专利名称：三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置的制作方法
技术领域：
三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置技术领域[0001]本实用新型属化工技术领域，具体涉及一种三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源 输送装置。
背景技术：
[0002]PSA尾气回收装置是近几年来化工领域广泛采用的尾气分离技术，以程控阀 多、动作频繁、自动化程度高而著称。原程控阀所用仪表风气体含有水份，易与尾气中 的三氯氢硅反应生成氯化氢气体，对程控阀造成腐蚀，导致程控阀检修频繁，最终影响 PSA尾气回收装置正常运行。实用新型内容[0003]本实用新型的目的在于解决现有技术中的上述问题，提供一种三氯氢硅尾气回 收装置程控阀气源输送装置。使其程控阀的气源可在仪表风和氮气之间进行切换，延长 程控阀的使用寿命，从而保证正常生产。[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下[0005]本实用新型的三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置，该输送装置包括仪 表风输送管道和氮气输送管道，仪表风输送管道一端接仪表风气源，管道上依次设有电 接点压力表P2和阀门KV2，氮气管道一端接氮气气源，管道上依次设有电接点压力表Pl 和阀门KVl，仪表风输送管道和氮气输送管道汇合后与程控阀连接。[0006]本实用新型优选在在氮气输送管道上设有逆止阀。[0007]本实用新型在程控阀气源总管上设了氮气和仪表风两种气源，且两种气源根据 压力变化可以通过阀门相互切换。因空气的78%是氮气，将空气进行压缩、干燥、除 尘、分离后即得到高纯度氮气，生产中多用于检修后的设备置换或作为动力输送硅粉 等。为了保证生产安全，氮气必须是高纯度，不可污染。而仪表风只是将空气进行初步 处理，往往含有水份和杂质。为了防止仪表风气窜入氮气管道，要求氮气压力一定高于 仪表风压力，并在氮气管道上加装逆止阀。[0008]尾气回收装置的程控阀有开启和关闭两种状态，气源压力要求0.45 Mpa以上， 该装置是在全自动状态下通过多台程控阀的开启和关闭完成吸附、顺放、均降、逆放、 抽空、均升、终冲等步骤的运行。为了保证程控阀的正常运行，本发明用高纯度的氮气 作为程控阀的启动气源。当氮气压力不能保证程控阀的开启时，切换使用仪表风。切换 操作有手动和自动两种方式。[0009]通过对程阀程气源的改造，延长了程控阀的使用寿命，减少了停车次数，确保 了正常生产。
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0011]本实用新型的三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置，该输送装置包括仪 表风输送管道和氮气输送管道，仪表风输送管道一端接仪表风气源3，管道上依次设有电 接点压力表:P2 2和程控阀KV2 1，氮气管道一端接氮气气源8，管道上依次设有电接点压 力表PJ和阀门KVA，在氮气输送管道上设有逆止阀5。仪表风输送管道和氮气输送管 道汇合后与程控阀4连接。[0012]工作过程中[0013]1、保证P1>P2，防止仪表风压力高于氮气压力，对设备置换、三氯氢硅装 车、硅粉输送等操作造成不良影响。[0014]2、设定Pl的最低压力为0.45Mpa，如果Pl出现低限报警后，程序会自动打开 KV2关闭KV1，由氮气切换至仪表风。此时，严密关注公用工程的氮气压力，当Pl> 0.45 Mpa时，且压力值平稳后，手动开启KV1，关闭KV2，气源由仪表风切换回氮气。[0015]3、合成工序在硅粉上料(每班一次，时间为一小时左右)和精馏工序三氯氢 硅、四氯化硅装车期间，使用氮气量较大，主控操作人员需提前手动将氮气切换为仪表 风，保证程序运行的稳定。合成和精馏工序其它地方用氮气量少而影响到氮气压力时， 可由程序自动切换完成。
权利要求1.一种三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置，其特征在于该输送装置包括 仪表风输送管道和氮气输送管道，仪表风输送管道一端接仪表风气源(3)，管道上依次 设有电接点压力表P2 (2)和程控阀KV2 (1)，氮气管道一端接氮气气源(8)，管 道上依次设有电接点压力表Pl (7)和阀门KVl (6)，仪表风输送管道和氮气输送管 道汇合后与程控阀(4)连接。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置，其特征在于 在氮气输送管道上设有逆止阀(5)。
专利摘要一种三氯氢硅尾气回收装置程控阀气源输送装置，该输送装置包括仪表风输送管道和氮气输送管道，仪表风输送管道一端接仪表风气源，管道上依次设有电接点压力表P2和阀门KV2，氮气管道一端接氮气气源，管道上依次设有电接点压力表P1和阀门KV1，仪表风输送管道和氮气输送管道汇合后与程控阀连接。通过对程阀程气源的改造，延长了程控阀的使用寿命，减少了停车次数，确保了正常生产。
文档编号F17C5/00GK201810985SQ20102055018
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者石如彦, 秦永红, 陈建祥, 马盈利 申请人:河南尚宇新能源股份有限公司