真空泵的制作方法
【专利摘要】一种真空泵(10)，具有：泵壳(54)，泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的泵室(50a-50f)、入口(52a)和出口(52b)；转动轴(58)，转动轴在其相对端处可转动地支承并且在泵壳(54)的纵向方向上延伸；和转子(60a-60f)，转子容纳在泵室(50a-50f)内并且联接到转动轴(58)。泵壳(54)包括：第一导热构件(72)，第一导热构件平行于转动轴(58)延伸泵壳(54)在其纵向方向上的大致全长；和第二导热构件(74)，第二导热构件靠近第一导热构件(72)的在出口(52b)处的端部定位并且在泵壳(54)的横向方向上延伸。
【专利说明】真空泵
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种在充当用于生产半导体、液晶、太阳能电池、LED等的制造方法的一部分的诸如CVD工艺或刻蚀工艺的工艺中使用的真空泵，并且更具体地，涉及一种在可升华气体或腐蚀气体趋于流入真空泵的内部的工艺中使用的真空泵。
【背景技术】
[0002]当通过使用真空泵将被引入真空室的工艺气体在真空下排放时，真空泵的连接到真空室的入口区域保持在与真空室内的真空在同一水平的真空下，并且真空泵的出口区域基本上保持在大气压力下，因为它通向大气。当真空泵被致动以在真空下从真空室排放工艺气体时，由于待被排放的工艺气体由真空泵压缩，真空泵中产生压缩热量。
[0003]特别地，当通过使用多级真空泵将真空室内的工艺气体在真空下排放时，真空泵内的压力随着工艺气体流经真空泵的连续的泵室(诸如第一泵室、第二泵室和第三泵室)逐步地增加，并且随着工艺气体在泵室内被连续压缩产生压缩热量。因此，在真空泵中，工艺气体流经泵室且同时在其中被逐步地加压，并且工艺气体的温度还随着其流经泵室逐步地上升。在每个泵室中，工艺气体的压力和温度在泵室的出口处比在泵室的入口处高。因此，当通过使用多级真空泵将工艺气体在真空下从真空室排放时，其温度在靠近多级真空泵的入口的低压区域中趋于较低，并且在靠近多级真空泵的几乎保持在大气压力下的出口的高压区域局部中趋于较高。
[0004]当包含可升华物质的工艺气体流入例如用于排空真空室的真空泵内时,如果真空泵内的温度低于可升华物质的升华曲线，那么包含在流入真空泵的工艺气体中的可升华物质从气相转化成固相，并且沉积在真空泵内，趋于关闭真空泵。
[0005]另一方面，如果真空泵的 内部中的局部区域具有高温，其很可能被流入真空泵的清洁气体或刻蚀气体腐蚀。
[0006]已经提出了一种干式泵，其在保持在相对高温的泵室和保持在相对低温的润滑剂室之间具有中空隔热中间室和用于制冷剂穿过其通过的冷却通道，以便使润滑剂的蒸发最小化，由此将润滑剂室内的润滑剂有效地保持在低温，同时保持泵室在高温，以有助于诸如可凝性气体或可升华气体的气体的排放(参见日本特开平专利公开文献N0.2005-105829)。
[0007] 申请人:已经提出了一种用于旋转气体机器的转子，其包括轴体(转子轴)和芯，轴体中轴向地限定有轴向孔，芯嵌入在轴向孔中且由诸如铝的材料制成，芯的导热性高于轴体的材料，以便在不牺牲转子的耐腐蚀性和机械强度的情况下减小入口侧和出口侧之间的温度差，由此高度准确地管理转子和转子被支承在其中的壳体之间的间隙以实现高排放能力(参见日本特开平专利公开文献N0.Hl 1-230060)。
[0008]引用列表
[0009]专利文献
[0010]【PTL1】日本特开平专利公开文献N0.2005-105829[0011]【PTL2】日本特开平专利公开文献N0.11-230060
【发明内容】
[0012]技术问题
[0013]但是，传统的真空泵不被设计成在整个真空泵上保持真空泵的内部在较高温度，以便防止真空泵内的局部区域被加热到比腐蚀温度高的温度，同时防止产物由于包含在流入真空泵的工艺气体中的可升华物质而沉积在真空泵内。
[0014]本发明是鉴于【背景技术】中的上述情况作出的。因此，本发明的目的是提供一种真空泵，其能够通过在整个真空泵上保持真空泵的内部在一定高温(即，在整个真空泵上均匀化真空泵内的温度)且在简单地不需要加热器或类似物的情况下防止产物产生并沉积在真空泵内，同时防止真空泵内的局部区域被加热到比腐蚀温度高的温度。
