔体、三级腔体、四级腔体上水流通道的两端口处均设有凹槽。所述凹槽内设有O型密封圈。所述水流通道与各腔体为一体铸造。
本发明具有以下的优点:本发明相对于传统的盘管冷却，极大地增加了冷却水与泵体的接触面积，从而增强了冷却效果。腔体内水流通道为铸造完成无需加工，省去了水管和固定零件，节约了成本，同时无需人工盘管，减少了劳动时间，增加效率。
图1是本发明的结构示意图；图2是图1的左视图；图3是图1的俯视图；图4是图3的A-A剖视图；其中:1为进气腔体，2为一级腔体，3为一级隔板，4为二级腔体，5为三级腔体，6为四级腔体，7为排气腔体，8为泄水口，9为水流通道，10为进水口，11为回水口。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步描述。如图1 4所示，本发明包括依次相连的进气腔体1、多级腔体及排气腔体7，进气腔体1、多级腔体及排气腔体7上均设有水流通道9，水流通道9在各腔体上围绕一周，并可S形环绕，加大冷却面积。各相邻腔体上的水流通道9相通；水流通道9的进水口 10设在进气腔体I的下部，回水口 11设在排气腔体7的上部。进气腔体I的最下部设有泄水口 8。所述多级腔体包括依次连接的一级腔体2、一级隔板3、二级腔体4、三级腔体5、四级腔体6。在一级腔体2、一级隔板3、二级腔体4、三级腔体5、四级腔体6上的水流通道9的两端口处均设有凹槽，即密封槽。所述凹槽内设有O型密封圈进行静密封，再通过各个腔体间的连接压紧，进行有效的密封。各腔体内的水流通道9与各腔体为一体铸造完成，无需加工，省去了水管和固定零件，节约了成本，同时无需人工盘管，减少了劳动时间，增加效率。本发明的工作过程是:冷却水由进气腔体I上的进水口 10进入进气腔体I内的水流通道9，再经由一级腔体2、一级隔板3、二级腔体4、三级腔体5、四级腔体6、排气腔体7的水流通道9实现泵体内部的冷却，最后从排气腔体7上的回水口 11排出。若将各腔体内的冷却水排净，则从泄水口 8排出。
权利要求
1.一种真空泵水冷结构，其特征在于:包括依次相连的进气腔体(I)、多级腔体及排气腔体(7)，所述进气腔体(I)、多级腔体及排气腔体(7)上均设有水流通道(9)，各相邻腔体上的水流通道(9)相通；所述水流通道(9)的进水口(10)设在进气腔体(I)上，回水口(11)设在排气腔体(7)上。
2.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述进气腔体(I)的下部设有泄水口(8)。
3.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述进水口(10)设在进气腔体(I)的下部。
4.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述回水口(11)设在排气腔体(7)的上部。
5.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述水流通道(9)在各腔体上围绕一周。
6.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述多级腔体包括依次相连的一级腔体(2)、一级隔板(3)、二级腔体(4)、三级腔体(5)、四级腔体(6)。
7.按权利要求6所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述一级腔体(2)、一级隔板(3)、二级腔体(4)、三级腔体(5)、四级腔体(6)上水流通道(9)的两端口处均设有凹槽。
8.按权利要求7所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述凹槽内设有O型密封圈。
9.按权利要求1所述的真空泵水冷结构，其特征在于:所述水流通道(9)与各腔体为一体铸造。
全文摘要
本发明属于真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵水冷结构，包括依次相连的进气腔体、多级腔体及排气腔体，所述进气腔体、多级腔体及排气腔体上均设有水流通道，相邻腔体上的水流通道相通；所述水流通道的进水口设在进气腔体上，回水口设在排气腔体上。本发明极大地增加了冷却水与泵体的接触面积，从而增强了冷却效果。腔体内水流通道为铸造完成无需加工，省去了水管和固定零件，节约了成本，同时无需人工盘管，减少了劳动时间，增加效率。
文档编号F04C29/04GK103104496SQ20111035835
公开日2013年5月15日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者张振厚, 王光玉, 于明鹤 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司