一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于真空设备技术领域，特别是涉及一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗。
【背景技术】
[0002]分子栗作为一种可以获得清洁高真空的真空获得设备，已被广泛应用于很多工业领域，其中复合分子栗在较宽的压力范围内，依然能够保持较高的抽气性能，因此在半导体等行业中应用广泛。
[0003]现有的复合分子栗主要分为两类，一类是由涡轮分子栗与盘式牵引分子栗组合设计而成，即带盘式牵引结构的复合分子栗；另一类是由涡轮分子栗与筒式牵引分子栗组合设计而成，即带筒式牵引结构的复合分子栗，是现阶段使用最为普遍的复合分子栗类型。
[0004]对于带筒式牵引结构的复合分子栗，由于加工、装配精度等限制，过小的牵引级转子与定子之间的间隙，难以保证复合分子栗的工作可靠性。牵引级转子与定子之间间隙的增大，使得气体沿间隙的返流严重，进而影响到了复合分子栗的抽气性能，特别是对粘滞流态下的抽气性能影响更大。
【发明内容】
[0005]针对现有技术存在的问题，本发明提供一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，以提升牵引级的压缩作用，进一步提高复合分子栗的抽气性能。
[0006]为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案:一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴，所述涡轮级包括静叶片和动叶轮，所述筒式牵引级包括牵引转子和定子，所述动叶轮及牵引转子固定套装在驱动主轴上，其特点是:在所述牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构。
[0007]所述防气体返流结构包括环向凸台及环向凹槽，所述环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合。
[0008]当所述牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，所述环向凸台设置在牵引转子上，所述环向凹槽设置在定子上。
[0009]当所述定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，所述环向凸台设置在定子上，所述环向凹槽设置在牵引转子上。
[0010]所述防气体返流结构设置在复合分子栗的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置。
[0011]在轴向方向上，所述环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度。
[0012]所述环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1?5倍。
[0013]本发明的有益效果:
[0014]本发明通过在牵引转子和定子之间增加防气体返流结构，通过环向凸台对返流气体起到了明显的阻挡作用，通过环向凸台与环向凹槽之间留有的间隙保证正常的抽气。本发明在保证抽气性能不变的情况下降低了返流作用，进而提升了复合分子栗的抽气性能。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗(牵引转子为光筒且定子内开设螺旋槽时)结构示意图；
[0016]图2为本发明的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗(定子为光筒且牵引转子上开设螺旋槽时)结构示意图；
[0017]图中，1—静叶片，2—动叶轮，3—牵引转子，4—定子，5—驱动主轴，6—环向凸台，7—环向凹槽。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明。
[0019]如图1、2所示，一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴5，所述涡轮级包括静叶片1和动叶轮2，所述筒式牵引级包括牵引转子3和定子4，所述动叶轮2及牵引转子3固定套装在驱动主轴5上，其特点是:在所述牵引转子3和定子4之间设置有防气体返流结构。
[0020]所述防气体返流结构包括环向凸台6及环向凹槽7，所述环向凸台6与环向凹槽7彼此正对设置，且环向凸台6和环向凹槽7的轴线中心线与驱动主轴5的轴线中心线相重入口 ο
[0021 ] 当所述牵引转子3为光筒、定子4内开设螺旋槽时，所述环向凸台6设置在牵弓|转子3上，所述环向凹槽7设置在定子4上。
[0022]当所述定子4为光筒、牵引转子3上开设螺旋槽时，所述环向凸台6设置在定子4上，所述环向凹槽7设置在牵引转子3上。
[0023]所述防气体返流结构设置在复合分子栗的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置。
[0024]在轴向方向上，所述环向凸台6的宽度小于环向凹槽7的宽度。
[0025]所述环向凸台6与环向凹槽7之间间距为牵引转子3与定子4之间间距的1?5倍。
[0026]下面结合【附图说明】本发明的一次使用过程:
[0027]复合分子栗在工作时，动叶轮2及牵引转子3随着驱动主轴5高速旋转，进而携带气体沿着螺旋槽向下流动，随着对气体压缩的增强，复合分子栗牵引级入口与出口之间的压差越来越大，此时，特别是在粘滞流态时，气体会在压差作用下增加沿着牵引转子3与定子4之间间隙向上的返流量，返流现象的存在会导致栗抽气性能和压缩性能的下降。
[0028]当复合分子栗在牵引转子3和定子4之间设置防气体返流结构后，通过环向凸台6对返流气体起到了明显的阻挡作用，通过环向凸台6与环向凹槽7之间留有的间隙保证正常的抽气过程。因此，在保证抽气性能不变的情况下降低了返流作用，由于降低了气体返流，便实现了复合分子栗抽气性能的提升。
[0029]实施例中的方案并非用以限制本发明的专利保护范围，凡未脱离本发明所为的等效实施或变更，均包含于本案的专利范围中。
【主权项】
1.一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴，所述涡轮级包括静叶片和动叶轮，所述筒式牵引级包括牵引转子和定子，所述动叶轮及牵引转子固定套装在驱动主轴上，其特征在于:在所述牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构。2.根据权利要求1所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:所述防气体返流结构包括环向凸台及环向凹槽，所述环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合。3.根据权利要求2所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:当所述牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，所述环向凸台设置在牵引转子上，所述环向凹槽设置在定子上。4.根据权利要求2所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:当所述定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，所述环向凸台设置在定子上，所述环向凹槽设置在牵引转子上。5.根据权利要求3或4所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:所述防气体返流结构设置在复合分子栗的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置。6.根据权利要求3或4所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:在轴向方向上，所述环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度。7.根据权利要求3或4所述的一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子栗，其特征在于:所述环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1?5倍。
【专利摘要】一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构，其包括环向凸台及环向凹槽，环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凸台设置在牵引转子上，环向凹槽设置在定子上；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凸台设置在定子上，环向凹槽设置在牵引转子上；防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置；在轴向方向上，环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度；环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1～5倍。
【IPC分类】F04D29/52, F04D19/04
【公开号】CN105370587
【申请号】CN201510895340
【发明人】王晓冬, 巴德纯, 张磊, 付强, 张鹏飞, 陶继忠
【申请人】东北大学
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年12月7日