[0015]技术方案
[0016]为了实现上述目的，本发明提供一种真空泵，包括:泵壳，所述泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口 ；转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动。所述泵壳包括:第一导热构件，所述第一导热构件平行于转动轴延伸泵壳在其纵向方向上的大致全长；和第二导热构件，所述第二导热构件靠近第一导热构件在出口侧的端部定位并且在泵壳的横向方向上延伸。
[0017]多级真空泵的较靠近出口的泵室中具有较高温度。第一级泵室中具有最低温度，并且靠近出口的泵室中具有最高温度。在每个泵室中，位于出口侧的区域的温度比位于上入口侧的区域的温度高。平行于转动轴延伸泵壳的大致全长的第一导热构件和设置在靠近第一导热构件的靠近出口的端部的位置中的第二导热构件用于使在其中限定了泵室的泵壳的热量在泵壳的纵向和横向方向上`均匀地分布，并且还用于使热量从较高温区域有效地传递到较低温区域，由此在整个真空泵上保持真空泵的内部在较高恒温，即，在整个真空泵上均匀化真空泵内的温度，同时防止真空泵内的局部区域被加热到比腐蚀温度高的温度。第一导热构件和第二导热构件由诸如铝、铝合金、铜或类似物的导热性良好的材料制成。
[0018]本发明还提供另一种真空泵，包括:泵壳，所述泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口 ；转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动。所述泵壳包括:中间室，所述中间室邻近泵室中的保持与出口流体连通的一个泵室并且在该泵室外侧设置，并且保持与泵室中的该泵室流体连通；和分隔件，所述分隔件设置在中间室内并且限定用于引导被引入中间室内的工艺气体围绕转动轴的通道。
[0019]如上所述，多级真空泵的较靠近出口的泵室中具有较高温度。在每个泵室中，位于出口侧的区域的温度比位于上入口侧的区域的温度高。从最后级泵室排放的高温工艺气体的一部分被引入中间室并且在中间室内沿着通道循环，以加热最后级泵室的入口侧，之后，高温工艺气体从出口排出。因此，在不需要加热器或类似物的情况下使得最后级泵室的内部的温度较高，以便防止产物沉积在真空泵内。
[0020]本发明还提供又一种真空泵，包括:泵壳，所述泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口 ；转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动。所述泵壳包括端壁，所述端壁设置在泵壳的端部上并且与邻近泵壳的该端部设置的侧板分离。
[0021]由于泵壳包括设置在其端部上并且与邻近泵壳的该端部设置的侧板分离的端壁，设置在泵室内的所有转子由泵壳封装。因此，通过被供应用以冷却例如轴承的润滑剂冷却的侧板冷却泵室和泵壳内的工艺气体，由此防止产物沉积在真空泵内。
[0022]在本发明的优选方面，泵壳包括外筒，所述外筒是在其中限定气体通道的双壁结构。
[0023]由于外筒是在其中限定气体通道的双壁结构，泵室的内部通过流经气体通道的高温工艺气体与其外部可靠地热隔离，由此保持真空泵的内部在低温，以防止包含在工艺气体内的可升华气体转化成固体物质并沉积在真空泵内，即，在泵壳的内周表面上。
[0024]在本发明的优选方面，泵壳包括环绕其外周表面的隔热套。
[0025]环绕泵壳的外周的隔热套热隔离泵室的内部，以防止真空泵的内部的温度变低，并由此防止包含在工艺气体内的可升华气体转化成固体物质并沉积在真空泵内，即，在泵壳的内周表面上。
[0026]根据本发明，真空泵能够防止产物产生并沉积在其中，并且还通过在整个真空泵上保持真空泵的内部在一定高温(即，在整个真空泵上均匀化真空泵内的温度)且在不需要加热器或类似物的情况下防止真空泵被腐蚀，由此使真空泵工艺高度可靠。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1是根据本发明的实施方式的真空泵的竖向截面前视图。
