带通气槽旋转轴的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种旋转轴，尤其涉及一种需要气流导通的旋转结构装置。
【背景技术】
[0002]在半导体晶圆工艺所涉及的设备中，通常会用到旋转轴这样的组件，在某些工艺流程中，需要通过旋转轴来输送气流。目前的旋转轴结构并不能保证气流输送的效果。
【发明内容】
[0003]以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。
[0004]本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种带通气槽旋转轴，可将气流从旋转轴轴套上的固定不动的进气口传到一直在旋转的轴体内的通气槽。
[0005]本发明的技术方案为:本发明揭示了一种带通气槽旋转轴，包括可旋转的内设通气槽的轴体、轴套、轴套上的多路进气口和轴套内的导气环形空间，其中导气环形空间分别与进气口和轴体内的通气槽连通，气体经由进气口、导气环形空间后导入到通气槽内。
[0006]根据本发明的带通气槽旋转轴的一实施例，多路进气口连通导气环形空间的气路在空间上相互独立，互不干扰。
[0007]根据本发明的带通气槽旋转轴的一实施例，多路进气口在轴套上的位置是固定不变的。
[0008]根据本发明的带通气槽旋转轴的一实施例，还包括用于固定轴套的固定板。
[0009]根据本发明的带通气槽旋转轴的一实施例，旋转轴还包括设置在轴体底端的多路出气口。
[0010]本发明对比现有技术有如下的有益效果:本发明的带通气槽旋转轴中，轴套是固定不动的，而轴体在轴套内做旋转的转动，气体通过轴套上的多路进气口进入，经导气环形空间导入到轴体内的通气槽中，最后从轴体底端的出气口排出。进气口连通导气环形空间的各个气路在空间上各自独立、互不干扰。由于通气槽的一端始终和导气环形空间连通，因此即使轴套固定不动而轴体一直在转动，也不会影响气体从轴套上的进气口输送到轴体内的通气槽中。本发明的带通气槽旋转轴也可以用在多路真空中。
【附图说明】
[0011]图1示出了本发明的带通气槽旋转轴的较佳实施例的外形示意图。
[0012]图2A和2B示出了本发明的带通气槽旋转轴的较佳实施例的剖面图。
[0013]图3示出了本发明的多路出气口的外形示意图。
[0014]图4示出了本发明的带通气槽旋转轴中的轴套的外形图。
[0015]附图标记:
[0016]1轴体
[0017]2进气口
[0018]3出气口
[0019]4导气环形空间
[0020]5固定板
[0021]6轴套
【具体实施方式】
[0022]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0023]图1示出了本发明的带通气槽旋转轴的较佳实施例的外形，图2A和2B分别示出了这种带通气槽旋转轴的剖面结构。请同时参见图1、图2A和2B，本实施例的带通气槽旋转轴包括可旋转的内设通气槽的轴体1、位置固定不变的轴套6、轴套上的多路进气口 2、轴套内的导气环形空间4、以及多路出气口 3。
[0024]轴套的结构如图4所示，进气口的一端用于进气，另一端和导气环形空间4连通，而导气环形空间4同时和轴体内的通气槽连通。在输送气体时,轴体转动而轴套固定不动，气体经由每一进气口 2进入到导气环形空间4内，然后再进入与之连通的轴体内的通气槽中，最后从设置在轴体底端的出气口 3排出。多路出气口的结构如图3所示。由于轴体内的通气槽的一端始终和导气环形空间连通，因此即使旋转轴一直在转动，也不会影响气体的输送。
[0025]在本实施例中，多路进气口 2连通导气环形空间4的气路通道在空间上相互独立，互不干扰。气体能够从轴套侧面的进气口 2进入/离开轴套，再进入/离开轴体的通气槽内，并不受轴套内轴体转动的影响，最终从轴体底部的多路出气口 3排出/吸入。
[0026]较佳的，带通气槽旋转轴还包括用于固定轴套的固定板5。
[0027]提供对本公开的先前描述是为使得本领域任何技术人员皆能够制作或使用本公开。对本公开的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的，且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此，本公开并非旨在被限定于本文中所描述的示例和设计，而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。
【主权项】
1.一种带通气槽旋转轴，包括可旋转的内设通气槽的轴体、轴套、轴套上的多路进气口和轴套内的导气环形空间，其中导气环形空间分别与进气口和轴体内的通气槽连通，气体经由进气口、导气环形空间后导入到通气槽内。2.根据权利要求1所述的带通气槽旋转轴，其特征在于，多路进气口连通导气环形空间的气路在空间上相互独立，互不干扰。3.根据权利要求1所述的带通气槽旋转轴，其特征在于，多路进气口在轴套上的位置是固定不变的。4.根据权利要求1所述的带通气槽旋转轴，其特征在于，还包括用于固定轴套的固定板。5.根据权利要求1所述的带通气槽旋转轴，其特征在于，旋转轴还包括设置在轴体底端的多路出气口。
【专利摘要】本发明公开了一种带通气槽旋转轴，可将气流从固定不动的轴套上的进气口传到旋转的轴体通气槽内。其技术方案为：气体通过轴套上的多路进气口进入，经导气环形空间导入到轴体内的通气槽中，最后从轴体底端的出气口排出。进气口连通导气环形空间的各个气路在空间上各自独立、互不干扰。由于通气槽的一端始终和导气环形空间连通，因此即使轴套固定不动而轴体一直在转动，也不会影响气体从轴套上的进气口输送到轴体内的通气槽中。
【IPC分类】F16C3/02, F16L39/06
【公开号】CN105318129
【申请号】CN201410236101
【发明人】杨宏超, 金一诺, 张怀东, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年5月30日