[0028]图2是图1中所示的真空泵的主泵的第一级泵室的竖向截面侧视图。
[0029]图3是图1中所示的真空泵的主泵的泵壳的立体图。
[0030]图4是沿着图2的线X-X截取的剖视图。
[0031]图5是图1中所示的真空泵的主泵的第一级泵室的剖面立体图。
[0032]图6是示出从电马达观察的侧壁的视图，该侧壁靠近图1中所示的真空泵的主泵的泵壳的出口定位。
【具体实施方式】
[0033]现在将参照附图描述本发明的优选实施方式。图1是根据本发明的实施方式的真空泵10的竖向截面前视图。如图1所示，真空泵10包括设置在真空侧的增压泵12和设置在大气侧的主泵14，增压泵12和主泵14通过接管16彼此连接。在该实施方式中，主泵14包括六级罗茨真空泵，并且增压泵12包括单级罗茨真空泵。
[0034]增压泵12包括泵壳22和一对转动轴26，泵壳22具有大致柱形的外筒20，在外筒20中限定泵室18，转动轴26在泵壳22内延伸，并且通过给电马达24供能，转动轴26能够围绕其自身的轴线在分别相反的方向上同步转动。泵室18容纳一对转子28，诸如双叶转子，该对转子28在泵室18内可转动并且该对转子28之间有预定间隙。转子28分别固定地安装在转动轴26上。泵壳22的外筒20具有限定在其壁中并且连接到从待被真空泵10排空的真空室或类似物延伸的排放管(未示出)的入口 20a，和限定在其壁中并且连接到接管16的出口 20b。当转子28通过电马达24围绕其自身的轴线在分别相反的方向上同步转动时，来自真空室或类似物的工艺气体经过入口 24a流入泵室18、通过泵室18内的转子28压缩、并且随后经过出口 20b排放到接管16中。在图1中，仅图示了转动轴26中的一个、转子28中的一个、和基于来自电马达24的驱动功率用于致动转动轴26的机构中的一个。另一转动轴、另一转子和另一机构定位在后面，远离图1的观察者。
[0035]在该实施方式中，泵壳22的外筒20的外周表面除了入口 20a和出口 20b之外由大致中空柱形形状的隔热套30环绕。隔热套30使泵室18的内部与其外部热隔离，由此保持泵室18的内部恒温。
[0036]两个侧板32a、32b分别设置在泵壳22的轴向端部上。转动轴26在其外端处通过容纳在轴承箱34a、34b内的轴承36a、36b可转动地支承，轴承箱34a、34b分别安装在侧板32a、32b上。用于在其中保持润滑剂的两个润滑剂箱40a、40b设置在侧板32a、32b的相应外侧表面上。电马达24具有联接到润滑剂箱中的一个40b的马达箱。
[0037]侧板32a、32b具有用于向侧板32a、32b中的转动轴26的部分供应吹扫气体(诸如氮气或类似物)的相应吹扫气体通道42a、42b，以防止工艺气体从泵室18流出进入轴承36a、36b。
[0038]增压泵12在其中通常保持在高真空水平(低压水平)，并且由于其不产生大量压缩热而具有低的产生热量。因此，期望通过安装在增压泵12上或增压泵12中的诸如加热器或类似物的加热部件积极地加热增压泵12。环绕泵壳22的外筒20的外周表面(除了入口 20a和出口 20b之外)的隔热套30能有效地防止泵室18内的温度由于周围空气而降低。
[0039]该实施方式的主泵14包括六级罗茨真空泵，并且包括泵壳54和一对转动轴58，泵壳54具有大致柱形的外筒52，在外筒52中限定六个泵室50a-50f，即，第一至第六级泵室50a-50f，转动轴58在泵壳54内延伸，并且通过给电马达56供能，转动轴58能够围绕其自身的轴线在分别相反的方向上同步转动。如图2所示，设置在主泵14的抽吸侧的第一级泵室50a容纳在其中可转动的一对转子60a，诸如三叶转子。类似地，第二级泵室50b容纳在其中可转动的一对转子60b，诸如三叶转子，并且第三级泵室50c容纳在其中可转动的一对转子60c，诸如三叶转子。第四级泵室50d容纳在其中可转动的一对转子60d，诸如三叶转子，第五级泵室50e容纳在其中可转动的一对转子60e，诸如三叶转子，并且设置在主泵14的排放侧的第六级泵室50f容纳在其中可转动的一对转子50f，诸如三叶转子。转子60a-60f的一个线性排列固定地安装在转动轴58中的一个上，而转子60a_60f的另一线性排列固定地安装在另一转动轴58上。
[0040]泵壳54具有闭合外筒52的相应相对端的一对端壁62a、62b和将外筒52的内部隔开的五个(即，第一至第五)隔壁64a_64e。端壁62a和第一隔壁64a在其间限定外筒52中的第一级泵室50a。第一隔壁64a和第二隔壁64b在其间限定外筒52中的第二级泵室50b。第二隔壁64b和第三隔壁64c在其间限定外筒52中的第三级泵室50c。第三隔壁64c和第四隔壁64d在其间限定外筒52中的第四级泵室50d。第四隔壁64d和第五隔壁64e在其间限定外筒52中的第五级泵室50e。第五隔壁64e和端壁62b在其间限定外筒52中的第六级泵室50f。
[0041]如图2所示，当转子60a通过电马达56围绕其自身的轴线在分别相反的方向上同步转动时，工艺气体从第一级泵室50a的连接到接管16的上入口侧引入第一级泵室50a、通过第一级泵室50a内的转子60a压缩、并且随后通过第一级泵室50a的下出口侧从第一级泵室50a排出。工艺气体随后在第二至第六级泵室50b-50f中被类似地压缩。
[0042]泵壳54的外筒52具有限定在其侧壁中的入口 52a和限定在其侧壁中的出口 52b，入口 52a连接到接管16并且保持与第一级泵室50a的上入口侧流体连通，出口 52b保持与第六级(最后级)泵室50f的下出口侧流体连通。泵壳54的外筒52具有双壁结构，包括内壁66和设置在内壁66外侧并且与内壁66分隔开一定距离的外壁68,在内壁66和外壁68之间限定第一至第五气体通道70a_70e。具体地，第一气体通道70a围绕第一级泵室50a延伸，并且第二气体通道70b围绕第二级泵室50b延伸。第三气体通道70c围绕第三级泵室50c延伸，第四气体通道70d围绕第四级泵室50d延伸，并且第五气体通道70e围绕第五级泵室50e延伸。第五气体通道70e还围绕第六级泵室50f延伸。
[0043]气体通道70a_70e具有通过泵室50a_50e的相应下出口侧保持与相应泵室50a-50e流体连通的相应部分，并且还具有通过泵室50b_50f的相应上入口侧保持与相应泵室50b-50f流体连通的相应部分。如图2中所示，从入口 52a通过第一级泵室50a的上入口侧流入第一级泵室50a的工艺气体在第一级泵室50a内被压缩，并且随后通过第一级泵室50a的下出口侧从第一级泵室50a流入第一气体通道70a。接着，工艺气体在第一气体通道70a内向上流动并且到达第二级泵室50b的上入口侧。工艺气体通过第二级泵室50b的上入口侧流入第二级泵室50b，并且在第二级泵室50b中被压缩，并且随后通过第二级泵室50b的下出口侧从第二级泵室50b流入第二气体通道70b。接着，工艺气体在第二气体通道70b内向上流动并且到达第三级泵室50c的上入口侧。随后，工艺气体在第三至第六级泵室50c-50f中被压缩并流经第三至第六级泵室50c-50f。之后，工艺气体从第六级泵室50f的下出口侧通过出口 52b从主泵14排出。
[0044]例如杆形式的导热构件(第一导热构件)72纵向地嵌入在泵壳54的下部中，其位于泵室50a-50e的下出口侧下面。导热构件72在泵壳54的横向方向上大致定位在中心并且平行于转动轴58延伸泵壳54的大致全长。如图3所示，导热构件72具有在入口 52a下面从泵壳54露出的端部。另外，每个例如杆形式的导热构件(第二导热构件)74在该实施方式中靠近导热构件72在出口 52b侧的端部嵌入在第四级泵室50d和第五级泵室50e之间的第四隔壁64d和第五级泵室50e和第六级泵室50f之间的第五隔壁64e中。导热构件74位于泵室50d-50f的下出口侧下方并且延伸泵壳54的大致全宽度。如图3所示，导热构件74具有从泵壳54露出的相对端部。
[0045]导热构件72、74由诸如铝、铝合金、铜或类似物的导热性良好的材料制成。导热构件72、74可以是与泵壳54分离的机加工件，或者可以是与由耐腐蚀材料制成的泵壳54 —体的铝铸件。
[0046]多级真空泵的较靠近出口 52b的泵室中具有较高温度。根据该实施方式，具体地，第一级泵室50a中具有最低温度，并且靠近出口 52b的第五级泵室50e和第六级泵室50f中具有最高温度。在每个泵室中，位于下出口侧的区域(下区域)的温度比位于上入口侧的区域(上区域)的温度高。具体地，位于第五级泵室50e的下出口侧的区域和位于第六级泵室50f的下出口侧的区域中具有最高温度。
[0047]在该实施方式中，设置在第四隔壁64d和第五隔壁64e中的导热构件74用于使具有最高温度的区域(即，位于第五级泵室50e的下出口侧的区域和位于第六级泵室50e的下出口侧的区域)的热量在泵壳54的横向方向上均勻地分布。平行于转动轴58延伸泵壳54的大致全长的导热构件72用于将热量从具有较高温度的区域传递到具有较低温度的区域，以便使主泵14的内部在整个主泵14上保持在较高的恒定温度，即，使主泵14中温度在整个主泵14上均匀化，同时防止主泵14中的局部区域被加热到比腐蚀温度高的温度。因此，通过将导热构件72、74由此设置在泵壳54内，可以使整个泵壳54上的温度保持在范围从例如产物沉积在泵壳54内的110°C的温度到例如主泵14经受腐蚀的200°C的腐蚀温度的必要温度内。
[0048]由于泵壳54的外筒52具有在其中限定了气体通道70a_70e的双壁结构，泵室50a-50f的内部通过流经气体通道70a_70e的高温工艺气体与其外部可靠地热隔离，由此使主泵14的内部保持在高温，以防止包含在工艺气体中的可升华气体转化成固体物质并沉积在主泵14中，S卩，在泵壳54的内周表面上。特别地，从泵室50a-50e的下出口侧经过气体通道70a_70e流至下一级中的泵室的上入口侧的高温工艺气体有效地加热泵室50a~50fο
[0049]在该实施方式中，泵壳54的外筒52的外周表面除了入口 52a和出口 52b之外由大致中空柱形形状的隔热套80环绕。隔热套80使泵室50a-50f的内部与其外部热隔离，由此保持泵室50a-50f的内部恒温。
[0050]两个侧板82a、82b分别设置在泵壳54的端壁62a、62b的外侧。转动轴58在其外端处通过容纳在轴承箱84a、84b内的轴承86a、86b可转动地支承，轴承箱84a、84b分别安装在侧板82a、82b上。用于在其中保持润滑剂的两个润滑剂箱90a、90b设置在侧板82a、82b的相应外侧表面上。电马达56具有联接到润滑剂箱中的一个90b的马达箱。侧板82a、82b具有用于向侧板82a、82b中的转动轴58的部分供应吹扫气体(诸如氮气或类似物)的相应吹扫气体通道92a、92b，以防止工艺气体从泵室50a-50f流出进入轴承86a、86b。
[0051]在该实施方式中，泵壳54的限定第一级泵室50a的端壁62a位于容纳在第一级泵室50a内的转子60a和设置在转子60a外侧的侧板82a之间。泵壳54的限定第六级泵室50f的端壁62b位于容纳在第六级泵室50f内的转子60f和设置在转子60f外侧的侧板82b之间。因此，设置在泵室50a-50f内的所有转子60a-60f封装在泵壳54内。因此，通过被供应用以冷却例如轴承86a、86b的润滑剂冷却的侧板82a、82b冷却泵室50a_50f和泵壳54内的工艺气体，由此防止产物沉积在真空泵10内。
[0052]在该实施方式中，中间室94限定在泵壳54的限定第六级(最后级)泵室50f的端壁62b和设置在端壁62b外侧的侧板82b之间。如图4和6中所示，端壁62b具有在其横向方向上限定在其中的大致中心并且靠近第六级(最后级)泵室50f的下出口侧定位的排放孔96。如图6所示，端壁62b还具有限定在其中的两个逆流孔98，每个在排放孔96的一侧。两个分隔件100在中间室94内分别定位在排放孔96和逆流孔98之间，并且从相应转动轴58延伸到中间室94的底部。分隔件100用于防止从排放孔96排放的工艺气体直接流入逆流孔98。通过这种结构，如图6所示，分隔件100能够限定中间室94内的气体通道102，该气体通道102从排放孔96向上延伸到转动轴58上方的位置，接着围绕转动轴58并且向下朝向逆流孔98延伸。
[0053]在该实施方式中，分隔件100是与泵壳54分离并且固定到泵壳54的板的形式。但是，分隔件100可以与泵壳54 —体成形。
[0054]如上所述，多级真空泵的靠近最后级的泵室具有最高温度，并且靠近这些泵室中的每个的出口侧的区域的温度比靠近其入口侧的区域的温度高。根据该实施方式，因此，从第六级(最后级)泵室50f排放的高温工艺气体的一部分经过排放孔96被引入中间室94并且沿着气体通道102在中间室94内循环，以通过端壁62b加热第六级泵室50f的入口侧，之后，高温工艺气体通过逆流孔98从出口 52b排出。因此，使得第六级(最后级)泵室50f的内部的温度较高。
[0055]由此构造的真空泵10通过给增压泵12的电马达24和主泵14的电马达56供能以致动增压泵12和主泵14以排放工艺气体来操作，该工艺气体被从真空室引入例如真空室内。
[0056]此时，真空泵10的内部在整个真空泵10上保持在较高温度，用于防止真空泵10内的局部区域被加热到比腐蚀温度高的温度，同时防止产物由于包含在流入真空泵10内的工艺气体中的可升华物质而沉积在真空泵10内。
[0057]虽然已经参照优选实施方式对本发明进行了描述，但可以理解的是，本发明不限于上述实施方式，而是在如这里表达的发明构思的范围内可应用到不同类型的真空泵，例如，爪型真空泵、螺杆式真空泵等。
[0058]工业实用性
[0059]本发明可应用到在可升华气体或腐蚀气体趋于流入真空泵内部的工艺中使用的
真空泵。
【权利要求】
1.一种真空泵，包括: 泵壳，所述泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口； 转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和 多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动； 其中，所述泵壳包括: 第一导热构件，所述第一导热构件平行于转动轴延伸泵壳在其纵向方向上的大致全长；和 第二导热构件，所述第二导热构件靠近第一导热构件在出口侧的端部定位并且在泵壳的横向方向上延伸。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述泵壳包括外筒，所述外筒是在其中限定气体通道的双壁结构。
3.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述泵壳包括环绕其外周表面的隔热套。
4.一种真空泵,包括: 泵壳，所述泵壳包括彼此保持 流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口； 转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和 多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动； 其中，所述泵壳包括: 中间室，所述中间室邻近泵室中的保持与出口流体连通的一个泵室并且在该泵室外侧设置，并且保持与泵室中的该泵室流体连通；和 分隔件，所述分隔件设置在中间室内并且限定用于引导被引入中间室内的工艺气体围绕转动轴的通道。
5.根据权利要求4所述的真空泵，其中，所述泵壳包括外筒，所述外筒是在其中限定气体通道的双壁结构。
6.根据权利要求4所述的真空泵，其中，所述泵壳包括环绕其外周表面的隔热套。
7.一种真空泵,包括: 泵壳，所述泵壳包括彼此保持流体连通并且在其纵向方向上排列的多个泵室、保持与泵室中的位于抽吸侧的一个泵室流体连通的入口和保持与泵室中的位于排放侧的一个泵室流体连通的出口； 转动轴，所述转动轴在其相对端处通过轴承可转动地支承并且在泵壳的纵向方向上延伸；和 多个转子，所述多个转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动； 其中，所述泵壳包括: 端壁，所述端壁设置在泵壳的端部上并且与邻近泵壳的该端部设置的侧板分离。
8.根据权利要求7所述的真空泵，其中，所述泵壳包括外筒，所述外筒是在其中限定气体通道的双壁结构。
9.根据权利要求7所述的 真空泵，其中，所述泵壳包括环绕其外周表面的隔热套。
【文档编号】F04C23/00GK103502648SQ201280018841
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2012年5月29日 优先权日:2011年6月2日
【发明者】百济壮一, 长山真已 申请人:株式会社荏原制作所